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플라즈마 생성 가스 분위기를 갖는 진공 챔버;상기 플라즈마 생성 가스를 이용하여 플라즈마를 생성시키는 이온 건; 및상기 진공 챔버에 구비되고 금속 모재와 세라믹 모재를 수용하며 필요시 상기 금속 모재와 상기 세라믹 모재를 서로 면 접촉시키는 접합 유닛을 포함하고,상기 금속 모재 및 상기 세라믹 모재가 상기 플라즈마에 의해 표면 활성화되면 상기 접합 유닛에 의해 그 표면 활성화된 면이 서로 접촉되어 접합되며,상기 접합 유닛은상기 금속 모재 또는 상기 세라믹 모재 중 어느 하나가 안착되는 제1 안착 부재;상기 제1 안착 부재에 회동 가능하게 구비되며 상기 금속 모재 또는 상기 세라믹 모재 중 나머지 하나가 안착되는 제2 안착 부재; 및상기 제1 및 제2 안착 부재를 서로 포개는 구동부를 포함하는 금속-세라믹 정밀층상복합소재 제조 장치
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제2항에서,상기 구동부는상기 제1 및 제2 안착 부재의 회전 중심에서 연장 형성되되 상기 제2 안착 부재에 고정되는 회동축; 및상기 회동축을 회전시키는 구동원을 포함하는 금속-세라믹 정밀층상복합소재 제조 장치
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제2항 또는 제3항에서,상기 접합 유닛은상기 제1 및 제2 안착 부재가 상기 구동부에 의해 서로 포개진 상태에서 압력을 가해 상기 금속 모재 또는 상기 세라믹 모재를 미는 보조 가압 유닛을 더 포함하는 금속-세라믹 정밀층상복합소재 제조 장치
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제4항에서,상기 보조 가압 유닛은상기 제2 안착 부재에 형성되며 상기 세라믹 모재 또는 상기 금속 모재가 위치되는 안착홈;상기 안착홈에 슬라이딩 가능하게 구비되며 상기 세라믹 모재 또는 상기 금속 모재가 안착되는 가압판; 및상기 가압판을 상기 안착홈을 통해 상하 이동시키는 가압부를 포함하는 금속-세라믹 정밀층상복합소재 제조 장치
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제5항에서,상기 가압부는상기 가압판의 배면에 일단이 구비되며 상기 제2 안착 부재의 배면에 관통되는 가압봉;상기 가압봉의 타단에 구비되어 상기 가압봉에 가압력을 제공하는 가압원; 및상기 가압원을 상기 제2 안착 부재의 배면에 고정시키는 고정 브라켓을 포함하는 금속-세라믹 정밀층상복합소재 제조 장치
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제4항에서,상기 제1 안착 부재에는 상기 금속 모재가 안착되고,상기 제2 안착 부재에는 상기 세라믹 모재가 안착되며, 그리고상기 보조 가압 유닛은 상기 세라믹 모재를 상기 금속 모재에 가압하기 위해 상기 제2 안착 부재에 구비되는 금속-세라믹 정밀층상복합소재 제조 장치
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제2항 또는 제3항에서,상기 접합 유닛은상기 제2 안착 부재에 구비되며 상기 제2 안착 부재에 안착되는 금속 모재 또는 세라믹 모재를 파지하는 파지부를 더 포함하는 금속-세라믹 정밀층상복합소재 제조 장치
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