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향상된 냉각효율 및 자석효율을 갖는 스퍼터링 캐소드 및 이를 포함하는 스퍼터링 장치

  • 기술번호 : KST2014061750
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 향상된 냉각효율 및 자석효율을 갖는 스퍼터링 캐소드 및 이를 포함하는 스퍼터링 장치에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시형태는 냉각수를 수용하며, 일면에 요철이 형성된 캐소드 바디; 상기 요철의 오목부에 구비되는 자석; 및 상기 오목부가 밀폐되도록 상기 캐소드 바디에 체결되는 커버를 포함하는 스퍼터링 캐소드 및 이를 포함하는 스퍼터링 장치를 제공한다.본 발명에 따르면, 자석 효율의 저하없이도 우수한 냉각 효율을 확보함으로써 스퍼터링을 안정적으로 행할 수 있는 스퍼터링 캐소드 및 이를 포함하는 스퍼터링 장치를 제공할 수 있다.
Int. CL C23C 14/35 (2006.01)
CPC C23C 14/35(2013.01) C23C 14/35(2013.01) C23C 14/35(2013.01) C23C 14/35(2013.01)
출원번호/일자 1020120063576 (2012.06.14)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2013-0140314 (2013.12.24) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.06.14)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 송영식 대한민국 인천 계양구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인씨엔에스 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, 대림아크로텔 *층(도곡동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.06.14 수리 (Accepted) 1-1-2012-0472371-12
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.03.25 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.05.08 수리 (Accepted) 9-1-2013-0035494-34
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.11.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0759106-19
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.01.02 수리 (Accepted) 1-1-2014-0002834-84
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.02.03 수리 (Accepted) 1-1-2014-0105975-40
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.02.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0105978-87
9 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2014.05.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0344908-32
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.07.18 수리 (Accepted) 1-1-2014-0676980-16
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.07.18 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2014-0676981-51
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2014.11.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0790227-42
13 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2014.12.16 수리 (Accepted) 7-1-2014-0047869-54
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
15 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2015.01.19 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2015-0054354-67
16 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.01.19 수리 (Accepted) 1-1-2015-0054348-93
17 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2015.02.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0085620-70
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
냉각수를 수용하며, 일면에 요철이 형성된 캐소드 바디;상기 요철의 오목부에 구비되는 자석; 및상기 오목부가 밀폐되도록 상기 캐소드 바디에 체결되는 커버를 포함하는 스퍼터링 캐소드
2 2
청구항 1에 있어서,상기 커버의 두께는 2~5mm인 스퍼터링 캐소드
3 3
청구항 1에 있어서,상기 커버와 캐소드는 볼트에 의해 체결되는 스퍼터링 캐소드
4 4
청구항 1에 있어서,상기 스퍼터링 캐소드는 요크를 추가로 포함하는 스퍼터링 캐소드
5 5
청구항 1 내지 4 중 어느 한 항에 기재된 스퍼터링 캐소드를 포함하는 스퍼터링 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.