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미세피치 폭을 가지는 엘시디 패널 검사용 프로브블록 및 그 제작 방법

  • 기술번호 : KST2014064142
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 대형 고 해상도 엘시디 패널 검사를 위한 프로브블록 및 그 제작 방법을 개시한다. 개시된 본원 발명의 미세 피치를 가지는 엘시디 패널 검사용 프로브블록은, 일정 간격으로 형성되는 슬릿을 가지는 슬릿바;와, 상기 슬릿바에 삽입되는 다수의 탐침블레이드;를 포함하며, 상기 탐침블레이드는 피치폭 방향으로 순차적으로 형성되는 제 1 탐침블레이드와 절연층과 제 2 탐침블레이드를 포함하는 일체형으로 제작되어, 종래기술의 슬릿바의 슬릿 폭을 감소시키지 않으면서 프로브 블록이 미세 피치의 탐침 블레이드를 가질수 있도록 하여, 미세 피치를 가지는 엘시디 패널을 저비용으로 용이하게 검사할 수 있도록 한다.
Int. CL G01R 1/073 (2006.01.01) G09G 3/00 (2006.01.01) G01R 31/28 (2006.01.01) G01R 3/00 (2006.01.01)
CPC G01R 1/073(2013.01) G01R 1/073(2013.01) G01R 1/073(2013.01) G01R 1/073(2013.01)
출원번호/일자 1020100053231 (2010.06.07)
출원인 한국광기술원
등록번호/일자 10-1142462-0000 (2012.04.26)
공개번호/일자 10-2011-0133705 (2011.12.14) 문서열기
공고번호/일자 (20120508) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.06.07)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 한명수 대한민국 광주광역시 광산구
2 고항주 대한민국 광주광역시 북구
3 김효진 대한민국 광주광역시 광산구
4 김선훈 대한민국 광주광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이은철 대한민국 서울특별시 송파구 법원로**길 **, A동 *층 ***호 (문정동, H비지니스파크)(*T국제특허법률사무소)
2 이우영 대한민국 서울특별시 송파구 법원로**길 **, A동 *층 ***호 (문정동, H비지니스파크)(*T국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.06.07 수리 (Accepted) 1-1-2010-0362619-79
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.04.26 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.05.17 수리 (Accepted) 9-1-2011-0042921-24
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.09.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0537764-11
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.11.18 수리 (Accepted) 1-1-2011-0914086-15
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.11.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0914087-61
7 등록결정서
Decision to grant
2012.04.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0236297-19
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148105-81
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5153634-39
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번호 청구항
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기판의 상부에 기지층 증착과, 제 1 탐침블레이드의 측면 형상의 패턴을 가지는 포토레지스터층 형성과, 상기 패턴에 전도성 도금층을 형성한 후 원하는 두께로 평탄화하는 과정에 의해 상기 제 1 탐침블레이드를 형성하는 제 1 탐침블레이드생성과정;과,상기 평탄화된 상부면에 절연층을 도포하여 생성하는 절연층생성과정;과,상기 절연층의 상부에 기지층 증착과, 제 2 탐침블레이드의 측면 형상의 패턴을 가지는 포토레지스터층 형성과, 상기 패턴에 전도성 도금층을 형성한 후 원하는 두께로 평탄화하여 상기 제 2 탐침블레이드를 형성하는 제 2 탐침블레이드생성과정;과,최상부 층에 상기 제 1 및 제 2 탐침블레이드의 측면 형상을 가지는 포토레지스터층을 형성한 후 식각 및 기지층 제거에 의해 기판으로부터 상기 제 1 탐침블레이드, 절연층 및 제 2 탐침블레이드가 일체로 형성된 탐침블레이드를 분리하는 탐침블레이드분리과정;과,원하는 피치 폭의 다수의 슬릿을 갖도록 제작된 슬릿바에 상기 탐침블레이드를 상기 각각의 슬릿에 삽입 결합하는 탐침블레이드결합과정;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세 피치 폭을 가지는 엘시디 패널 검사용 프로브블록 제작 방법
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제4항의 방법에 따라 제조된 엘시디 패널 검사용 프로브블록으로서, 일정 간격으로 형성되는 슬릿을 가지는 슬릿바;와,상기 슬릿바에 삽입되는 다수의 탐침블레이드;를 포함하며,상기 탐침블레이드는 피치폭 방향으로 순차적으로 형성되는 제 1 탐침블레이드와 절연층 및 제 2 탐침블레이드를 구비하여 20㎛ 미만의 피차 간격을 갖는 것을 특징으로 하는 미세 피치 폭을 가지는 엘시디 패널 검사용 프로브블록
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제 5항에 있어서, 상기 절연층과 상기 제 2 탐침블레이드의 사이에 접착을 위한 기지층이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 미세 피치 폭을 가지는 엘시디 패널 검사용 프로브블록
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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.