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서셉터 온도 균일도 평가 장치 또는 시스템이 서셉터 온도 균일도 평가를 수행하는 방법으로서,(a) 서셉터의 온도가 목표치에 도달하기 전 특정 구간(이하 '학습구간'이라 한다)에서, 서셉터에 부착된 다수의 온도센서 중 특정 센서(이하 '제1 센서'라 한다)를 검증용 온도센서로 하여, 상기 제1 센서 및 그 외의 일정 갯수의 온도센서(이하 '주변센서'라 한다)에 의해 측정된 기 설정된 횟수의 온도측정 데이터를 상기 각 온도센서들로부터 수신하는 단계;(b) 상기 제1 센서에 의한 상기 학습구간에서의 온도측정 데이터와, 각 주변센서에 의한 상기 학습구간에서의 온도측정 데이터 간의 상관도를 각각 산출하는 단계;(c) 상기 산출된 제1 센서와의 상관도가 기준값 이상인 주변센서들을 결정하는 단계;(d) 상기 단계(c)에서 결정된 주변센서들에 의한 학습구간 온도측정 데이터 및 상기 제1 센서에 의한 학습구간 온도측정 데이터로부터, 각 주변센서들의 학습구간 온도측정 데이터에 대한 가중치 및 바이어스 값을 산출하는 단계;(e) 상기 단계(c)에서 상관도가 기준값 이상인 주변센서들에 대하여, 온도가 목표치에 도달한 후의 구간(이하 '검증구간'이라 한다)에서의 온도측정 데이터를 수신한 후, 상기 단계(d)에서 산출한 가중치 및 바이어스 값을 적용하여 상기 제1 센서의 상기 검증구간에서의 온도 예측값을 산출하는 단계; 및(f) 상기 제1 센서의 검증구간 온도 예측값과 상기 제1 센서에 의해 상기 검증구간에서 측정된 온도측정 데이터로부터, 상기 제1 센서의 오작동 여부를 판정하는 단계를 포함하는 서셉터 온도 균일도 평가 방법
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청구항 1에 있어서,상기 단계(f)의 제1 센서의 오작동 여부 판단은,오차율을 구하여 상기 오차율이 기준값 이상인 경우 오작동으로 판단하고,상기 오차율은,에 의해 산출되는 것을 특징으로 하는 서셉터 온도 균일도 평가 방법
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청구항 1에 있어서,상기 단계(f) 이후,(g) 상기 제1 센서 이외의 기 설정된 온도센서들에 대하여, 각 온도센서들을 검증용 온도센서로 하여 각각 상기 단계(a) 내지 단계(f)를 수행하는 단계;(h) 검증용 온도센서로서 상기 단계(a) 내지 단계(f)를 수행한 모든 온도센서에 대하여 산출된 검증구간에서 측정된 온도측정 데이터 또는 검증구간에서의 온도 예측값 중 최대값 및 최소값으로부터 상기 서셉터의 온도 균일도를 산출하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 서셉터 온도 균일도 평가 방법
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청구항 3에 있어서,상기 단계(h)에서 상기 최대값 및 최소값을 결정할 때,오작동으로 판정된 온도센서에서는 검증구간에서의 온도 예측값,정상으로 판정된 온도센서에서는 검증구간에서 측정된 온도측정 데이터를 취하여, 이 값들 중 최대값 및 최소값을 결정하는 것을 특징으로 하는 서셉터 온도 균일도 평가 방법
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청구항 3에 있어서,상기 서셉터의 온도 균일도는,에 의해 산출되는 것을 특징으로 하는 서셉터 온도 균일도 평가 방법
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청구항 1에 있어서,상기 단계(d)에서,상기 가중치 및 바이어스 값은,를 만족하는 값으로 구해지며,여기서 T1은 상기 제1 센서의 학습구간 온도측정 데이터,T2, T3,
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서셉터 온도 균일도 평가를 수행하는 장치로서,서셉터의 온도가 목표치에 도달하기 전 특정 구간(이하 '학습구간'이라 한다)에서, 서셉터에 부착된 다수의 온도센서 중 특정 센서(이하 '제1 센서'라 한다)를 검증용 온도센서로 하여, 상기 제1 센서 및 그 외의 일정 갯수의 온도센서(이하 '주변센서'라 한다)에 의해 측정된 기 설정된 횟수의 온도측정 데이터를 상기 각 온도센서들로부터 수신하고, 상관도가 기준값 이상인 주변센서들에 대하여, 온도가 목표치에 도달한 후의 구간(이하 '검증구간'이라 한다)에서의 온도측정 데이터를 수신하는 온도측정 데이터 수신모듈;상기 제1 센서에 의한 상기 학습구간에서의 온도측정 데이터와, 각 주변센서에 의한 상기 학습구간에서의 온도측정 데이터 간의 상관도를 각각 산출하는 상관도 산출모듈;상기 산출된 제1 센서와의 상관도가 기준값 이상인 주변센서들을 결정하여, 결정된 주변센서들에 의한 학습구간 온도측정 데이터 및 상기 제1 센서에 의한 학습구간 온도측정 데이터로부터, 각 주변센서들의 학습구간 온도측정 데이터에 대한 가중치 및 바이어스 값을 산출하는 가중치 및 바이어스 산출모듈;상관도가 기준값 이상인 주변센서들에 대하여, 온도가 목표치에 도달한 후의 구간(이하 '검증구간'이라 한다)에서의 온도측정 데이터를 상기 온도측정 데이터 수신모듈이 수신한 후, 상기 산출된 가중치 및 바이어스 값을 적용하여 상기 제1 센서의 상기 검증구간에서의 온도 예측값을 산출하는 온도 예측값 산출모듈;상기 제1 센서의 검증구간 온도 예측값과 상기 제1 센서에 의해 상기 검증구간에서 측정된 온도측정 데이터로부터, 상기 제1 센서의 오작동 여부를 판정하는 오작동 판정모듈; 및서셉터 온도 균일도 평가 장치의 상기 각 구성요소를 제어하여 서셉터 온도 균일도 평가 수행과 관련된 일련의 처리를 수행하는 제어부를 포함하는 서셉터 온도 균일도 평가 장치
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청구항 7에 있어서,상기 제1 센서의 오작동 여부 판단은,오차율을 구하여 상기 오차율이 기준값 이상인 경우 오작동으로 판단하고,상기 오차율은,에 의해 산출되는 것을 특징으로 하는 서셉터 온도 균일도 평가 장치
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청구항 7에 있어서,상기 단계(f) 이후,각 온도센서에 대하여 산출된 검증구간에서 측정된 온도측정 데이터 또는 검증구간에서의 온도 예측값 중 최대값 및 최소값을 결정하고, 이로부터 상기 서셉터의 온도 균일도를 산출하는 온도 균일도 산출모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 서셉터 온도 균일도 평가 장치
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청구항 9에 있어서,상기 최대값 및 최소값을 결정할 때,오작동으로 판정된 온도센서에서는 검증구간에서의 온도 예측값,정상으로 판정된 온도센서에서는 검증구간에서 측정된 온도측정 데이터를 취하여, 이 값들 중 최대값 및 최소값을 결정하는 것을 특징으로 하는 서셉터 온도 균일도 평가 장치
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청구항 9에 있어서,상기 서셉터의 온도 균일도는,에 의해 산출되는 것을 특징으로 하는 서셉터 온도 균일도 평가 장치
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청구항 7에 있어서,상기 가중치 및 바이어스 값은,를 만족하는 값으로 구해지며,여기서 T1은 상기 제1 센서의 학습구간 온도측정 데이터,T2, T3,
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서셉터에 부착되어 서셉터의 온도를 측정하는 다수의 센서; 및청구항 7의 서셉터 온도 균일도 평가 장치를 포함하는 서셉터 온도 균일도 평가 시스템
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