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(a)실리콘웨이퍼로 된 기판의 상면에 스핀 코팅방식으로 양각형 감광액을 도포하는 (a-1)단계와, 상기 (a-1)단계에 의해 감광액이 도포된 상기 기판의 상측에는 부분적으로 자외선을 투과, 노출시키는 포토마스크를 위치한 후, 감광액을 부분적으로 노광시켜, 상기 기판의 상면에 높이가 상이한 다단의 주형을 형성하는 (a-2)단계와, 상기 (a-2)단계에 의해 다단으로 형성된 주형에 PDMS의 액화 전구체를 붓고 경화시켜, 상기 다단의 주형과 상응하여 복수의 채널과 경계벽체가 형성된 폴리머몰드가 조형되어 준비되는 (a-3)단계를 실시하여, 내부에는 서로 일정한 간격으로 이격된 복수의 채널이 형성되고, 상기 채널들의 경계를 이루는 경계벽체에는 상기 채널들이 서로 횡방향으로 상통하는 상통공간이 형성되는 폴리머몰드를 준비하는 단계;(b)상기 (a)단계에 의해 준비된 폴리머몰드에 글라스기판을 산소플라즈마로 본딩하는 단계가 포함되는 농도구배 생성 미세유체장치 제조방법에 있어서,(c)상기 (b)단계에 의해 글라스기판이 본딩된 폴리머몰드를 50℃~60℃의 온도를 유지하는 핫플레이트에 안치하여, 상기 상통공간에 주입될 아가로스(agarose)용액이 경화되는 것을 방지함은 물론, 아가로스(agarose)용액의 표면장력에 의한 이동이 용이하도록 가열하는 단계; (d)상기 (c)단계에 의해 가열된 상기 폴리머몰드의 경계벽체들과 글라스기판의 사이 상통공간을 따라, 표면장력에 의해 채워지는 아가로스(agarose)용액을 주입하는 단계; 및(e)상기 (d)단계에 의해 경계벽체의 상통공간을 따라 아가로스(agarose)용액이 채워지면, 상기 폴리머몰드를 상온에서 수분간 방치하여, 상기 경계벽체와 글라스기판의 사이 상통공간을 따라 채워진 아가로스(agarose)용액이 무수한 나노 공극을 지닌 하이드로젤로 변환되어 나노공극멤브레인을 완성하는 단계를 포함하는 농도구배 생성 미세유체장치 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 (a-2)단계에서자외선이 투과되는 해당 패턴(노출영역)들의 자외선 투과도가 서로 다른 복수의 포토마스크를 순차대로 위치한 후 자외선을 순차대로 투과시켜, 높이가 상이한 다단의 주형을 형성하는 농도구배 생성 미세유체장치 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 (a-2)단계에서상기 포토마스크는 자외선이 투과되는 해당 패턴(노출영역)들의 자외선 투과도를 선택적으로 달리하여, 높이가 상이한 다단의 주형을 형성하는 농도구배 생성 미세유체장치 제조방법
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화학물질이 인가되는 공급채널과, 상기 공급채널과 서로 이격되어 상기 공급채널에 인가된 화학물질이 배출되는 배출채널과, 상기 공급채널과 배출채널의 사이에 위치되고, 선형 또는 비선형으로 형성되어 기울기를 형성을 위한 테스트채널과, 상기 공급채널과 배출채널과 테스트채널들의 사이에 각각 배치되고, 상통공간이 형성되어 상기 채널들이 서로 상통되는 복수의 경계벽체;가 더 형성되는 폴리머몰드;상기 폴리머몰드의 일면에 접합되는 글라스기판;상기 폴리머몰드의 경계벽체들의 상통공간을 따라 형성되고, 포함된 나노 공극을 통해 입자가 이동되어 확산되는 것을 나타내는 나노공극멤브레인;이 포함되는 농도구배 생성 미세유체장치
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