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직선형 광원을 이용한 비접촉식 저항 측정 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2014060408
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 광자극을 주는 형태를 기존의 점 형태에서 직선 형태로 개선하여 면저항의 측정 정밀도를 향상시키는 비접촉식 저항 측정 장치 및 방법에 관한 것으로, 본 발명의 일 측면에 따른 직선형 광원을 이용한 비접촉식 저항 측정 장치는, 반도체 웨이퍼 또는 박막 재료와 같은 대상체 상에 직선 형태의 광자극을 형성하기 위한 직선형 광원; 및 상기 광자극에 따라 상기 대상체에 발생되는 와전류에 의한 유도 전압을 측정하기 위한 복수개의 전극을 포함할 수 있고, 이에 따라 와전류의 감소율을 기존보다 현저히 감소시켜 유도전압을 측정하는 전극의 절대 전압을 높임으로써 측정치의 정확도를 증가시킨다.
Int. CL G01R 27/08 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01)
CPC G01R 27/08(2013.01) G01R 27/08(2013.01) G01R 27/08(2013.01) G01R 27/08(2013.01) G01R 27/08(2013.01)
출원번호/일자 1020120016890 (2012.02.20)
출원인 충북대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1324430-0000 (2013.10.25)
공개번호/일자 10-2013-0095453 (2013.08.28) 문서열기
공고번호/일자 (20131031) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.02.20)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 충북대학교 산학협력단 대한민국 충청북도 청주시 서원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 서보석 대한민국 충북 청주시 흥덕구
2 정호규 대한민국 충북 청주시 흥덕구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박영일 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, *층 신진국제특허법률사무소 (역삼동, 용마빌딩)
2 김함곤 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, *호 층 신진국제특허법률사무소 (역삼동, 용마빌딩)
3 안광석 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, *층 신진국제특허법률사무소 (역삼동, 용마빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 충북대학교 산학협력단 충청북도 청주시 서원구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.02.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-0133989-11
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.03.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.04.09 수리 (Accepted) 9-1-2013-0024994-04
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.04.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0268979-67
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.06.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0543805-14
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.06.19 수리 (Accepted) 1-1-2013-0543804-79
7 등록결정서
Decision to grant
2013.09.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0676755-51
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.08.28 수리 (Accepted) 4-1-2014-5103343-45
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.06.17 수리 (Accepted) 4-1-2015-5081402-70
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2018-5086612-26
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5149268-82
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 대상체 상에 직선 형태의 광자극을 형성하는 단계; (b) 상기 광자극에 의해 상기 대상체에 발생되는 와전류에 의한 유도 전압을 측정하는 단계; 및(c) 상기 측정된 유도 전압을 기초로 상기 대상체의 면저항을 산출하는 단계를 포함하고,상기 단계 (b)는 상기 광자극 주위의 제1 위치 및 제2 위치에서의 유도 전압을 각각 측정하되, 상기 광자극과 상기 제1 및 제2 위치는 서로 평행하고, 상기 제1 및 제2 위치는 상기 광자극으로부터 양측으로 일정 간격 이격된 거리인 것을 특징으로 하는 직선형 광원을 이용한 비접촉식 저항 측정 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 단계 (a)는 직선형 광섬유를 광원으로 이용하는 것을 특징으로 하는 직선형 광원을 이용한 비접촉식 저항 측정 방법
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제1항에 있어서,상기 대상체는 반도체 웨이퍼 또는 박막 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 직선형 광원을 이용한 비접촉식 저항 측정 방법
6 6
대상체 상에 직선 형태의 광자극을 형성하기 위한 직선형 광원; 및상기 광자극에 따라 상기 대상체에 발생되는 와전류에 의한 유도 전압을 측정하기 위한 복수개의 전극을 포함하고, 상기 복수개의 전극은 상기 광자극 주위의 제1 위치 및 제2 위치에서의 전압을 각각 측정하기 위한 제1 전극 및 제2 전극을 포함하고, 상기 제1 및 제2 전극은 상기 직선형 광원의 양측에 평행하게 형성된 것을 특징으로 하는 직선형 광원을 이용한 비접촉식 저항 측정 장치
7 7
제6항에 있어서,상기 직선형 광원은 광섬유로 구성된 것을 특징으로 하는 직선형 광원을 이용한 비접촉식 저항 측정 장치
8 8
삭제
9 9
삭제
10 10
제6항에 있어서,상기 대상체는 반도체 웨이퍼 또는 박막 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 직선형 광원을 이용한 비접촉식 저항 측정 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.