| 1 |
1
금속층 위에 감광층을 형성하는 단계; 및상기 감광층을 노광, 현상, 세척, 및 가열하는 단계를 포함하고,상기 가열결과 상기 감광층이 그래핀으로 되는 것을 특징으로 하는 금속층에 그래핀을 제조하는 방법
|
| 2 |
2
제1 항에 있어서,상기 감광층 위에 패터닝된 마스크를 위치시키고, 자외선을 노광한 후, 현상함으로써, 상기 감광층을 패터닝하고, 상기 패터닝된 감광층을 가열함으로써, 상기 감광층을 패터닝된 그래핀으로 변경시키는 것을 특징으로 하는 그래핀을 제조하는 방법
|
| 3 |
3
제1 항에 있어서,상기 금속층 아래에 비금속 기판이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 그래핀을 제조하는 방법
|
| 4 |
4
제1 항에 있어서,상기 감광층은 양성 감광제 또는 음성 감광제를 이용하여 상기 금속층 위에 도포되는 것을 특징으로 하는 그래핀을 제조하는 방법
|
| 5 |
5
제4 항에 있어서,상기 양성 감광제는 감광화합물, 고분자 화합물, 및 용매로 이루어진 것을 특징으로 하는 그래핀을 제조하는 방법
|
| 6 |
6
제1 항에 있어서,상기 감광층을 가열하는 단계는,수소, 수소/아르곤 혼합개스, 또는 수소/질소 혼합 개스 분위기 하에서 700~1000 ℃ 범위로 가열하는 것을 특징으로 하는 그래핀을 제조하는 방법
|
| 7 |
7
금속층 위에 감광층을 형성하는 단계; 및상기 감광층을 가열하는 단계를 포함하고,상기 가열결과 상기 감광층이 그래핀으로 되는 것을 특징으로 하는 금속층에 그래핀을 제조하는 방법
|
| 8 |
8
제7 항에 있어서,상기 감광층 전체면적이 그래핀으로 되는 것을 특징으로 하는 금속층에 그래핀을 제조하는 방법
|
| 9 |
9
제7 항에 있어서,상기 금속층 아래에 비금속 기판이 형성되어 있고, 상기 비금속 기판은 실리콘 산화막 또는 사파이어 기판인 것을 특징으로 하는 금속층에 그래핀을 제조하는 방법
|
| 10 |
10
제7 항에 있어서,상기 금속층이 기판인 것을 특징으로 하는 금속층에 그래핀을 제조하는 방법
|
| 11 |
11
제7 항에 있어서,상기 금속층은 구리(Cu) 또는 니켈(Ni)과 같은 화학 주기율표상의 전이금속인 것을 특징으로 하는 금속층에 그래핀을 제조하는 방법
|
| 12 |
12
제7 항에 있어서,상기 감광층은 스핀코팅, 잉크젯 프린팅, 또는 스크린 프린팅법 중 어느 하나의 방법으로 형성하는 것을 특징으로 하는 금속층에 그래핀을 제조하는 방법
|
| 13 |
13
제7 항에 있어서,상기 감광층을 가열하는 단계는,수소, 수소/아르곤 혼합개스, 또는 수소/질소 혼합 개스 분위기 하에서 700~1000 ℃ 범위로 가열하는 것을 특징으로 하는 그래핀을 제조하는 방법
|
| 14 |
14
제1 항 내지 제13 항 중에 어느 한 항의 방법으로 제조된 그래핀 박막
|
