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분석 대상물의 스크라이빙될 위치에 레이저를 조사하여 스크라이빙을 수행하는 레이저 조사부;조사된 상기 레이저에 의해 생성된 플라즈마로부터 발생된 분광을 검출하는 분광 검출 광학부;상기 분석 대상물을 형성하는 각 물질의 분광 상태 정보를 저장하는 분광 정보 저장부; 및상기 검출된 분광과 상기 분광 상태 정보를 비교하여 상기 물질의 분포 상태를 분석하는 분광 분석부를 포함하고,상기 레이저 조사부는 상기 스크라이빙될 위치에 스크라이빙하기 위한 레이저를 조사하는 스크라이빙용 레이저모듈 및 상기 분석 대상물을 형성하는 각 물질의 분포 상태를 분석하기 위한 레이저를 조사하는 분석용 레이저모듈을 포함하는 물질의 분포를 분석하는 기능을 구비한 스크라이빙 장치
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제1항에 있어서,상기 레이저 조사부는,상기 스크라이빙용 레이저모듈 및 상기 분석용 레이저모듈 중 적어도 하나가 상기 스크라이빙될 위치에 상기 레이저를 조사하도록 조사 위치 및 각도 중 적어도 하나를 조절하는 위치조정모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 물질의 분포를 분석하는 기능을 구비한 스크라이빙 장치
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제1항에 있어서,상기 레이저 조사부는,상기 스크라이빙과 상기 물질의 분포 상태의 분석이 동시에 수행되는 경우에 상기 스크라이빙용 레이저모듈만 인에이블시켜 상기 스크라이빙될 위치에 레이저를 조사하고,상기 스크라이빙과 상기 물질의 분포 상태의 분석이 동시에 수행되지 않는 경우에 상기 분석용 레이저모듈을 먼저 인에이블시켜 상기 스크라이빙될 위치에 레이저를 조사하여 상기 분석 대상물을 형성하는 각 물질의 분포 상태를 분석한 후 상기 스크라이빙용 레이저모듈을 인에이블시켜 상기 스크라이빙될 위치에 레이저를 조사하여 상기 분석 대상물을 스크라이빙하는 것을 특징으로 하는 물질의 분포를 분석하는 기능을 구비한 스크라이빙 장치
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제1항에 있어서,상기 분광 상태 정보는,상기 분석 대상물을 형성하는 각 물질에 대한 고유한 분광 특성 정보인 것을 특징으로 하는 물질의 분포를 분석하는 기능을 구비한 스크라이빙 장치
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제1항에 있어서,상기 분광 검출 광학부는,상기 분석 대상물의 특성에 기초하여 발생된 상기 분광을 측정하는 시점(delay) 및 측정하는 시간(gate)을 조절하는 것을 특징으로 하는 물질의 분포를 분석하는 기능을 구비한 스크라이빙 장치
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제6항에 있어서,상기 분석 대상물의 특성은,상기 분석 대상물의 상(phase) 정보, 물리적 성질 및 화학적 성질에 관한 정보인 것을 특징으로 하는 물질의 분포를 분석하는 기능을 구비한 스크라이빙 장치
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분석 대상물의 스크라이빙될 위치에 레이저를 조사하여 스크라이빙을 수행하는 단계;조사된 상기 레이저에 의해 생성된 플라즈마로부터 발생된 분광을 검출하는 단계; 및상기 분석 대상물을 형성하는 각 물질의 분광 상태 정보와 상기 검출된 분광을 비교하여 상기 분석 대상물을 형성하는 각 물질의 분포 상태를 분석하는 단계를 포함하고,상기 분석 대상물의 스크라이빙될 위치에 레이저를 조사하여 스크라이빙을 수행하는 단계는 상기 스크라이빙과 물질의 분포 상태의 분석이 동시에 수행되지 않는 경우에 상기 스크라이빙될 위치에 레이저를 조사하여 상기 분석 대상물을 형성하는 각 물질의 분포 상태를 분석하는 단계 및 분석된 상기 스크라이빙될 위치에 스크라이빙하기 위해 레이저를 조사하여 상기 분석 대상물을 스크라이빙하는 단계를 포함하는 물질의 분포를 분석하는 기능을 구비한 스크라이빙 방법
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제8항에 있어서,상기 물질의 분포를 분석하는 기능을 구비한 스크라이빙 방법은,상기 분석 대상물을 형성하는 각 물질의 분포에 변화가 있는 경우에 상기 분석 대상물의 스크라이빙될 위치에 깊이방향 분석(depth profiling)을 하는 것을 특징으로 하는 물질의 분포를 분석하는 기능을 구비한 스크라이빙 방법
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제8항에 있어서,상기 스크라이빙될 위치는,상기 분석 대상물의 물질의 분포를 분석하는 위치로 데드존 또는 결함위치인 것을 특징으로 하는 물질의 분포를 분석하는 기능을 구비한 스크라이빙 방법
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제8항에 있어서,상기 조사된 상기 레이저에 의해 생성된 플라즈마로부터 발생된 분광을 검출하는 단계는,상기 분석 대상물의 특성에 기초하여 발생된 상기 분광을 측정하는 시점(delay) 및 측정하는 시간(gate)을 조절하는 것을 특징으로 하는 물질의 분포를 분석하는 기능을 구비한 스크라이빙 방법
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제8항에 있어서,상기 분광 상태 정보는,상기 분석 대상물을 형성하는 각 물질에 대한 고유한 분광 특성 정보인 것을 특징으로 하는 물질의 분포를 분석하는 기능을 구비한 스크라이빙 방법
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