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이웃한 전극들 사이에 구동소자(170)를 배치하는 전계구동표시장치의 제조방법에 있어서, 기판(100) 위에 횡으로 일정 간격을 갖도록 반복하여 제1전극(110)을 형성하고, 상기 기판(100) 및 제1전극(110) 위에 절연막(120)을 형성하는 단계(S10); 상기 제1전극(110)의 상측에 제2전극(130) 및, 이웃한 상기 제2전극(130)들 사이에 제3전극(140)을 상기 절연막(120) 위에 형성하는 단계(S20);상기 제2전극(130), 제3전극(140) 및 절연막(120) 위에 제1감광제층(150)을 형성하는 단계(S30);상기 제3전극(140)이 노출되도록 상기 제1감광제층(150)의 일부위에 공간(160)을 형성하는 단계(S40);상기 공간(160)에 구동소자(170)를 형성하는 단계(S50); 및 상기 제1감광제층(150)을 제거하는 단계(S60);를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계구동표시장치의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 단계(S60)에서 제3전극(140)를 함께 제거하는 특징으로 하는 전계구동표시장치의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 단계(S50)에서 공간(160)에 제3전극(140) 및 구동소자(170) 사이에 제1희생층(180)이 형성되고, 상기 단계(S60)에서 제3전극(140)은 남겨두고, 제1희생층(180)을 함께 제거하는 것을 특징으로 하는 전계구동표시장치의 제조방법
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제3항에 있어서, 상기 제1희생층(180)은 금속재질이고, 금속도금 또는 무전해도금으로 형성되는 것을 특징으로 하는 전계구동표시장치의 제조방법
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이웃한 전극들 사이에 구동소자(170)를 배치하는 전계구동표시장치의 제조방법에 있어서, 기판(100) 위에 횡으로 일정 간격을 갖도록 반복하여 제1전극(110)을 형성하고, 상기 기판(100) 및 제1전극(110) 위에 절연막(120)을 형성하는 단계(S100); 상기 제1전극(110)의 상측에 제2전극(130) 및, 이웃한 상기 제2전극(130)들 사이에 제3전극(140)을 상기 절연막(120) 위에 형성하는 단계(S200);상기 제2전극(130), 제3전극(140) 및 절연막(120) 위에 제1감광제층(150)을 형성하면서 가이드부재(190)를 배치하는 단계(S300);상기 제1감광제층(150)을 일부 노광하고, 그 위에 제2감광제층(200)을 형성하는 단계(S400);상기 제1감광제층(150)을 현상하여 공간(160)을 형성하는 단계(S500);상기 공간(160)에 구동소자(170)를 형성하는 단계(S600); 및 상기 제1,2감광제층(150) 및 제3전극(140)을 제거하는 단계(S700);를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계구동표시장치의 제조방법
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제1항 또는 제5항에 있어서,상기 제3전극(140)은 제1전극(110) 또는 제2전극(130)과 다른 재질인 것을 특징으로 하는 전계구동표시장치의 제조방법
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제1항 또는 제5항에 있어서, 상기 구동소자(170)는 공간(160)에 전기도금으로 형성된 금속재질로서 육면체형상, 구형상 또는 원기둥형상이고, 상기 육면체형상의 구동소자(170)는 상기 제1감광제층(150)이 제거되어 형성된 육면체의 공간(160)을 통해 형성되고, 상기 구형상 또는 원기둥형상의 구동소자(170)는 상기 제1감광제층(150)에 입상의 원통형상 또는 상,하면이 개방된 직육면체형상의 가이드부재(190)가 배치되고, 상기 감광제층을 현상시켜 형성된 구형상 또는 원기둥형상의 공간(160)을 통해 형성되는 것을 특징으로 하는 전계구동표시장치의 제조방법
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