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백금(Pt) , 실리콘(Si), 니켈(Ni), 구리(Cu), 고분자소재 중 하나 이상으로 이루어진 전자기기용 모재와,
상기 전자기기용 모재의 표면 일측에 파이로클로로(pyrochlore)상으로 이루어진 상유전 세라믹소재를 상온 진공 분말 분사법 (Room Temperature Powder Spray in Vacuum)으로 앵커링(anchoring)하여 밀착되며, 결정립을 가지는 유전체막을 포함하여 구성되고,
상기 유전체막은 0
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제 1 항에 있어서, 상기 유전체막은 1
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 상유전 세라믹소재는, Bi1
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제 2 항에 있어서, 상기 모재는,
백금(Pt)이 도포된 실리콘(Si), 니켈(Ni)이 도금된 구리(Cu), 구리(Cu)가 코팅된 고분자소재 중 하나가 적용됨을 특징으로 하는 고유전율 유전체막을 가진 전자기기용 기판
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제 4 항에 있어서, 상기 유전체막의 밀도는 95% 이상인 것을 특징으로 하는 고유전율 유전체막을 가진 전자기기용 기판
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제 1 항에 있어서, 상기 분사되는 상유전 세라믹소재는 0
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제 4 항에 있어서, 상기 고분자소재는,
폴리이미드가 적용됨을 특징으로 하는 고유전율 유전체막을 가진 전자기기용 기판
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8
제 7 항에 있어서, 상기 유전체막은,
5% 이하의 유전손실을 갖는 것을 특징으로 하는 고유전율 유전체막을 가진 전자기기용 기판
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제 1 항에 있어서, 상기 유전체막은,
상기 모재 외면에 앵커링된 후 열처리 과정을 거치지 않은 것을 특징으로 하는 고유전율 유전체막을 가진 전자기기용 기판
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