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선형 이온빔 발생장치를 이용한 융복합 표면처리장치

  • 기술번호 : KST2014063716
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 이온빔 발생장치를 이용한 융복합 표면처리장치가 제공된다. 상기 융복합 표면처리장치는, 연속하여 공급되는 표면처리 대상을 표면 처리하도록 적어도 둘 이상의 공정실을 구비한 공정 용기 및 상기 각 공정실마다 설치되는 이온빔 발생장치를 포함하며, 상기 각 공정실의 이온빔 발생장치는 상기 표면처리 대상을 공정목적에 적합한 이온빔 에너지로 표면 처리한다.
Int. CL H01L 21/3065 (2006.01) C23C 14/46 (2006.01)
CPC C23C 14/221(2013.01) C23C 14/221(2013.01) C23C 14/221(2013.01) C23C 14/221(2013.01)
출원번호/일자 1020120003239 (2012.01.11)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1368573-0000 (2014.02.21)
공개번호/일자 10-2013-0082193 (2013.07.19) 문서열기
공고번호/일자 (20140228) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.01.11)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김도근 대한민국 경상남도 창원시 성산구
2 김종국 대한민국 경상남도 창원시 성산구
3 이승훈 대한민국 서울 성동구
4 강재욱 대한민국 경남 창원시 성산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박종수 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
2 이동건 대한민국 서울특별시 강남구 논현로***길 *, *층 ***호 (논현동)(차암특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.01.11 수리 (Accepted) 1-1-2012-0026379-93
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2012.01.11 수리 (Accepted) 1-1-2012-0028543-21
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.01.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.02.05 수리 (Accepted) 9-1-2013-0006650-92
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.08.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0576075-00
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.09.24 수리 (Accepted) 1-1-2013-0861423-57
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.09.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0861420-10
8 등록결정서
Decision to grant		 2014.02.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0120137-50
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
연속하여 공급되는 표면처리 대상을 표면 처리하도록 제1 공정실 및 제2 공정실을 구비한 공정 용기;상기 제1 공정실에 설치되며 제1 에너지를 갖는 이온 빔을 조사하여 상기 표면처리 대상의 표면으로부터 유기물을 제거하는 제1 이온빔 발생 장치; 및상기 제2 공정실에 설치되며 상기 제1 에너지보다 큰 제2 에너지를 갖는 이온 빔을 조사하여 상기 유기물이 제거된 상기 표면처리 대상의 표면으로부터 표면 산화층을 제거하는 제2 이온빔 발생 장치를 포함하며,상기 제1 및 제2 이온빔 발생장치는 각각, 중앙에 위치한 제1 음극과, 상기 제1 음극을 둘러싸는 폐루프 형태로 형성되는 제2 음극과, 상기 제1 음극과 상기 제2 음극 사이의 간극에 의해 형성되는 이온빔 인출부와, 상기 제1 음극의 하부에 위치하며 자기장을 발생하는 영구자석 및 상기 이온빔 인출부의 하부에 이격하여 위치하고 상기 제1 음극 및 제2 음극과의 사이에 전기장을 형성하는 양극으로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 이온빔 발생장치를 이용한 융복합 표면처리장치
2 2
청구항 1에 있어서,상기 표면처리 대상은 각각 상기 공정 용기의 양측에 설치한 한 쌍의 롤에 의해 연속하여 공급되는 것을 특징으로 하는, 이온빔 발생장치를 이용한 융복합 표면처리장치
3 3
청구항 1에 있어서, 상기 제1 공정실은 1 mTorr보다 높은 압력으로 진공이 형성되며, 상기 제2 공정실은 1 mTorr보다 낮은 압력으로 진공이 형성되고, 상기 제1 에너지는 1 keV이며, 상기 제2 에너지는 3 keV인 것을 특징으로 하는, 이온빔 발생장치를 이용한 융복합 표면처리장치
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청구항 1에 있어서,상기 제1 및 제2 이온빔 발생장치로부터 발생된 상기 이온빔의 전류 밀도 및 에너지는 방전가스 유량 및 방전전압을 제어하여 조절되는 것을 특징으로 하는, 이온빔 발생장치를 이용한 융복합 표면처리장치
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 재료연구소 WPM 사업 Zn-Mg 및 Zn-free형 Al-Mg계 표면처리 강판소재