요약 | ZnS 나노벨트 상온 자성반도체 및 그 제조방법이 제공된다.본 발명은, Zn와 S로 이루어진 2족-6족 화합물 반도체로서, 상기 화합물 반도체 내에는 상기 Zn을 치환하는 물질로서 Mn과 Fe가 도핑되어 있으며, 상기 화합물 반도체는 전체적으로 단일상인 것을 특징으로 하는 자성 반도체와;반응로의 내부에, Au colloid 코팅된 기판과 ZnO, FeS 및 MnCl2로 이루어진 혼합분말을 각각 적치하는 공정; 상기 혼합분말을 가열함으로써 그 혼합분말을 증발시키는 공정; 및 상기 반응로내 Ar가스를 공급하면서 상기 기체화된 혼합분말을 이동시킴으로써, 상기 기판상에 Mn과 Fe 도핑된 ZnS 나노벨트를 성장시키는 공정;을 포함하는 자성반도체 제조방법에 관한 것이다.자성반도체, 나노벨트, 화합물반도체, ZnS |
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Int. CL | H01L 43/10 (2011.01) B82Y 25/00 (2011.01) |
CPC | H01L 43/10(2013.01) H01L 43/10(2013.01) H01L 43/10(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020050062311 (2005.07.11) |
출원인 | 한국과학기술연구원 |
등록번호/일자 | 10-0666729-0000 (2007.01.03) |
공개번호/일자 | |
공고번호/일자 | (20070109) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2005.07.11) |
심사청구항수 | 6 |