기술개요
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표면에 금(Au) 박막을 구비한 기판을 준비하는 단계; 상기 금(Au) 박막 상에 몰리브덴(Mo)-함유 화합물을 공급하여 금(Au)-몰리브덴(Mo)의 합금층을 형성하는 단계; 상기 금(Au)-몰리브덴(Mo)의 합금층 상에 칼코겐 소스를 공급하는 단계; 및 상기 몰리브덴(Mo) 및 상기 칼코겐 소스를 반응시켜 상기 금(Au) 박막 상에 MaEb (여기서, M = Mo이고, E = S, Se, 또는 Te이고, a 및 b는 각각 독립적으로 1 내지 3 의 정수임.)로 표시되는 몰리브덴(Mo)-칼코게나이드 박막을 형성하는 단계를 포함하는 몰리브덴(Mo)-칼코게나이드 박막의 제조방법, 이에 의해 제조되는 몰리브덴(Mo)-칼코게나이드 박막, 몰리브덴(Mo)-칼코게나이드 박막을 포함하는 전자 소자가 제공된다. 본 발명에 따르면, 공정상 안정적으로 비교적 저렴한 비용을 통하여 대면적으로 원하는 패턴이 형성된 몰리브덴(Mo)-칼코게나이드 박막을 제조할 수 있다.
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