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주기적으로 펄스를 발생시키는 펄스 레이저를 이동 필름에 조사하여 연속적인 홈 가공을 하는 통기성 필름 제조 방법에 있어서,동일 홈에 반복되는 최대 홈 가공 횟수에 대응하는 수 만큼 펄스 레이저를 분기하고, 분기된 상기 펄스 레이저들을 일정 간격으로 이동 필름에 조사하여 홈 가공을 하고, 이동된 홈이 분기된 상기 펄스 레이저들의 조사 경로상에 위치하는 시점과 분기된 펄스 레이저의 펄스가 상기 이동된 홈에 도달하는 시점이 일치하도록 상기 이동 필름의 이동속도를 제어하는 것을 특징으로 하는 통기성 필름 제조 방법
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제 1항에 있어서,상기 펄스 레이저는 펨토초 레이저 또는 자외선 레이저를 사용하는 것을 특징으로 하는 통기성 필름 제조 방법
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제 1항에 있어서,상기 홈의 크기 및 깊이는 상기 펄스 레이저의 에너지의 크기에 따라 변화되는 것을 특징으로 하는 통기성 필름 제조 방법
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주기적으로 펄스를 발생시키는 펄스 레이저를 이동 필름에 조사하여 연속적인 홈 가공을 하는 통기성 필름 제조 방법에 있어서,동일 홈에 반복되는 최대 홈 가공 횟수에 대응되는 수만큼 펄스 레이저를 회절 광학 소자부로 입사시켜 분기하는 단계;렌즈부를 통해 분기된 펄스 레이저를 포집하고 일정 간격으로 상기 이동 필름에 수직 조사하여 홈을 가공하는 단계;및분기된 상기 펄스 레이저의 조사 경로상에 이동된 홈이 위치하는 시점과 분기된 상기 펄스 레이저의 펄스가 상기 이동된 홈에 도달하는 시점이 일치하도록 상기 이동 필름을 이동시키는 단계;를 포함하는 통기성 필름 제조 방법
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제 6항에 있어서,상기 펄스 레이저는 펨토초 레이저 또는 자외선 레이저를 사용하는 것을 특징으로 하는 통기성 필름 제조 방법
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제 6항에 있어서,상기 홈의 크기 및 깊이는 상기 펄스 레이저의 에너지의 크기에 따라 변화되는 것을 특징으로 하는 통기성 필름 제조 방법
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제 6항에 있어서,상기 홈의 깊이는 반복되는 홈 가공의 횟수에 따라 변화되는 것을 특징으로 하는 통기성 필름 제조 방법
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제 6항에 있어서,상기 이동 필름의 처짐 방지를 위해, 이동 필름의 텐션(tension)을 제어하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 통기성 필름 제조 방법
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제 6항에 있어서,상기 이동 필름의 테두리의 위치를 검출하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 통기성 필름 제조 방법
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주기적으로 펄스를 발생시키는 펄스 레이저를 이동 필름에 조사하여 연속적인 홈을 형성하는 통기성 필름 제조 장치에 있어서,동일 홈에 반복되는 최대 홈 가공 횟수에 대응되는 수만큼, 입사된 펄스 레이저를 분기하는 회절 광학 소자부;상기 이동 필름에 홈이 가공되도록, 분기된 상기 펄스 레이저를 포집하여 상기 이동 필름에 일정 간격으로 수직 조사하는 렌즈부;및분기된 상기 펄스 레이저의 조사 경로상에 이동된 홈이 위치하는 시점과 분기된 펄스 레이저의 펄스가 상기 이동된 홈에 도달하는 시점이 일치하도록 상기 이동 필름의 이동속도를 제어하는 것을 특징으로 하는 통기성 필름 레이저 제조 장치
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제 13항에 있어서,상기 펄스 레이저는 펨토초 레이저 또는 자외선 레이저를 사용하는 것을 특징으로 하는 통기성 필름 레이저 제조 장치
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제 13항에 있어서,상기 홈의 크기 및 깊이는 상기 펄스 레이저의 에너지의 크기에 따라 변화되는 것을 특징으로 하는 통기성 필름 레이저 제조 장치
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제 13항에 있어서,상기 이동 필름의 처짐 방지를 위해, 이동 필름의 텐션(tension)을 제어하는 텐션 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 통기성 필름 레이저 제조 장치
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제 13항에 있어서,상기 이동 필름의 테두리의 위치를 검출하여 이동 필름의 위치를 제어하는 위치 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 통기성 필름 레이저 제조 장치
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펄스 레이저의 경로를 전환하는 미러와 상기 미러를 회전시키는 미러 구동부와 상기 미러 구동부를 제어하는 제어부를 포함하는 통기성 필름 레이저 제조 장치를 사용하여, 주기적으로 펄스를 발생시키는 펄스 레이저를 이동 필름에 조사함으로써 연속적인 홈 가공을 하는 통기성 필름 제조 방법에 있어서,상기 제어부는, 홈 가공의 시작지점에서 상기 펄스 레이저의 첫번째 펄스에 의해 최초 홈을 형성시키고, 이동하는 상기 최초 홈이 상기 미러에 의해 경로 전환된 상기 펄스 레이저의 조사 경로상에 위치하도록 상기 미러 구동부를 제어하고, 상기 최초 홈에 목표 펄스 횟수만큼 상기 펄스 레이저의 펄스가 누적되면 상기 미러에 의해 경로 전환된 상기 펄스 레이저의 조사 경로가 상기 홈가공의 시작지점에 위치하도록 상기 미러 구동부를 제어하는 통기성 필름 제조 방법
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