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디스플레이용 ITO 전극 생성 방법

  • 기술번호 : KST2014064377
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 잉크젯 프린팅 방법을 이용하여 디스플레이용 유리 기판에 ITO 전극을 형성하는 것에 관한 것이다.본 발명은 기판 상에 ITO 전극을 생성하는 방법에 있어서, ITO가 20-50중량% 혼합된 ITO 용액을 준비하는 단계; 상기 ITO 용액을 잉크젯 프린터에 장입한 후, 기판 상에 분사하는 단계; 상기 기판을 질소분위기하에서 가열하여 수분을 제거하는 단계; 및 상기 기판을 열처리하여 ITO 전극을 형성하는 단계;를 포함하는 디스플레이용 ITO 전극 생성 방법을 제공한다. 본 발명에 의하면 전극 제조 공정에서 포토 리소그라피 공정을 제거함으로써 제조 공정 시간과 제조 공정 비용을 단축시켜 주는 유용한 효과를 얻을 수 있고, 그에 따라서 종래에 비하여 공정 단축을 통한 상당한 가격 경쟁력을 가질 수 있다.또한, 저온의 열처리(sintering) 공정을 사용하므로써 유리 기판뿐만 아니라 플라스틱 기판에도 ITO 전극을 형성시킬 수 있고, 그에 따라서 향후 플라스틱 기판을 사용하는 디스플레이의 개발을 가능하게 하여 주는 유용한 효과를 얻을 수 있는 것이다.잉크젯 프린팅, 디스플레이, ITO 전극, 포토 리소그라피, 플라스틱 기판
Int. CL G02F 1/1343 (2006.01) H01L 51/50 (2006.01)
CPC H01L 21/02288(2013.01) H01L 21/02288(2013.01) H01L 21/02288(2013.01)
출원번호/일자 1020060134692 (2006.12.27)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-0809983-0000 (2008.02.27)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20080306) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.12.27)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이성구 대한민국 경기 성남시 분당구
2 이경균 대한민국 경기 용인시 수지구
3 최현철 대한민국 경기 용인시 수지구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이건철 대한민국 서울특별시 서초구 사평대로 ***, *층 (반포동)(특허법인이룸리온)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.12.27 수리 (Accepted) 1-1-2006-0968487-57
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2007.02.09 수리 (Accepted) 4-1-2007-5022520-66
3 보정요구서
Request for Amendment
2007.11.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0630156-59
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2007.11.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0851875-94
5 [지정기간단축]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Reduction of Designated Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2007.11.27 수리 (Accepted) 1-1-2007-0851912-96
6 등록결정서
Decision to grant
2008.01.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0055659-60
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2008-5164358-96
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5178457-80
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 ITO 전극을 생성하는 방법에 있어서,ITO가 20-50중량% 혼합된 ITO 용액을 준비하는 단계;상기 ITO 용액을 잉크젯 프린터에 장입한 후, 기판 상에 분사하는 단계; 상기 기판을 질소분위기하에서 가열하여 수분을 제거하는 단계; 및상기 기판을 열처리하여 ITO 전극을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이용 ITO 전극 생성 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 ITO 용액을 준비하는 단계는,ITO 입자를 물에 용해시키고, TMAH로 pH를 조절하여 ITO 수용액을 제조하는 단계;상기 ITO 수용액을 볼밀 통속에 넣고 밀링하는 단계;상기 밀링된 ITO 수용액을 원심 분리하는 단계; 및상기 원심 분리된 ITO 수용액의 상층 액을 분리하여 ITO 용액을 얻는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이용 ITO 전극 생성 방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 ITO 용액은 ITO가 35중량%가 들어있고, 나머지는 TMAH와 물인 pH 11의 수용액인 것임을 특징으로 하는 디스플레이용 ITO 전극 생성 방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 수분을 제거하는 단계는 질소분위기하에서 120℃로 수분을 제거하는 것임을 특징으로 하는 디스플레이용 ITO 전극 생성 방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 열처리하는 단계는 승온 조건 3℃/min 로 300℃까지 올리고, 300℃에서 한 시간 동안 질소분위기에서 유지시킨 다음, 동일 온도에서 30분간 수소 8%, 질소 92%의 혼합가스를 2 ~ 2
6 6
제2항에 있어서, 상기 밀링하는 단계는 제조된 ITO 수용액을 볼밀 통속에 넣고 ITO 양과 동일한 양의 지르코니아 볼을 넣은 다음, 500 RPM으로 30시간 밀링하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이용 ITO 전극 생성 방법
7 7
제6항에 있어서, 상기 지르코니아볼은 10mm:5mm:1mm:0
8 8
제2항에 있어서, 상기 원심 분리하는 단계는 ITO 수용액을 4000rpm/10min으로 원심 분리하는 것임을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이용 ITO 전극 생성 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.