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빛을 투과하는 성질을 가지며 유전체로 이루어진 기판; 상기 기판위에 배치된 다수 개의 나노 스케일의 적층 구조물들; 및상기 기판을 투과한 빛이 적층 구조물들의 사이를 통과할 수 있도록 상기 적층 구조물들의 사이에 형성된 다수 개의 개구부들;을 구비하고, 상기 적층 구조물은, 빛이 투과하는 방향을 따라 상하로 배치되는 상부 금속층 및 하부 금속층과, 상기 상부 금속층과 하부 금속층 사이에 배치되는 유전체층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 나노 격자 기반의 컬러필터
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빛을 투과하는 성질을 가지며 유전체로 이루어진 기판;상기 기판위에 배치된 다수 개의 나노 스케일의 제1 적층 구조물; 상기 제1 적층 구조물위에 형성된 폴리머층; 상기 폴리머층위에 배치된 다수 개의 나노 스케일의 제2 적층 구조물; 상기 기판을 투과한 빛이 제1 적층 구조물들의 사이를 통과할 수 있도록 제1 적층 구조물들의 사이에 형성된 다수 개의 제1 개구부들; 및상기 기판을 투과한 빛이 제2 적층 구조물들의 사이를 통과할 수 있도록 제2 적층 구조물들의 사이에 형성된 다수 개의 제2 개구부들;을 구비하고, 상기 제1 적층 구조물 및 제2 적층 구조물의 각각은, 빛이 투과하는 방향을 따라 상하로 배치되는 상부 금속층 및 하부 금속층과, 상기 상부 금속층과 하부 금속층 사이에 배치되는 유전체층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 나노 격자 기반의 컬러필터
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청구항 1 내지 청구항 2 중 어느 한 항에 있어서, 상기 상부 금속층 및 하부 금속층은 Ag, Al, Au, Pt, Cu, Ti 중 적어도 어느 하나의 금속으로 이루어진 것을 특징으로 하는 나노 격자 기반의 컬러필터
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청구항 1에 있어서, 상기 적층 구조물은 막대형 구조로 이루어지거나, 가로 방향 및 세로 방향으로 교차하는 구조로 이루어져 배치된 것을 특징으로 하는 나노 격자 기반의 컬러필터
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5
청구항1에 있어서, 상기 적층 구조물은 기둥 구조로 형성되어 기판의 상부에 일정 간격마다 이격되어 배치된 것을 특징으로 하는 나노 격자 기반의 컬러필터
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청구항 2에 있어서, 상기 제1 적층 구조물 및 제2 적층 구조물은 막대형 구조로 이루어지고, 상기 제1 적층 구조물 및 제2 적층 구조물이 서로 직각으로 교차하는 방향으로 배치되는 것을 특징으로 하는 나노 격자 기반의 컬러필터
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7
빛을 투과하는 성질을 가지며 유전체로 이루어진 기판; 상기 기판위에 배치된 적층 구조물; 및 상기 기판을 투과한 빛이 적층 구조물을 통과할 수 있도록 상기 적층 구조물에 형성된 다수 개의 관통홀들;을 구비하고, 상기 적층 구조물은, 빛이 투과하는 방향을 따라 상하로 배치되는 상부 금속층 및 하부 금속층과, 상기 상부 금속층과 하부 금속층 사이에 배치되는 유전체층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 나노 격자 기반의 컬러필터
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8
청구항1에 있어서, 상기 적층 구조물들의 하부 금속층들은 서로 연결되어 기판 위에 박막 구조로 형성되고, 상기 유전체층 및 상부 금속층은 상기 하부 금속층 위에 막대형 적층 구조물로 배치되어 구성된 것을 특징으로 하는 나노 격자 기반의 컬러필터
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청구항1, 청구항 2, 청구항 4, 청구항 5, 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서, 상기 컬러필터가 시모스 이미지 센서에 적용된 것을 특징으로 하는 나노 격자 기반의 컬러필터
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10
청구항9에 있어서, 상기 컬러 필터는 시모스 이미지 센서의 금속 배선이 형성된 층에 함께 형성되어 구성된 것을 특징으로 하는 나노 격자 기반의 컬러필터
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