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도파관 연결방식의 리지타노 코일안테나

  • 기술번호 : KST2014063170
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 리지타노 코일안테나는 둘레를 따라 원주방향으로 슬릿(120)이 형성된 고리형상의 도전체블록(110)으로 이루어지고, 상기 도전체블록(110) 내에는 상기 슬릿(120)에 인접하여 복수 개의 영구자석(130)이 장착되며, 상기 슬릿(120)의 인입부(120a)를 통해 마이크로웨이브를 공급받아 플라즈마를 생성하는 안테나몸체부(100); 및 내부에는 인가된 마이크로웨이브를 상기 안테나몸체부(100)에 공급하기 위한 마이크로웨이브 공급공(213,223,233)이 관통되어 형성되며, 상기 마이크로웨이브 공급공(213,223,233)의 단부가 상기 슬릿(120)의 인입부(120a)와 정합되도록 상기 도전체블록(110)에 체결되어, 상기 마이크로웨이브 공급공(213,223,233)을 통해 상기 마이크로웨이브를 상기 슬릿(120)의 인입부(120a)에 공급하는 도파관부(200);를 포함하는 도파관 연결방식의 고전력(high power) 인가형 리지타노 코일안테나를 개시한다.
Int. CL H05H 1/46 (2006.01) H01L 21/3065 (2006.01)
CPC H01J 37/3222(2013.01) H01J 37/3222(2013.01)
출원번호/일자 1020120029881 (2012.03.23)
출원인 한국기초과학지원연구원
등록번호/일자 10-1477060-0000 (2014.12.22)
공개번호/일자 10-2013-0107802 (2013.10.02) 문서열기
공고번호/일자 (20141229) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.03.23)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장수욱 대한민국 대전 유성구
2 유현종 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장한특허법인 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로 ***, **층 (서초동, 서초지웰타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.03.23 수리 (Accepted) 1-1-2012-0235611-38
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2012-5184293-13
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2012-5184331-50
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2013-5058386-17
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2013-5058545-81
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.08.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0534967-37
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2013.10.01 수리 (Accepted) 1-1-2013-0891240-46
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.10.29 수리 (Accepted) 1-1-2013-0980767-50
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.10.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0980768-06
10 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2014.03.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0161144-75
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.04.24 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2014-0390470-13
12 등록결정서
Decision to grant		 2014.09.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0640900-33
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2020-5135881-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
둘레를 따라 원주방향으로 슬릿(120)이 형성된 고리형상의 도전체블록(110)으로 이루어지고, 상기 도전체블록(110) 내에는 상기 슬릿(120)에 인접하여 복수 개의 영구자석(130)이 장착되며, 상기 슬릿(120)의 인입부(120a)를 통해 마이크로웨이브를 공급받아 플라즈마를 생성하는 안테나몸체부(100); 및내부에는 인가된 마이크로웨이브를 상기 안테나몸체부(100)에 공급하기 위한 마이크로웨이브 공급공(213,223,233)이 관통되어 형성되며, 상기 마이크로웨이브 공급공(213,223,233)의 단부가 상기 슬릿(120)의 인입부(120a)와 정합되도록 상기 도전체블록(110)에 체결되어, 상기 마이크로웨이브 공급공(213,223,233)을 통해 상기 마이크로웨이브를 상기 슬릿(120)의 인입부(120a)에 공급하는 도파관부(200);를 포함하되, 상기 도파관부(200)는,발진기로부터 생성된 마이크로웨이브를 인가받아 공급하는 마이크로웨이브공급 도파관(210)과,상기 마이크로웨이브공급 도파관(210)의 출력단(212)에 입력단(221)이 체결되며, 출력단(222)으로 갈수록 점차적으로 좁아지는 형태로 형성된 테이퍼 도파관(220) 및,상기 테이퍼 도파관(220)의 출력단(222)에 입력단(231)이 체결되며, 내부에는 상기 슬릿(120)의 인입부(120a)와 대응되는 형태의 마이크로웨이브 공급공(233)이 형성되어 상기 마이크로웨이브 공급공(233)이 상기 슬릿(120)의 인입부(120a)와 정합되도록 출력단(232)이 상기 도전체블록(110)에 체결되는 슬릿연결 도파관(230)을 포함하며,각 도파관(210,220,230)의 내부에는 각각의 마이크로웨이브 공급공(213,223,233)이 상호 연통되도록 형성되어 인가된 마이크로웨이브를 상기 슬릿(120)의 인입부(120a)에 직접 공급하는 것을 특징으로 하는 도파관 연결방식의 리지타노 코일안테나
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삭제
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제 1항에 있어서,상기 테이퍼 도파관(220)의 출력단(222)과 상기 슬릿연결 도파관(230)의 입력단(231) 사이에는,상기 슬릿연결 도파관(230) 및 안테나몸체부(100)의 내부를 진공상태로 유지시키면서 상기 슬릿연결 도파관(230)의 마이크로웨이브 공급공(233)의 내부로 상기 마이크로웨이브를 입사하는 진공창(240)이 배치되는 것을 특징으로 하는 도파관 연결방식의 리지타노 코일안테나
4 4
제 3항에 있어서,상기 슬릿연결 도파관(230)의 마이크로웨이브 공급공(233)의 길이는 상기 슬릿(120)의 인입부(120a)의 길이보다 긴 형태로 형성되되,상기 마이크로웨이브 공급공(233)의 길이방향으로 상기 슬릿연결 도파관(230)의 출력단(232) 양측에는 일정각도로 경사진 형태의 경사면(234)이 형성되어, 상기 마이크로웨이브 공급공(233)의 중앙부는 상기 슬릿(120)의 인입부(120a)와 정합되도록 연통되며, 상기 중앙부의 양측에는 개구홀(233a)이 각각 형성된 것을 특징으로 하는 도파관 연결방식의 리지타노 코일안테나
5 5
제 4항에 있어서,상기 슬릿연결 도파관(230) 및 테이퍼 도파관(220)의 길이는, (n=자연수,= Guided Wavelength003c#관내 파장003e#)로 형성되는 것을 특징으로 하는 도파관 연결방식의 리지타노 코일안테나
6 6
제 5항에 있어서,도파관부(200)에는,상기 슬릿연결 도파관(230) 및 테이퍼 도파관(220)을 냉각시키기 위한 냉각라인(250)이 형성되는 것을 특징으로하는 도파관 연결방식의 리지타노 코일안테나
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제 5항에 있어서,상기 슬릿(120)의 인입부(120a)는,상기 도전체블록(110)의 내측에서 외측으로 개구되지 않고, 상기 슬릿(120)의 종단부(120b)가 막혀 전기적으로 단락되어 있는 것을 특징으로 하는 도파관 연결방식의 리지타노 코일안테나
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.