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광의 간섭을 이용하여 측정대상물과의 거리를 측정하는 거리 센서에 사용되는 광학 회절격자에 있어서,제1 투광부;상기 제1 투광부의 측면과 접촉하되 상기 제1 투광부와 서로 다른 두께를 가짐으로써 내부를 투과하는 광과 상기 제1 투광부를 투과하는 광 사이에 위상차를 발생시키는 제2 투광부;복수개가 상호 이격되어 상기 제1 투광부의 일면 및 상기 제2 투광부의 일면에 각각 마련되는 격자부;를 포함하며, 상기 격자부는 상기 제1 투광부와 상기 격자부 사이의 경계면 또는 상기 제2 투광부와 상기 격자부 사이의 경계면으로부터 광을 반사시키는 광경로와 상기 복수개의 격자부 사이의 이격공간 사이로 광을 통과시키는 광경로로 분할하여 광의 간섭을 발생시키는 것을 특징으로 하는 광학 회절격자
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제 1항에 있어서,상기 격자부는 상기 제1 투광부에 마련되는 제1격자부; 상기 제2 투광부에 마련되는 제2격자부;를 포함하며,상기 제1 격자부는 소정 간격인 제1간격으로 이격되며, 상기 제2 격자부는 상기 제1간격과는 서로 다른 간격을 가지는 제2간격으로 이격되는 것을 특징으로 하는 광학 회절격자
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제 1항에 있어서,상기 제1 투광부의 타면과 상기 제2 투광부의 타면은 동일 평면상에 마련되는 것을 특징으로 하는 광학 회절격자
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제 3항에 있어서,상기 제1 투광부를 투과하는 광과 상기 제2 투광부를 투과하는 광 사이의 위상차는 90° 인 것을 특징으로 하는 광학 회절격자
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제 4항에 있어서,상기 제1 투광부의 두께보다 얇고 상기 제2 투광부의 두께보다 두꺼운 두께를 가지는 복수개의 투광부를 더 포함하며,상기 격자부는 상기 복수개의 투광부의 타면에 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 광학 회절격자
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제 5항에 있어서,상기 제1 투광부, 상기 제2 투광부 및 상기 복수개의 투광부는 두께방향을 따라 각각 동일한 간격으로 이격되는 것을 특징으로 하는 광학 회절격자
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상기 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 광학 회절격자;상기 광학 회절격자를 향하여 광을 방출하는 광원;상기 광학 회절격자로부터 반사되는 광 및 측정대상물로부터 반사되는 광을 입력받아 간섭광 정보를 획득하는 광입력부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 회절격자를 이용한 거리 센서
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제 7항에 있어서,상기 광입력부는 상기 복수개의 격자부 중 어느 하나에 의해 반사되는 광 및 측정대상물로부터 반사되는 광을 입력받아 제1 간섭광 정보를 획득하는 제1 광입력부; 상기 복수개의 격자부 중 다른 하나에 의해 반사되는 광 및 측정대상물로부터 반사되는 광을 입력받아 제2 간섭광 정보를 획득하는 제2 광입력부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 회절격자를 이용한 거리 센서
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제 8항에 있어서,상기 제1 광입력부 및 상기 제2 광입력부 중 적어도 어느 하나로부터 상기 제1 간섭광 정보 또는 상기 제2 간섭광 정보 중 적어도 하나를 제공받아 상기 제1 간섭광 정보에 대한 제1 간섭 신호, 상기 제2 간섭광 정보에 대한 제2 간섭 신호 또는 상기 제1 간섭광 정보에 대한 간섭 신호 및 상기 제2 간섭광 정보에 대한 간섭 신호를 병합한 신호를 표시하는 표시부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 회절격자를 이용한 거리 센서
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제 9항에 있어서,상기 표시부는 상기 제1 간섭 신호 또는 상기 제2 간섭 신호 중 적어도 어느 하나를 구형파로 변환하여 상기 표시부로 전송하는 변환부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 회절 격자를 이용한 거리 센서
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제 7항에 있어서,상기 광원은 튜너블 레이저(tunable laser)로 마련되며, 상기 광원의 파장을 변화시킴으로써 상기 광원과 측정대상물 사이의 절대거리를 측정하는 것을 특징으로 하는 광학 회절 격자를 이용한 거리 센서
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