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펄스 레이저 증착 방법

  • 기술번호 : KST2014063710
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 펄스 레이저 증착방법은 증착대상물과 복수의 증착타겟재료들을 진공 챔버 내부에 배치하는 단계와; 레이저 발생기를 통해 레이저 빔을 발생시키는 단계와; 빔 분해기를 이용하여 상기 레이저 빔을 상기 복수의 증착타겟재료들의 개수에 대응되는 복수 개로 나누어 출력시키는 단계와; 상기 증착대상물의 표면으로부터 거리에 따른 증착층의 구간별, 상기 복수의 증착타겟재료들 각각의 함유량 비율을 결정하는 함량분포함수를 결정하는 단계와, 상기 함량분포함수를 이용하여 상기 복수의 증착타겟재료들 각각의 증착 두께를 결정하는 증착함수를 결정하는 단계와, 상기 증착함수를 이용하여, 상기 복수의 증착타겟재료들 각각이, 시간당 증착되는 두께를 결정하는 증착률을 결정하는 단계와, 상기 증착률에 대응하는 레이저 빔의 출력의 세기를 결정하는 레이저 출력 값을 결정하는 단계, 및 상기 복수의 증착타겟재료들에 대응 되도록 설치되는 복수개의 가변 감쇄기들을 제어하여, 상기 빔 분해기를 통해 복수개로 나누어 출력되는 상기 레이저 빔들을, 상기 레이저 출력 값을 결정하는 단계에서 결정된 레이저의 출력의 세기로 상기 복수의 증착타겟재료들에 집광 조사하는 단계; 및, 상기 레이저 빔의 집광 조사에 의해 각각의 상기 복수의 증착타겟재료에서 발생되는 원자증기가 상기 증착대상물의 표면에 증착하는 단계를 포함한다.본 발명에 따른 펄스 레이저 증착방법에 의하면, 미리 설계된 증착층의 깊이 및 성분비율대로 증착하는데 필요한 레이저 빔의 출력을 정확하고 용이하게 결정함으로써, 미리 설계된 증착층의 두께와 성분 비율을 정확하게 갖는 경사기능성 필름을 용이하게 제작 할 수 있는 레이저 증착 방법을 제공한다.
Int. CL C23C 14/28 (2006.01)
CPC C23C 14/28(2013.01)C23C 14/28(2013.01)C23C 14/28(2013.01)C23C 14/28(2013.01)
출원번호/일자 1020130025828 (2013.03.11)
출원인 울산과학기술원 산학협력단
등록번호/일자 10-1410238-0000 (2014.06.16)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140620) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.03.11)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 산학협력단 대한민국 울산광역시 울주군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 기형선 대한민국 울산 울주군
2 원유재 대한민국 부산 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인태백 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** 이노플렉스 *차 ***호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 울산과학기술원 울산광역시 울주군
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.03.11 수리 (Accepted) 1-1-2013-0211154-57
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.12.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.01.10 수리 (Accepted) 9-1-2014-0005130-28
4 등록결정서
Decision to grant		 2014.05.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0368705-22
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.12.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5176347-51
6 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2016.03.22 수리 (Accepted) 1-1-2016-0275469-15
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번호 청구항
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증착대상물과 복수의 증착타겟재료들을 진공 챔버 내부에 배치하는 단계와;레이저 발생기를 통해 레이저 빔을 발생시키는 단계와;빔 분해기를 이용하여 상기 레이저 빔을 상기 복수의 증착타겟재료들의 개수에 대응되는 복수 개로 나누어 출력시키는 단계와;상기 증착대상물의 표면으로부터 거리에 따른 증착층의 구간별 상기 복수의 증착타겟재료들 각각의 함유량 비율을 결정하는 함량분포함수를 결정하는 단계와, 상기 함량분포함수를 이용하여 상기 복수의 증착타겟재료들 각각의 증착 두께를 결정하는 증착함수를 결정하는 단계와, 상기 증착함수를 이용하여 상기 복수의 증착타겟재료들 각각이 시간당 증착되는 두께를 결정하는 증착률을 결정하는 단계와, 상기 증착률에 대응하는 레이저 빔의 출력의 세기를 결정하는 레이저 출력 값을 결정하는 단계, 및 상기 복수의 증착타겟재료들에 대응 되도록 설치되는 복수개의 가변 감쇄기들을 제어하여상기 빔 분해기를 통해 복수개로 나누어 출력되는 상기 레이저 빔들을 상기 레이저 출력 값을 결정하는 단계에서 결정된 레이저의 출력의 세기로 상기 복수의 증착타겟재료들에 집광 조사하는 단계;및상기 레이저 빔의 집광 조사에 의해 각각의 상기 복수의 증착타겟재료에서 발생되는 원자증기가 상기 증착대상물의 표면에 증착하는 단계를 포함하는 펄스 레이저 증착방법
2 2
청구항 1에 있어서,상기 증착함수는 [수학식 1]에 의하여 결정되며,[수학식 1]: j 재질로 이루어진 증착타겟재료의 증착함수: j 재질로 이루어진 증착타겟재료의 함량분포함수: 상기 증착대상물 표면으로부터의 거리: 증착되고 있는 증착층의 주어진 지점까지의 두께상기 증착률은 [수학식 2] 또는 이와 유사한 식에 의하여 결정되는 펄스 레이저 증착방법
3 3
청구항 1에 있어서,상기 레이저 출력 값을 결정하는 단계는,상기 복수의 증착타겟재료들 각각의 레이저 출력의 세기에 따른 증착 데이터를 획득하는 단계와,상기 증착 데이터를 이용하여, 상기 증착률 결정단계에서 결정된 증착률과 대응하는 증착률을 갖는 레이저 출력 값을 산출하는 단계를 포함하는 펄스 레이저 증착방법
4 4
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 증착하는 단계는,상기 증착대상물을 회전시키는 단계를 포함하는 펄스 레이저 증착방법
5 5
청구항 1 내지 청구항3 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 증착하는 단계는,상기 복수의 증착타겟재료들이 회전하는 단계를 포함하는 펄스 레이저 증착방법
6 6
청구항 1에 있어서,상기 증착대상물은 스테인리스 스틸이며,상기 복수의 증착타겟재료들은 스테인리스 스틸 및 DLC (diamond-Like Carbon)인 펄스 레이저 증착방법
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 울산과학기술대학교 신진연구 지원사업 피코초 레이저 크로스 빔 펄스 레이저 증착법의 개발 및 경사기능성 코팅/박막의 제작