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봉 형상의 몸체부, 상기 몸체부에 연결된 원판 형태의 결합부를 포함하고 초전도체로 형성된 시험 질량체;상기 몸체부의 일부분을 감싸도록 배치되고 상기 시험 질량체를 자기 부양하고 초전도체로 형성된 솔레노이드 부양 코일;상기 결합부의 상부 및 하부 중에서 적어도 일측에 배치되는 측정용 초전도체 코일; 및상기 시험 질량체와 상기 측정용 초전도체 코일 사이의 거리의 변화에 따른 전류를 감지하는 SQUID 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 초전도 가속도계
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제1 항에 있어서,상기 시험 질량체는 상기 몸체부와 상기 결합부 사이에 배치되는 목부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초전도 가속도계
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제2 항에 있어서,상기 목부의 일부, 상기 몸체부, 및 상기 솔레노이드 부양 코일을 둘러싸서 자기 차폐하는 초전도체 차폐 케이스를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초전도 가속도계
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제3 항에 있어서,상기 솔레노이드 부양 코일의 내측면에 배치된 코일 보빈을 더 포함하고,상기 보빈은 세라믹 재질로 형성되고, 상기 초전도체 차폐 케이스에 고정되고, 상기 솔레노이드 부양 코일은 상기 보빈에 감기는 것을 특징으로 하는 초전도 가속도계
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제1 항에 있어서,상기 측정용 초전도체 코일은 상기 결합부의 상부 및 하부에 배치되고,상기 측정용 초전도체 코일은 스파이럴 형태의 팬케이크 코일인 것을 특징으로 하는 초전도 가속도계
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제3 항에 있어서,상기 초전도체 차폐 케이스는:상기 몸체부 및 상기 솔레노이드 부양 코일을 수납하는 제1 공간;상기 결합부를 수납하는 제2 공간; 및상기 SQUID 센서를 수납하는 제3 공간을 포함하는 것을 특징으로 하는 초전도 가속도계
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제2 항에 있어서,상기 시험 질량체, 상기 솔레노이드 부양 코일, 상기 측정용 초전도체 코일, 및 상기 SQUID 센서를 진공 밀봉하는 밀봉 캔을 더 포함하고,상기 밀봉 캔의 내부는 진공으로 배기된 후 헬륨 기체로 채워지는 것을 특징으로 하는 초전도 가속도계
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제7 항에 있어서,상기 밀봉 캔 내부에 배치되고 상기 목부의 일부, 상기 몸체부, 및 상기 솔레노이드 부양 코일을 둘러싸서 자기 차폐하는 초전도체 차폐 케이스;상기 초전도체 차폐 케이스의 상부면에 결합하는 고정판;상기 밀봉 캔 내부에 배치된 온도조절용 히터;상기 온도조절용 히터와 상기 고정판을 열적으로 연결하는 유연한 재질의 열 전달체;및상기 초전도체 차폐 케이스에 결합하는 온도센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초전도 가속도계
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봉 형상의 몸체부, 상기 몸체부에 연결된 원판 형태의 결합부를 포함하고 초전도체로 형성된 시험 질량체;상기 몸체부의 일부분을 감싸도록 배치되고 상기 시험 질량체를 자기 부양하고 초전도체로 형성된 솔레노이드 부양 코일;상기 결합부의 상부 및 하부 중에서 적어도 일측에 배치되는 측정용 초전도체 코일; 및상기 시험 질량체와 상기 측정용 초전도체 코일 사이의 거리의 변화에 따른 전류를 감지하는 SQUID 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 초전도 변위 측정 장치
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내부에 냉매를 수납하는 듀어;상기 듀어 내부에 배치되고 진공으로 배기된 후 헬륨 기체로 채워지는 밀봉 캔; 및상기 밀봉 캔의 내부에 배치되는 가속도 센서를 포함하고,상기 가속도 센서는:봉 형상의 몸체부, 상기 몸체부와 연결된 목부, 및 상기 목부에 연결된 원판 형태의 결합부를 포함하고 초전도체로 형성된 시험 질량체;상기 몸체부의 일부분을 감싸도록 배치되고 상기 시험 질량체를 자기 부양하고 초전도체로 형성된 솔레노이드 부양 코일; 상기 결합부의 상부 및 하부 중에서 적어도 일측에 배치되는 측정용 초전도체 코일; 및상기 시험 질량체와 상기 측정용 초전도체 코일 사이의 거리에 따른 전류를 감지하는 SQUID 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 가속도 측정 장치
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제10 항에 있어서,상기 밀봉 캔 내부에 배치되고 상기 목부의 일부, 상기 몸체부, 및 상기 솔레노이드 부양 코일을 둘러싸서 자기 차폐하는 초전도체 차폐 케이스;및상기 초전도체 차폐 케이스의 상부면에 결합하는 고정판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가속도 측정 장치
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제10 항에 있어서,원판 형상의 고정판에 정삼각형의 모서리에 연결된 3 개의 수평 유지 끈들; 및상기 수평 유지 끈들 각각이 연장되도록 상기 밀봉 캔과 상기 듀어를 연결하는 수평 유지 파이프들 더 포함하고, 상기 수평 유지 끈들의 길이를 조절하여 상기 고정판의 수평을 조절하는 것을 특징으로 하는 가속도 측정 장치
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제10 항에 있어서,상기 밀봉 캔과 상기 듀어를 연결하는 진공용 파이프를 더 포함하고, 상기 진공용 파이프를 통하여 상기 밀봉 캔 내부를 진공으로 배기하는 것을 특징으로 하는 가속도 측정 장치
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봉 형상의 몸체부, 상기 몸체부와 연결된 목부, 및 상기 목부에 연결된 원판 형태의 결합부를 포함하고 초전도체로 형성된 시험 질량체, 상기 몸체부의 일부를 감싸고 초전도체로 형성된 솔레노이드 부양 코일, 및 측정용 초전도체 코일을 냉각하는 단계;상기 솔레노이드 부양 코일에 제1 영구 전류를 인가하여 상기 시험 질량체를 부양하는 단계;상기 결합부의 상부 및 하부 중에서 적어도 일측에 배치되는 상기 측정용 초전도체 코일에 제2 영구 전류를 인가하는 단계; 및가속도 변화에 따른 상기 제2 영구 전류의 변화를 SQUID 센서로 감지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 가속도 측정 방법
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제 14항에 있어서,상기 솔레노이드 부양 코일, 상기 시험 질량체, 및 상기 측정용 초전도체 코일을 임계온도 이하의 일정한 온도를 유지하도록 조절하는 하는 단계; 내부에 냉매를 수납하는 듀어 내부에 배치되는 밀봉 캔을 진공으로 배기하고 헬륨 기체로 채우는 단계; 및상기 솔레노이드 부양 코일, 상기 시험 질양체, 및 상기 측정용 초전도체 코일의 수평을 조절하는 단계 중에서 적어도 하나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가속도 측정 방법
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제 14항에 있어서,상기 시험 질량체를 부양하는 단계는 상기 솔레노이드 부양 코일의 일부를 임계 온도 이상으로 가열한 후 전류원을 이용하여 전류를 인가하고 상기 전류원을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 가속도 측정 방법
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제 14항에 있어서,상기 측정용 초전도체 코일에 제2 영구 전류를 인가하는 단계는 상기 측정용 초전도체 코일의 일부를 임계 온도 이상으로 가열한 후 전류원을 이용하여 전류를 인가하고 상기 전류원을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 가속도 측정 방법
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