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과도 충격파 제어 기능을 가진 초음파 세정장치

  • 기술번호 : KST2014063769
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전자기파에 의한 로렌츠 반력(Lorentz force)을 이용하여 고에너지 초음파에 의해 국부적으로 발생되는 과도한 충격파의 발생을 억제/완화함으로써 웨이퍼의 표면이나 패턴의 손상 없이 웨이퍼를 효과적으로 세정함과 아울러 세정시간을 단축시킬 수 있는 과동 충격파 제어 기능을 가진 초음파 세정장치를 개시한다. 개시된 본 발명에 의한 과도 충격파 제어 기능을 가진 초음파 세정장치는, 세정액과 세정대상물이 수용되는 세정조; 상기 세정조의 세정액에 초음파를 인가하는 초음파 발생기; 및 상기 세정액에 로렌츠 힘을 발생시켜 고에너지 초음파에 의해 국부적으로 발생되는 과도한 충격파의 발생을 억제/완화시키기 위하여 전자기파를 인가하는 전자기장 발생기;를 포함한다. 본 발명에 의하면, 강력한 초음파 세정 과정에서도 웨이퍼에 손상을 주지 않기 때문에, 세정 시간의 단축은 물론 반도체 소자의 품질을 높일 수 있고, 외부에서 비접촉방식으로 세정 효율을 제어할 수 있으므로, 초음파 발진자나 장치의 수명 연장을 기대할 수 있다.
Int. CL H01L 21/302 (2006.01)
CPC H01L 21/67057(2013.01) H01L 21/67057(2013.01)
출원번호/일자 1020110028760 (2011.03.30)
출원인 한국기술교육대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1200956-0000 (2012.11.07)
공개번호/일자 10-2012-0110720 (2012.10.10) 문서열기
공고번호/일자 (20121113) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.03.30)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기술교육대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 천안시 동남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김노유 대한민국 서울특별시 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인오리진 대한민국 경기도 성남시 분당구 대왕판교로 ***, B-***(삼평동, 유스페이스*)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기술교육대학교 산학협력단 충남 천안시 동남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.03.30 수리 (Accepted) 1-1-2011-0231523-91
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.02.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0121660-16
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.04.26 수리 (Accepted) 1-1-2012-0334570-09
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.04.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0334649-17
5 등록결정서
Decision to grant		 2012.09.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0571996-28
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.10.02 수리 (Accepted) 4-1-2013-0045975-67
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.03.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5030298-98
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.11.19 수리 (Accepted) 4-1-2018-5234295-28
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번호 청구항
1 1
세정액과 세정대상물이 수용되는 세정조;상기 세정조의 세정액에 초음파를 인가하는 초음파 발생기; 및상기 세정액에 로렌츠 힘을 발생시켜 초음파에 의해 국부적으로 발생되는 과도한 충격파의 발생을 억제/완화시키기 위하여 전자기파를 인가하는 전자기장 발생기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 과도 충격파 제어 기능을 가진 초음파 세정장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 초음파 발생기는,상기 세정조의 하부에 설치되어 초음파 진동을 발생하는 진동자; 및초음파 전력을 발생하는 발진기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 과도 충격파 제어 기능을 가진 초음파 세정장치
3 3
제1항에 있어서, 상기 전자기장 발생기는,상기 세정조의 외측벽에 설치된 코어; 및상기 코어에 권선된 코일;을 포함하는 것을 특징으로 하는 과동 충격파 제어 기능을 가진 초음파 세정장치
4 4
제1항에 있어서, 상기 전자기장 발생기는,상기 세정조의 마주하는 양 벽의 외측에 각각 부착된 한 쌍의 마그네트를 포함하는 것을 특징으로 하는 과도 충격파 제어 기능을 가진 초음파 세정장치
5 5
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 세정대상물은 반도체 웨이퍼인 것을 특징으로 하는 과도 충격파 제어 기능을 가진 초음파 세정장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.