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성형을 위한 패턴이 형성된 금형; 및
상기 패턴에 대응하여, 체적 관련 인자보다 표면적 관련 인자의 영향으로 소성변형을 일으키는 소재에 의해 성형품을 제조하는 장치에 있어서,
마이크로 성형 시에 진동하중을 상기 소재에 부과하여 상기 금형과 상기 소재 사이에 공기정압베어링 효과를 억제시키는 진동하중을 이용하는 성형품의 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 진동하중은
주파수 신호를 발생하는 주파수 발생기;
상기 주파수 발생기의 신호를 전달받아 진동하는 진동 엑츄에이터; 및
상기 진동 엑츄에이터의 진동을 전달받아 상기 소재에 진동하중을 부과하는 펀치를 포함하는 하중제어부에 의해 가해지는 것을 특징으로 하는 진동하중을 이용하는 성형품의 제조장치
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제2항에 있어서, 상기 진동 엑츄에이터는 PZT 엑츄에이터인 것을 특징으로 하는 진동하중을 이용하는 성형품의 제조장치
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제2항에 있어서, 상기 주파수 발생기는 AC(교류) 신호, DC(직류) 신호 또는 AC 신호와 DC 신호를 혼합한 신호 중에 선택된 어느 하나의 신호를 발생하는 것을 특징으로 하는 진동하중을 이용하는 성형품의 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 금형과 상기 소재의 온도를 조절하는 온도제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진동하중을 이용하는 성형품의 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 진동하중은 정하중을 더 부가하여 복합하중 형태로 부가할 수 있는 것을 특징으로 하는 진동하중을 이용하는 성형품의 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 소재는 초소성 금속 합금, 비정질 금속 합금 중에 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 진동하중을 이용하는 성형품의 제조장치
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8
제1항에 있어서, 상기 소재는 고분자 또는 고분자를 포함하는 혼합물인 것을 특징으로 하는 진동하중을 이용하는 성형품의 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 패턴의 폭은 수 ㎛ 내지 수 ㎜ 크기인 것을 특징으로 하는 진동하중을 이용하는 성형품의 제조장치
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10
마이크로 성형 시에 성형을 위한 패턴이 형성된 금형과 상기 금형 상에 놓인 소재 사이에 공기정압베어링 효과를 억제시키는 상기 소재 방향의 진동하중에 의해, 체적 관련 인자보다 표면적 관련 인자의 영향으로 상기 소재가 소성변형을 일으키는 것을 특징으로 하는 진동하중을 이용하는 장치에 의해 제조된 성형품
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제10항에 있어서, 상기 성형품의 성형높이는 정하중에 가해지는 에너지의 50%로 비교하여 상기 정하중의 성형높이보다 큰 것을 특징으로 하는 진동하중을 이용하는 장치에 의해 제조된 성형품
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제10항에 있어서, 상기 패턴에 의해 전사된 성형품은 피라미드, 기둥, 돔 및 그루브 중에 선택된 적어도 어느 하나 이상의 형상을 가진 것을 특징으로 하는 진동하중을 이용하는 장치에 의해 제조된 성형품
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제10항에 있어서, 상기 소재의 평균 결정립의 크기는 체적 관련 인자보다 표면적 관련 인자의 영향으로 상기 소재가 소성변형을 일으키도록 상기 금형의 패턴의 폭보다 작은 것을 특징으로 하는 진동하중을 이용하는 장치에 의해 제조된 성형품
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제10항에 있어서, 상기 소재는 초소성 금속 합금, 비정질 금속 합금 중에 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 진동하중을 이용하는 장치에 의해 제조된 성형품
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제10항에 있어서, 상기 소재는 고분자 또는 상기 고분자를 포함하는 혼합물인 것을 특징으로 하는 진동하중을 이용하는 장치에 의해 제조된 성형품
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제10항에 있어서, 상기 패턴의 폭은 수 ㎛ 내지 수 ㎜ 크기인 것을 특징으로 하는 진동하중을 이용하는 장치에 의해 제조된 성형품
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