| 1 |
1
소정크기의 케이스;상기 케이스의 일측에 고정 구비되는 것으로, 소정크기의 하우징 내부에 복수개의 구동기어가 치합되어 있는 동력전달부;상기 동력전달부의 동력을 전달받아 개폐되는 것으로, 그 일측은 결합핀에 의해 상기 케이스의 일면에 형성된 홈에 결합되고, 그 타측은 상기 동력전달부와 결합되는 복수개의 셔터부;상기 동력전달부로 동력을 전달하는 동력수단;상기 케이스의 일면에 고정 설치되어 조명광을 제공하는 조사수단; 및상기 조사수단의 전원공급과 상기 동력수단을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 원격 구동되는 셔터장치를 구비한 대면적 초고진공용 백색광 조사장치
|
| 2 |
2
제 1항에 있어서, 상기 케이스는,탈착 가능하도록 그 양단이 상기 케이스에 고정 구비되어 상기 조사수단을 커버하는 복수개의 강화유리판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 원격 구동되는 셔터장치를 구비한 대면적 초고진공용 백색광 조사장치
|
| 3 |
3
제 1항에 있어서, 상기 케이스는,진공 용기 내부에 고정하기 위한 설치패드가 일측면에 고정 구비되는 것을 특징으로 하는 원격 구동되는 셔터장치를 구비한 대면적 초고진공용 백색광 조사장치
|
| 4 |
4
제 1항에 있어서, 상기 동력전달부는,상기 셔터부의 일측과 연결되는 셔터 구동기어와, 상기 셔터 구동기어 에 동력을 전달하기 위해 하우징에 결합되어 있는 구동기어로 이루어지는 것을 특징으로 하는 원격 구동되는 셔터장치를 구비한 대면적 초고진공용 백색광 조사장치
|
| 5 |
5
제 1항에 있어서, 상기 동력수단은,외부기기로부터 공급되는 압축공기의 주입 방향을 결정하는 솔레노이드 밸브;상기 솔레노이드 밸브에 의해 결정되는 압축공기의 방향에 따라 로드가 전/후로 동작하는 공압구동장치; 및상기 공압구동장치의 로드와 상기 동력전달수단의 기어와 연결되어 동력을 전달하는 구동축으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 원격 구동되는 셔터장치를 구비한 대면적 초고진공용 백색광 조사장치
|
| 6 |
6
제 1항에 있어서, 상기 조사수단은,상기 케이스에 고정 설치되는 소켓과, 상기 소켓에 결합되는 램프로 구성되고, 상기 램프는 메탈 할라이드 램프인 것을 특징으로 하는 원격 구동되는 셔터장치를 구비한 대면적 초고진공용 백색광 조사장치
|
| 7 |
7
제 1항 또는 제 6항에 있어서, 상기 조사수단은,상기 동력전달부의 일측면에 커넥터를 구비하고 상기 커넥터와 상기 소켓이 연결되며, 상기 커넥터를 통하여 상기 조사수단 제어부로부터 전원을 공급받는 것을 특징으로 하는 원격 구동되는 셔터장치를 구비한 대면적 초고진공용 백색광 조사장치
|
| 8 |
8
제 1항에 있어서, 상기 제어부는,상기 조사수단의 안정적인 전원 공급을 위한 램프 제어기를 포함하는 조사수단 제어부; 및상기 동력수단에 전원을 공급하는 동력수단 제어부로 구성되는 것을 특징으로 하는 원격 구동되는 셔터장치를 구비한 대면적 초고진공용 백색광 조사장치
|
