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다층박막 제조방법

  • 기술번호 : KST2014062623
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 자성금속 박막 사이에 미소 두께의 균일한 비자성금속 박막을 형성할 수 있는 다층박막 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 자성금속 박막을 형성하는 단계; 자성금속 박막위에 알루미늄을 증착하는 단계; 증착된 알루미늄위에 자성금속을 증착하여 알루미나이드 박막을 형성하는 단계; 그리고 알루미나이드 박막위에 자성금속 박막을 증착하는 단계로 이루어진다. 증착되는 알루미늄의 원자 에너지는 원자당 5eV이하이고, 두께는 5Å 내지 15Å이다. 자성금속은 Co, Fe 및 Ni로 이루어진 군 중에서 선택된 1종 이상이다. 알루미나이드 박막의 결정학적 정합성을 향상시키기 위해 진공로에서 200℃ 내지 400℃의 온도범위에서 30분 내지 60분동안 열처리하는 단계를 더 포함한다. 다층박막, 자성금속 박막, 비자성금속 박막, 자기저항, 알루미나이드
Int. CL G11B 5/31 (2006.01)
CPC G11B 5/3163(2013.01)G11B 5/3163(2013.01)G11B 5/3163(2013.01)
출원번호/일자 1020030075402 (2003.10.28)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0716104-0000 (2007.05.02)
공개번호/일자 10-2005-0040248 (2005.05.03) 문서열기
공고번호/일자 (20070509) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.10.28)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이광렬 대한민국 서울특별시 서초구
2 이승철 대한민국 서울특별시 관악구
3 김상필 대한민국 서울특별시 강서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 주성민 대한민국 서울특별시 종로구 사직로*길 **, 세양빌딩 (내자동) *층(김.장법률사무소)
2 장수길 대한민국 서울특별시 종로구 사직로*길 **, 세양빌딩 (내자동) *층(김.장법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2003.10.28 수리 (Accepted) 1-1-2003-0403408-17
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2005.06.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2005.07.15 수리 (Accepted) 9-1-2005-0040800-65
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2005.10.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0555901-06
5 의견서
Written Opinion
2005.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2005-0776778-01
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2005.12.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0776715-35
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2006.05.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0275054-83
8 등록결정서
Decision to grant
2007.04.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0186254-87
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
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번호 청구항
1 1
자성금속 박막을 형성하는 단계;상기 자성금속 박막위에 알루미늄을 증착하는 단계;증착된 상기 알루미늄위에 자성금속을 증착하여 알루미나이드 박막을 형성하는 단계; 그리고상기 알루미나이드 박막위에 자성금속 박막을 증착하는 단계로 이루어지고,상기 자성금속은 Co, Fe 및 Ni로 이루어진 군 중에서 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 다층박막 제조방법
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제 1항에 있어서, 증착되는 상기 알루미늄의 원자 에너지는 원자당 5eV이하인 것을 특징으로 하는 다층박막 제조방법
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제 1항에 있어서, 증착되는 상기 알루미늄의 두께는 5Å 내지 15Å인 것을 특징으로 하는 다층박막 제조방법
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삭제
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6 5
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.