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슬릿 마스크를 통해 피검사체로 표면파를 입사시키는 표면파 가진부; 및상기 피검사체로부터의 신호를 수신하여 주파수를 분석하는 신호 분석부;를 포함하고, 상기 슬릿 마스크는 표면파에 포함된 2배 주파수 성분이 최소화되도록 형성되는, 비선형 표면파를 이용한 미소손상 진단 장치
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제1항에 있어서,상기 슬릿 마스크의 슬릿 열림 폭과 슬릿 간격의 비는 상기 표면파에 포함된 2배 주파수 성분의 크기가 최소화되도록 결정되는, 비선형 표면파를 이용한 미소손상 진단 장치
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제2항에 있어서,상기 표면파에 포함된 2배 주파수 성분의 크기는 0인, 비선형 표면파를 이용한 미소손상 진단 장치
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제1항에 있어서,상기 표면파 가진부는 피검사체와 비접촉하는 선배열 레이저 빔(L)을 발생시키는 레이저 소스를 포함하고, 상기 슬릿 마스크는 상기 레이저 소스와 피검사체 사이에 배치되는, 비선형 표면파를 이용한 미소손상 진단 장치
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슬릿 마스크를 통한 비선형 레이저 표면파를 이용한 미소손상 진단 방법에 있어서,상기 비선형 레이저 표면파의 주파수는 비선형 레이저 표면파의 기본 주파수 성분, 피검사체의 비선형성에 의한 주파수 성분 및 비선형 레이저 표면파에 포함된 2배 주파수 성분을 포함하고, 상기 비선형 레이저 표면파에 포함된 2배 주파수 성분을 최소화하는, 비선형 레이저 표면파를 이용한 미소손상 진단 방법
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제5항에 있어서,상기 비선형 레이저 표면파의 2배 주파수 성분은 기본주파수 성분에 비례하는 인자를 가지며, 상기 인자를 최소화하는, 비선형 레이저 표면파를 이용한 미소손상 진단 방법
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제6항에 있어서,비선형 레이저 표면파의 종파는 아래 수학식으로 표현되고, 비례인자는 슬릿 마스크의 슬릿 열림 폭과 슬릿 간격의 비에 의해 최소화 되도록 결정되는, 비선형 레이저 표면파를 이용한 미소손상 진단 방법
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제6항에 있어서,비선형 레이저 표면파의 종파는 아래 수학식으로 표현되고, 비례인자는 슬릿 마스크의 슬릿 열림 폭과 슬릿 간격의 비에 의해 0이 되도록 결정되는, 비선형 레이저 표면파를 이용한 미소손상 진단 방법
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