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탄소나노튜브를 이용한 유량 측정장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2014060004
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 압저항 특성을 구비한 탄소나노튜브 패턴을 통해 미세한 유체의 흐름 또는 유량을 측정하는 초소형으로 제작할 수 있는 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정장치 및 방법에 관한 기술이 개시된다. 이에, 유체가 흐르는 통로를 형성하는 캐비티층과 캐비티층과 결합하는 맴브레인과 맴브레인상에 형성되어 압력차를 발생시키는 오리피스 및 오리피스에 의해 발생된 압력차를 감지할 수 있도록 맴브레인상에 형성된 탄소나노튜브 패턴을 포함한 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정장치를 제공한다.
Int. CL G01F 1/42 (2006.01.01) B82B 1/00 (2017.01.01)
CPC G01F 1/42(2013.01) G01F 1/42(2013.01)
출원번호/일자 1020110050751 (2011.05.27)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1234999-0000 (2013.02.13)
공개번호/일자 10-2012-0132123 (2012.12.05) 문서열기
공고번호/일자 (20130220) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.05.27)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이승백 대한민국 경기도 용인시 기흥구
2 이동근 대한민국 서울특별시 노원구
3 박지영 대한민국 제주특별자치도 제주시 다랑곶
4 이성환 대한민국 서울특별시 동대문구
5 주효문 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이상 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 서울특별시 성동구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.05.27 수리 (Accepted) 1-1-2011-0399408-32
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.08.23 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.10.04 수리 (Accepted) 9-1-2012-0076209-10
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.10.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0610239-44
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.12.11 수리 (Accepted) 1-1-2012-1030806-61
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.12.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-1030808-52
7 등록결정서
Decision to grant		 2013.02.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0091189-19
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
유체가 흐르는 통로를 형성하는 캐비티층;상기 캐비티층과 결합하는 맴브레인;상기 맴브레인상에 형성되어 압력차를 발생시키는 오리피스; 및상기 오리피스에 의해 발생된 압력차를 감지할 수 있도록 박막의 형태로 상기 오리피스를 중심으로 하여 나선의 형태로 연결되어 상기 맴브레인에 형성된 탄소나노튜브 패턴을 포함한 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 맴브레인은 절연막의 적층구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정장치
3 3
제 2항에 있어서, 상기 맴브레인은 PDMS로 구성된 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정장치
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
유량 측정방법에 있어서,캐비티층에 형성된 유입구로 유체를 유입시키는 단계;상기 유체를 맴브레인상에 형성되어 있는 오리피스를 통과시키는 단계; 및박막의 형태로 상기 오리피스를 중심으로 하여 나선의 형태로 연결되어 상기 맴브레인에 형성되어 있는 탄소나노튜브 패턴의 전도도를 측정하는 단계를 포함하는 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정방법
7 7
제 6항에 있어서,상기 전도도를 측정하는 단계에서 측정된 전도도를 이용하여 상기 유체의 유량을 연산하는 단계를 더 포함하는 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정방법
8 8
제 6항에 있어서, 상기 맴브레인은 절연막의 적층구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정방법
9 9
제 7항에 있어서, 상기 맴브레인은 PDMS로 구성된 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정방법
10 10
삭제
11 11
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한양대학교 산학협력단 국제협력사업(글로벌알앤디기반구축사업) 한양대-RIKEN 공동연구센터 지원