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기판에 라디오 주파 전원 공급 장치를 이용하여 0 V 내지 -70 V 범위(0은 제외한다)의 음의 바이어스 전압을 인가하면서 양극 활물질을 상온에서 증착시켜 상기 기판 상에 결정화된 양극 박막을 형성시키는 것을 특징으로 하는, 전 고상 리튬 박막전지용 양극 박막의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 기판이 실리콘 기판, 유리, 폴리머 또는 융점이 낮은 금속 기판인 전 고상 리튬 박막전지용 양극 박막의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 양극 활물질이 리튬과 전이금속의 복합 산화물인 전 고상 리튬 박막전지용 양극 박막의 제조방법
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제 3 항에 있어서, 상기 전이금속이 코발트, 망간, 니켈, 철 및 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택되는 것인 전 고상 리튬 박막전지용 양극 박막의 제조방법
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제 3 항에 있어서, 상기 전이금속이 코발트, 망간, 니켈, 철 또는 이들의 혼합물에, 비스무트, 갈륨, 마그네슘 및 아연으로 구성된 군에서 선택되는 금속이 상기 코발트, 망간, 니켈, 철 또는 이들의 혼합물에 대하여 5 중량% 이하(0은 제외한다)의 양으로 첨가된 것인 전 고상 리튬 박막전지용 양극 박막의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 양극 활물질이 LiCoO2, LiNiO2, LiMn2O4, V2O5, LiFePO4, TiS2 및 이들의 혼합물로 구성된 군에서 선택되는 것인 전 고상 리튬 박막전지용 양극 박막의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 증착이 가열 증착법, 전자선 증착법, 스퍼터링법, 이온선 증착법 및 레이저 어블레이션법 중에서 선택되는 물리적 증착법, 또는 저압- 및 상압-CVD, 플라즈마 도움-CVD 및 유기금속-CVD 중에서 선택되는 화학적 증착법, 졸-겔법, 스핀코팅법 또는 정전 분무법에 의하여 수행되는, 전 고상 리튬 박막전지용 양극 박막의 제조방법
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제 1 항 내지 제 7 항 중의 어느 한 항에 있어서, 기판 상에 형성된 결정화된 양극 박막 상에 추가로 산화알루미늄, 산화지르코늄 및 산화티타늄으로 구성된 군에서 선택되는 금속 산화물 층을 단일 상으로 혹은 복합 상으로 두께 1 ㎛ 이하로 피복하는 것을 특징으로 하는 전 고상 리튬 박막전지용 양극 박막의 제조방법
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초기 방전 용량이 63 μAh/cm2·㎛, 약 65 - 약 500 사이클에서의 방전 용량이 30 μAh/cm2·㎛이고, 두께가 200 nm - 500 nm 이며, 5 ㎚ - 30 ㎚ 크기의 미세 결정 구조를 갖는, 제 1 항에 따른 방법으로 제조된 전 고상 리튬 박막전지용 양극 박막
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제 9 항에 따른 양극 박막, 고체 전해질 및 음극으로 구성된 전 고상 리튬 박막 이차전지
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제 10 항에 있어서, 양극 박막, 고체 전해질 및 음극을 양극 박막/고체 전해질/음극/고체 전해질/양극 박막/고체 전해질/음극의 순으로 연속적으로 증착시켜 다층 구조로 구성한 전 고상 리튬 박막 이차전지
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제 10 항 또는 제 11 항에 있어서, 상기 고체 전해질 층이 리튬 포스페이트 옥시나이트라이드, 리튬 포스페이트 옥시나이트라이드와 Li3N의 균일상 혼합물 또는 리튬 포스페이트 옥시나이트라이드와 Li3N이 교대로 증착된 것인 전 고상 리튬 박막 이차전지
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제 10 항 또는 제 11 항에 있어서, 상기 고체 전해질 층이 리튬 포스페이트 옥시나이트라이드, 리튬 포스페이트 옥시나이트라이드와 Li3N의 균일상 혼합물 또는 리튬 포스페이트 옥시나이트라이드와 Li3N이 교대로 증착된 것인 전 고상 리튬 박막 이차전지
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