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내열 금속 촉매를 이용한 탄소 나노 필라멘트의 선택성장방법

  • 기술번호 : KST2014062468
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 탄소 나노 필라멘트의 선택성장방법에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 기판을 원하는 형태의 표면을 갖도록 처리하고, 그 위에 내열 금속 촉매막을 형성한 후 여기에 탄소 나노 필라멘트를 형성하는 단계를 포함하는 탄소 나노 필라멘트의 선택성장방법에 관한 것이다.본 발명의 선택성장방법에 따르면, 공정이 대폭 단순화되어 경제성이 뛰어나며, 예를 들면 원자 현미경의 팁 말단과 같이 패터닝이 어려운 지점에서도 용이하게 탄소 나노 필라멘트를 선택성장시킬 수 있으며, 탄소 나노 필라멘트의 성장 정도 및 성장 지점을 조절할 수 있고, 또한 내열 금속 촉매로 인하여 탄소 나노 필라멘트와 기판의 접합력이 종래보다 향상되는 효과가 있다. 탄소 나노 필라멘트, 선택성장방법, 증착, 플라즈마, 내열 금속
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) C01B 31/02 (2011.01) B82B 3/00 (2011.01)
CPC C01B 32/162(2013.01) C01B 32/162(2013.01) C01B 32/162(2013.01)
출원번호/일자 1020050013167 (2005.02.17)
출원인 김성훈
등록번호/일자 10-0664562-0000 (2006.12.27)
공개번호/일자 10-2006-0092418 (2006.08.23) 문서열기
공고번호/일자 (20070103) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.02.17)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 김성훈 대한민국 부산광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김성훈 대한민국 부산 해운대구
2 이상국 대한민국 부산 해운대구
3 김태규 대한민국 대구 수성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)
2 이해영 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)(리앤목특허법인)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 신라대학교 산학협력단 부산광역시 사상구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2005.02.17 수리 (Accepted) 1-1-2005-0083923-60
2 전자문서첨부서류제출서
Submission of Attachment to Electronic Document		 2005.02.18 수리 (Accepted) 1-1-2005-5021588-64
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.03.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.04.14 수리 (Accepted) 9-1-2006-0026576-37
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.05.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0303519-14
6 의견서
Written Opinion		 2006.07.20 수리 (Accepted) 1-1-2006-0517440-67
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.07.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0517443-04
8 등록결정서
Decision to grant		 2006.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0573797-99
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.03.17 수리 (Accepted) 4-1-2008-0004558-74
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 탄소 나노 필라멘트를 성장시키고자 하는 부분이 뾰족한 형태가 되도록 처리된 표면을 갖는 기판을 반응기 내에 제공하는 단계;(b) 상기 기판에 내열 금속 촉매막을 0
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 내열 금속 촉매가 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo), 이리듐(Ir), 로듐(Rh), 및 루테늄(Ru)으로 이루어지는 군에서 선택된 하나 이상인 것을 특징으로 하는 탄소 나노 필라멘트의 선택성장방법
3 3
삭제
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 탄소 나노 필라멘트를 형성할 때 증착 장치에 인가되는 음전압의 바이어스가 -50 내지 -850 V인 것을 특징으로 하는 탄소 나노 필라멘트의 선택성장방법
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 탄소 나노 필라멘트를 형성할 때 증착 장치의 전체 압력이 10 내지 300 Torr인 것을 특징으로 하는 탄소 나노 필라멘트의 선택성장방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.