[1020120048374] |
고밀도 플라즈마 에칭에 대한 저항성이 우수한 세라믹 보호 피막 및 그 코팅 방법 |
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[1020110050951] |
내플라즈마 특성을 갖는 희토류 산화물-알루미나계 세라믹 및 그 제조방법 |
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[1020100118937] |
비정질 내플라즈마 유리조성물 및 이를 이용한 내플라즈마 부재 |
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[1020100098252] |
다공질 탄화규소 세라믹스의 제조방법 |
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[1020100091662] |
질화 촉매용 전구체를 이용한 반응소결 질화규소 소결체의 제조방법 및 이에 의하여 제조되는 나노 구조의 질화규소 |
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[1020100071940] |
자성을 보유하는 사이알론 및 그 제조방법 |
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[1020100038352] |
내플라즈마 결정질 세라믹 코팅막 및 그 제조방법 |
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[1020100037305] |
응력완화성이 우수한 플라즈마 저항성 세라믹 탑코트 및 그 제조 방법 |
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[1020100037304] |
플라즈마 저항성 세라믹 피막 및 그 제조 방법 |
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[1020100037282] |
내플라즈마 부재의 제조방법 |
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[1020100036488] |
내플라즈마성 평가방법 |
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[1020100032967] |
실리콘카바이드 및 이의 제조방법 |
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[1020100032965] |
초고순도 실리콘카바이드 파우더의 제조방법 |
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[1020100026360] |
전기영동과 초음파 처리를 병행한 고밀도 탄화규소 섬유강화 탄화규소 복합체(SiCf/SiC)의 제조방법 |
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[1020090086705] |
탄화규소 세라믹의 제조방법 |
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[1020090078302] |
규소의 입도분포 조절을 이용한 반응소결 질화규소 및 그 제조방법 |
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[1020090050123] |
내플라즈마성 전자빔증착 세라믹 피막 부재 |
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[1020090050059] |
탄화규소 분말의 제조방법 |
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[1020090047381] |
졸-젤 공정으로 제조된 탄화규소/카본/실리카 복합분말과, 이 복합분말을 사용한 고순도 및 고강도의 반응소결 탄화규소의 제조방법 |
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[1020090046823] |
저저항 탄화규소 소결체, 이의 조성물 및 이의 제조방법 |
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[1020090035366] |
실리콘 나이트라이드를 사용한 세라믹 섬유강화 세라믹 복합재료의 제조방법 |
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[1020090034685] |
탄화규소/카본 복합분말과 그 복합분말을 이용하여 제조된 고순도 및 고강도의 반응소결 탄화규소 |
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[1020090026812] |
나노 질화규소계 세라믹스의 제조방법 |
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[1020090007732] |
질화알루미늄 소재의 제조방법 |
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[1020080133278] |
다공성 사이알론, 그 제조방법 및 그의 응용 |
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[1020080044946] |
내플라즈마 부재 및 그 제조방법 |
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[1020070125571] |
알루미나 분말 촉매를 이용한 폴리카보실란의 제조 방법 및이를 열분해하여 실리콘카바이드를 제조하는 방법 |
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[1020070101203] |
그라파이트 폼 상에 실리콘카바이드 코팅형성방법. |
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