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원자현미경의 3차원 스캔형상 교정방법에 있어서, 교정의 대상인 원자현미경으로 미세 패턴을 갖는 제1교정용 기준편을 스캔하여 제1형상데이터를 획득하는 단계; 상기 제1형상데이터를 기반으로 상기 원자현미경의 높이 방향 스캔형상을 교정하는 제1교정단계; 상기 제1교정단계에서 교정된 원자현미경으로 특정곡률을 갖는 제2교정용 기준편을 스캔하여 제2형상데이터를 획득하는 단계; 및상기 특정곡률과 상기 제2형상데이터를 비교하여 상기 원자현미경의 평면 방향 스캔형상을 교정하는 제2교정단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 원자현미경의 3차원 스캔형상 교정방법
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제 1항에 있어서, 상기 제1교정용 기준편은 격자패턴을 갖거나, 적어도 하나의 트렌치를 갖는 것을 특징으로 하는 원자현미경의 3차원 스캔형상 교정방법
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제 2항에 있어서, 상기 제1교정용 기준편에 대한 높이 방향 형상데이터를 미리 알고 있는 것을 특징으로 하는 원자현미경의 3차원 스캔형상 교정방법
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제 3항에 있어서, 상기 제1교정단계는상기 제1교정용 기준편에 대한 높이 방향 형상데이터와 상기 제1형상데이터를 비교하여, 상기 원자현미경의 높이 방향 스캔형상을 교정하는 것을 특징으로 하는 원자현미경의 3차원 스캔형상 교정방법
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제 1항에 있어서, 상기 제2형상데이터는 측정 곡률반경데이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 원자현미경의 3차원 스캔형상 교정방법
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제 5항에 있어서, 상기 제2교정용 기준편에 대한 구형 곡률반경 데이터를 미리 알고 있는 것을 특징으로 하는 원자현미경의 3차원 스캔형상 교정방법
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제 6항에 있어서, 상기 제2교정단계는상기 제2형상데이터를 제1교정 단계에서 높낮이 교정을 거친 데이터이기 때문에 이로부터 측정된 곡률반경과 미리 정확히 알고있는 제2교정용 기준편과의 곡률반경 값의 관계로부터 상기 원자현미경의 평면 방향 스캔형상을 교정하는 것을 특징으로 하는 원자현미경의 3차원 스캔형상 교정방법
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교정의 대상인 원자현미경으로 미세 패턴을 갖는 제1교정용 기준편을 스캔하여 제1형상데이터를 획득하는 단계; 상기 제1형상데이터를 기반으로 상기 원자현미경의 높이 방향 스캔형상을 교정하는 제1교정단계; 상기 제1교정단계에서 교정된 원자현미경으로 특정곡률을 갖는 제2교정용 기준편을 스캔하여 제2형상데이터를 획득하는 단계; 상기 특정곡률과 상기 제2형상데이터를 비교하여 상기 원자현미경의 평면 방향 스캔형상을 교정하는 제2교정단계;교정된 상기 원자현미경으로 시험편을 스캔하여 3차원 형상데이터를 획득하는 단계; 및 상기 3차원 형상데이터를 기반으로 상기 시험편의 역학물성을 측정하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 스캔형상이 교정된 원자현미경을 이용한 분석방법
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제 8항에 있어서, 상기 제1교정용 기준편에 대한 높이 방향 형상데이터를 미리 알고 있는 것을 특징으로 하는 3차원 스캔형상이 교정된 원자현미경을 이용한 분석방법
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제 9항에 있어서, 상기 제1교정단계는상기 제1교정용 기준편에 대한 높이 방향 형상데이터와 상기 제1형상데이터를 비교하여, 상기 원자현미경의 높이 방향 스캔형상을 교정하는 것을 특징으로 하는 3차원 스캔형상이 교정된 원자현미경을 이용한 분석방법
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제 8항에 있어서, 상기 제2형상데이터는 측정 곡률반경데이터를 포함하고, 상기 제2교정용 기준편에 대한 구형 곡률반경 데이터를 미리 알고 있으며,상기 제2교정단계는상기 제2형상데이터를 제1교정단계로 교정한 높낮이 형상데이터에 제2교정용 기준편에 대한 곡률반경 데이터를 복합함으로써 상기 원자현미경의 평면 방향 스캔형상을 교정하는 것을 특징으로 하는 3차원 스캔형상이 교정된 원자현미경을 이용한 분석방법
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스캔형상 교정의 대상이 되며, 미세 패턴을 갖고 높이 방향 형상데이터를 미리 알고 있는 제1교정용 기준편을 스캔하여 제1형상데이터를 획득하고, 평면 방향 형상데이터를 미리 알고 있는 제2교정용 기준편을 스캔하여 제2형상데이터를 획득하는 원자현미경; 획득된 상기 제1형상데이터를 분석하고, 획득된 상기 제2형상데이터를 분석하는 분석수단; 분석된 상기 제1형상데이터를 기반으로 상기 원자현미경의 높이 방향 스캔형상을 교정하고, 분석된 상기 제2형상데이터를 기반으로 상기 원자현미경의 평면 방향 스캔형상을 교정한 상기 원자현미경으로 시험편을 스캔하여 획득한 3차원 형상데이터를 분석하여 상기 시험편의 역학물성을 측정하는 측정장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 3차원 스캔형상이 교정된 원자현미경을 이용한 분석시스템
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제 12항에 있어서, 상기 제1교정용 기준편, 상기 제2교정용 기준편 및 상기 시험편은,나노구조물 또는 마이크로 구조물인 것을 특징으로 하는 3차원 스캔형상이 교정된 원자현미경을 이용한 분석시스템
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제 1항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 따른 원자현미경의 3차원 스캔형상 교정방법이 실행되는 프로그램 코드가 기록된 기록매체
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제 8항 내지 제 11항 중 어느 한 항에 따른 3차원 스캔형상이 교정된 원자현미경을 이용한 분석방법이 실행되는 프로그램 코드가 기록된 기록매체
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