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1
기본조성이 (1-X)BiFeO3 + (X)A(Cu1/3Nb2/3)O3 이되, X는 0
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2
제1항에 있어서, 상기 세라믹스는 상온 다강성을 가지는 것을 특징으로 하는 복합 페롭스카이트 계 세라믹스
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3
산화비스무트(Bi2O3), 산화철(Fe2O3), 탄산바륨(BaCO3), 산화구리(CuO) 및 5 산화 니오븀(Nb2O5) 분말을 혼합하고 볼밀링하는 단계(단계 1);상기 단계 1에서 볼밀링 및 혼합이 수행된 분말을 하소(calcination) 하는 단계(단계 2);상기 단계 2에서 하소가 수행된 분말을 볼밀링 하는 단계(단계 3) 및단계 3의 볼밀링이 수행된 분말을 소결하는 단계(단계 4)를 포함하는 복합 페롭스카이트 계 세라믹스의 제조방법
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4
제3항에 있어서, 상기 단계 2의 하소는 800 내지 950 ℃의 온도에서 3 내지 10 시간동안 수행되는 것을 특징으로 하는 복합 페롭스카이트 계 세라믹스의 제조방법
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5
제3항에 있어서, 상기 단계 4의 소결은 800 내지 950 ℃의 온도에서 30분 내지 10시간 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 복합 페롭스카이트 계 세라믹스의 제조방법
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6
기본조성이 (1-X)BiFeO3 + (X)A(Cu1/3Nb2/3)O3 이되, X는 0
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| 7 |
7
제6항에 있어서, 상기 필름은 상온 다강성을 가지는 것을 특징으로 하는 복합 페롭스카이트 계 세라믹스 필름
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8
제6항에 있어서, 상기 필름은 동일한 조성의 세라믹스 보다 높은 밀도를 가지는 것을 특징으로 하는 복합 페롭스카이트계 세라믹스 필름
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9
제6항에 있어서, 상기 필름은 상온 분사 공정에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 복합 페롭스카이트 계 세라믹스 필름
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10
제6항에 있어서, 상기 필름은 기판과의 계면 잔류 응력에 의해 결정격자 변형을 가지는 것을 특징으로 하는 복합 페롭스카이트계 세라믹스 필름
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11
제6항에 있어서, 상기 필름의 두께는 0
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12
기본조성이 (1-X)BiFeO3 + (X)A(Cu1/3Nb1/3)O3 이되, A(Cu1/3Nb1/3)O3는 정방형(tetragonal) 결정 구조를 가지는 것을 특징으로 하며, X는 0
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13
제12항에 있어서, 상기 단계 1의 분사는 상온 분사 공정인 것을 특징으로 하는 복합 페롭스카이트 계 세라믹스 필름의 제조방법
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14
제12항에 있어서, 상기 단계 2의 열처리는 500 내지 700 ℃의 범위에서 수행되는 것을 특징으로 하는 복합 페롭스카이트 계 세라믹스 필름의 제조방법
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