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스핀코터용 기판 홀더 장치로서,일정한 면적과 두께를 가지며, 그 위에 기판이 놓여지는 상부 바디(body);상기 상부 바디 상부면에 형성되며 일정한 면적 및 깊이를 가지는 기판 홀딩 홈;상기 상부 바디를 내부에 수용하는 케이스(case);상기 케이스 하부에 설치되고, 상기 상부 바디와는 상기 케이스에 의해 격리되는 하부 바디(body);상기 하부 바디 가장자리로부터 내부를 관통하는 진공유도 통로; 및상기 기판 홀딩 홈과 상기 진공유도 통로를 관통하여 연결하는 진공용 보조 홈을 그 내부에 포함하며, 상기 상부 바디와 상기 하부 바디를 연결하는 연결 바디(body)를 포함하는 스핀코터용 기판 홀더 장치
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청구항 1에 있어서,상기 진공유도 통로는,상기 하부 바디의 일 가장자리로부터 시작되어 상기 진공용 보조 홈을 경유한 후 반대 가장자리로 관통하는 것을 특징으로 하는 스핀코터용 기판 홀더 장치
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청구항 1에 있어서,상기 진공유도 통로는,상기 하부 바디의 일 가장자리로부터 시작되어 상기 진공용 보조 홈까지 연결되는 것을 특징으로 하는 스핀코터용 기판 홀더 장치
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청구항 1에 있어서,상기 진공유도 통로는,상기 하부 바디의 일 가장자리로부터 상기 진공용 보조 홈 방향으로 갈수록 그 단면적이 감소하는 것을 특징으로 하는 스핀코터용 기판 홀더 장치
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청구항 1에 있어서,상기 기판 홀딩 홈은,상기 상부 바디에 하나 또는 다수 개 형성되는 것을 특징으로 하는 스핀코터용 기판 홀더 장치
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청구항 1에 있어서,상기 기판 홀딩 홈은 원기둥 형태인 것을 특징으로 하는 스핀코터용 기판 홀더 장치
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