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유리에 투명 폴리머 필름을 부착시키는 단계(단계 1);
상기 단계 1에서 제조된 유리를 챔버 내부에 구비된 전극 상측에 설치하고 진공분위기 또는 대기 분위기를 조성하는 단계(단계 2); 및
상기 단계 2의 분위기에서 전극에 전원을 공급하여 플라즈마를 발생시켜 유리 표면에 부착된 투명 폴리머 필름을 에칭하여 원뿔 형상의 나노돌기를 형성하는 단계(단계 3)를 포함하는 태양전지에 사용되는 반사방지막 표면에 나노돌기를 형성하는 방법
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제1항에 있어서, 상기 단계 1의 투명 폴리머 필름은 플루오르화 에틸렌 프로필렌(Fluorinated Ethylene Propylene, FEP), 퍼플루오르알콕시(PerFluoroAlkoxy, PFA), 폴리비닐 플루오라이드(PolyVinyl Fluoride, PVF), 폴리비닐리덴 플루오라이드(PolyVinylidene Fluoride, PVDF), 폴리메틸 메타크릴레이트(Polymethyl Methacrylate), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(Polyethylene Terephthalate, PET) 또는 폴리카보네이트(Polycarbonate, PC)인 것을 특징으로 하는 태양전지에 사용되는 반사방지막 표면에 나노돌기를 형성하는 방법
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제1항에 있어서, 상기 단계 2의 챔버는 추가적으로 주챔버의 전단과 후단에 보조 챔버를 구비하여 전극에 시편을 장착한 상태로 대기하는 전방챔버(Fore Chamber)와 나노돌기가 형성된 전극을 대기 중으로 꺼내기 전에 주챔버의 진공도를 유지하기 위한 후방챔버(Post Chamber)를 구비하여 연속적으로 처리할 수 있도록 함으로써, 나노돌기의 생산성을 향상시키는 것을 특징으로 하는 태양전지에 사용되는 반사방지막 표면에 나노돌기를 형성하는 방법
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제1항에 있어서, 상기 단계 3의 에칭은 반응가스가 선택적으로 부가되어 활성화되는 것을 특징으로 하는 태양전지에 사용되는 반사방지막 표면에 나노돌기를 형성하는 방법
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제4항에 있어서, 상기 반응가스는 산소, 질소, 수분, 아르곤, 헬륨, 탄화불소, 탄화염소로 이루어지는 군으로부터 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 혼합가스인 것을 특징으로 하는 태양전지에 사용되는 반사방지막 표면에 나노돌기를 형성하는 방법
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상부는 뽀족하게 형성되고 하부는 넓게 형성되는 제1항의 제조방법으로 제조되는 원뿔(circular cone) 형상의 나노돌기가 도입된 태양전지 반사방지막
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제6항에 있어서, 상기 나노돌기는 직경이 200 - 300 ㎚이고, 길이가 100 - 300 ㎚인 것을 특징으로 하는 나노돌기가 도입된 태양전지 반사 방지막
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