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마이크로 점도계 및 이를 생산하기 위한 제조방법

  • 기술번호 : KST2014061755
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 실시예는 서로 간격을 두고 배치된 제 1 챔버 및 제 2챔버; 상기 제 1 챔버와 상기 제 2 챔버를 연결하는 마이크로 채널; 상기 제 1 챔버와 상기 제 2 챔버 각각의 상부에 배치된 제 1 박막 및 제 2 박막; 및 상기 제 1 박막 및 제 2 박막 상부에 각각 배치된 제 1 및 제 2 압전 박막을 포함하고, 상기 제 1 및 제 2 압전 박막 중 적어도 어느 하나는 상기 압전 박막의 중심에서 상기 압전 박막의 끝단까지의 거리 중 가장 긴 임계범위 거리 이상에서 육각형상을 갖거나, 상기 임계범위 거리 미만에서는 원형상을 갖는 마이크로 점도계를 제공한다.
Int. CL G01N 11/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020120052817 (2012.05.18)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1349796-0000 (2014.01.03)
공개번호/일자 10-2013-0128792 (2013.11.27) 문서열기
공고번호/일자 (20140116) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.05.18)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최성준 대한민국 대구 달서구
2 차영택 대한민국 대구광역시 서구
3 신대영 대한민국 인천 연수구
4 이강원 대한민국 충청남도 천안시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 임상엽 대한민국 서울특별시 성동구 광나루로 ***, *층 ***호 (성수동*가, 서울숲IT캐슬)(지반특허법률사무소)
2 이창희 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, B동, ****호(국제특허이창)
3 고영갑 대한민국 경기도 성남시 분당구 정자일로 ***, 파크뷰 타워 ***호 (정자동)(가람특허법률사무소)
4 권정기 대한민국 서울특별시 성동구 광나루로 ***, *층 ***호 (성수동*가, 서울숲IT캐슬)(지반특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 충청남도 천안시 서북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.05.18 수리 (Accepted) 1-1-2012-0397548-14
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.07.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0495204-71
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.09.16 수리 (Accepted) 1-1-2013-0843631-25
5 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)
2013.10.14 수리 (Accepted) 1-1-2013-0926442-72
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.10.17 수리 (Accepted) 1-1-2013-0937198-83
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.11.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-1048552-69
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.11.18 수리 (Accepted) 1-1-2013-1048542-13
9 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2013.11.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0823113-75
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.12.03 수리 (Accepted) 1-1-2013-1104407-50
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.12.03 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-1104422-35
12 등록결정서
Decision to grant
2013.12.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0908580-99
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
서로 간격을 두고 배치된 제 1 챔버 및 제 2 챔버;상기 제 1 챔버와 상기 제 2 챔버를 연결하는 마이크로 채널;상기 제 1 챔버와 상기 제 2 챔버 각각의 상부에 배치된 제 1 박막 및 제 2 박막; 및상기 제 1 박막 및 제 2 박막 상부에 각각 배치된 제 1 및 제 2 압전 박막을 포함하고,상기 제 1 및 제 2 압전 박막 중 적어도 어느 하나는 육각형상 또는 원형상을 갖고,상기 육각형상을 갖는 압전 박막과 상기 원형상을 갖는 압전 박막 각각의 중심에서 끝단까지의 거리에 따라 피크 출력 전압이 측정되며,상기 육각형상을 갖는 압전 박막과 상기 원형상을 갖는 압전 박막의 피크 출력 전압이 같아지는 상기 거리를 기준으로 하여 상기 제 1 및 제 2 압전 박막 중 적어도 어느 하나는 상기 거리 이상에서 육각형상을 갖고, 상기 거리 미만에서 원형상을 갖는 마이크로 점도계
2 2
제 1항에 있어서,상기 마이크로 채널은 복수개 인 것을 특징으로 하는 마이크로 점도계
3 3
제 1항에 있어서,상기 거리는 55㎛ ~ 60㎛를 갖는 것을 특징으로 하는 마이크로 점도계
4 4
삭제
5 5
제 1항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 압전 박막은 전기활성 고분자(Electroactive Polymer)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 점도계
6 6
제 1항에 있어서,상기 압전박막의 상기 거리는 상기 제 1 박막 및 제 2 박막의 폭 혹은 크기에 따라 비례하여 증가하거나 감소하는 것을 특징으로 하는 마이크로 점도계
7 7
실리콘 온 인슐레이터(SOI) 웨이퍼 상에 절연막을 형성하는 단계; 및상기 절연막 상에 하부전극층, 압전층, 상부전극층을 순차적으로 증착하여 압전 박막을 형성하는 단계를 포함하고,상기 압전 박막은 육각형상 또는 원형상을 갖고,상기 육각형상을 갖는 압전 박막과 상기 원형상을 갖는 압전 박막 각각의 중심에서 끝단까지의 거리에 따라 피크 출력 전압이 측정되며,상기 육각형상을 갖는 압전 박막과 상기 원형상을 갖는 압전 박막의 피크 출력 전압이 같아지는 상기 거리를 기준으로 하여 상기 압전 박막은 상기 거리 이상에서 육각형상을 갖고, 상기 거리 미만에서 원형상을 갖도록 제작되는 마이크로 점도계 제조방법
8 8
제 7항에 있어서,상기 거리는 55㎛ ~ 60㎛를 갖는 것을 특징으로 하는 마이크로 점도계 제조방법
9 9
삭제
10 10
제 7항에 있어서,상기 압전 박막은 스크린 프린팅(Screen Printing), 에어로-졸(Aero-sol), 화학증착법(CVD), 스퍼터링(Sputtering) 방법 중 어느 한 방법에 의해 형성되어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 점도계 제조방법
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US09128022 US 미국 FAMILY
2 US20130305816 US 미국 FAMILY
3 WO2013172513 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 WO2013172513 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.