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미세 홀이 배열된 폴리머 멤브레인을 포함하는 플라스틱 챔버 플레이트의 제작 방법

  • 기술번호 : KST2014061806
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 미세 홀이 배열된 폴리머 멤브레인을 포함하는 플라스틱 챔버 플레이트의 제작 방법에 관한 것으로, 그 목적은 단순한 공정으로 미세 홀이 배열된 멤브레인의 제작이 가능하고, 멤브레인의 제작과 플라스틱 챔버 플레이트와의 접착을 함께 진행하도록 함으로써 생산성은 높이고 불량률은 낮출 수 있는 미세 홀이 배열된 폴리머 멤브레인을 포함하는 플라스틱 챔버 플레이트의 제작 방법을 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명의 미세 홀이 배열된 멤브레인을 포함하는 플라스틱 챔버 플레이트의 제작 방법은 웨이퍼의 상부에 폴리머를 코팅하여 희생층을 형성하는 단계(S110); 상기 희생층의 상부에 포토레지스트를 코팅하여 포토레지스트층을 형성하는 단계(S120); 상기 S120 단계를 통해 형성된 포토레지스트층의 상부에 미세 홀이 형성된 마스크를 배치하고, 배치된 마스크의 상부에서 자외선을 조사하는 단계(S130); 상기 S130 단계 후, 현상액을 이용하여 자외선이 조사된 부분을 제거하고, 열을 가하여 건조 및 경화시킴으로써 미세 홀이 배열된 멤브레인을 제작하는 단계(S140); 상기 S140 단계 후, 제작된 멤브레인의 상부에 플라스틱 챔버 플레이트를 접착하는 단계(S150); 및 상기 S150 단계 후, 용매를 이용하여 상기 희생층을 제거함으로써 멤브레인과 웨이퍼를 분리하는 단계(S160)로 이루어져 있다.
Int. CL G03F 7/00 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/0273(2013.01) H01L 21/0273(2013.01) H01L 21/0273(2013.01)
출원번호/일자 1020120062477 (2012.06.12)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1355434-0000 (2014.01.20)
공개번호/일자 10-2013-0138932 (2013.12.20) 문서열기
공고번호/일자 (20140128) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.06.12)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강정진 대한민국 서울 서대문구
2 홍석관 대한민국 서울 강서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 최영규 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***, B동 ***호 새천년 국제특허법률사무소 (가산동, 우림 라이온스밸리)
2 장순부 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***, B동 ***호 새천년국제특허법률사무소 (가산동, 우림 라이온스밸리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 대한민국(산업통상자원부장관) 세종특별자치시 한누리대
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.06.12 수리 (Accepted) 1-1-2012-0464525-14
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.12.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.01.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0002400-02
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.07.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0504202-92
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.09.23 수리 (Accepted) 1-1-2013-0857616-12
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.09.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0857619-59
8 등록결정서
Decision to grant		 2014.01.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0035008-07
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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웨이퍼(110)의 상부에 폴리머를 코팅하여 희생층(120)을 형성하는 단계(S110);상기 희생층(120)의 상부에 포토레지스트를 코팅하여 포토레지스트층(130)을 형성하는 단계(S120); 상기 S120 단계를 통해 형성된 포토레지스트층(130)의 상부에 미세 홀이 형성된 마스크(140)를 배치하고, 배치된 마스크(140)의 상부에서 자외선을 조사하는 단계(S130);상기 S130 단계 후, 현상액을 이용하여 자외선이 조사된 부분을 제거하고, 열을 가하여 건조 및 경화시킴으로써 미세 홀이 배열된 멤브레인(130`)을 제작하는 단계(S140); 상기 S140 단계 후, 제작된 멤브레인(130`)의 상부에 플라스틱 챔버 플레이트(150)를 접착하는 단계(S150); 및상기 S150 단계 후, 용매를 이용하여 상기 희생층(120)을 제거함으로써 멤브레인(130`)과 웨이퍼(110)를 분리하는 단계(S160)로 이루어진 것을 특징으로 하는 미세 홀이 배열된 폴리머 멤브레인을 포함하는 플라스틱 챔버 플레이트의 제작 방법
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 경기지방중소기업청 한국생산기술연구원 중소기업융복합기술개발사업 혼합세포군 중 폐암 세포 선별.정렬 시스템