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표면형상 측정장치

  • 기술번호 : KST2014064390
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 측정 대상물의 표면 형상을 측정하는 표면형상 측정장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 표면형상 측정장치는 광을 방출하는 광원부와; 상기 광원부로부터의 광을 상기 측정 대상물로 향하게 하는 광 분할부와; 상기 광 분할부로부터의 광을 상기 측정 대상물에 조사하고, 상기 측정 대상물로부터 반사되는 광에 기초하여 간섭광을 형성하는 광 간섭모듈과; 상기 광 간섭모듈로부터 방출되는 상기 간섭광을 촬상하는 촬상부와; 상기 광 간섭모듈과 상기 측정 대상물 간의 이격 거리가 조절되도록 상기 광 간섭모듈 및 상기 측정 대상물 중 어느 하나를 다른 하나에 대해 접근 및 이격시키는 이송유닛과; 상기 광 간섭모듈과 상기 측정 대상물 간의 이격 거리를 감지하는 위치센서와; 상기 촬상부에 의해 촬상된 상기 간섭광에 기초하여 상기 측정 대상물의 표면 형상 데이터를 생성하고, 상기 이송유닛의 구동을 위한 상위명령을 출력하는 메인 컴퓨터와; 상기 메인 컴퓨터로부터의 상기 상위명령에 따라 상기 이송유닛이 구동하도록 상기 위치센서의 감지 결과에 기초하여 상기 이송유닛을 피드백 제어하는 유닛제어모듈을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, PZT 액츄에이터와 같은 이송유닛의 동작에 대한 실시간성을 보장하고, 메인 컴퓨터의 동작 상태와 무관한 안정된 고속의 나노스캔제어가 가능하며, 신호 전달에 따른 노이즈의 유입 가능성을 최소화할 수 있다.
Int. CL B82Y 35/00 (2011.01) H01L 21/66 (2011.01)
CPC G01B 11/2441(2013.01) G01B 11/2441(2013.01) G01B 11/2441(2013.01)
출원번호/일자 1020080057313 (2008.06.18)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-0979223-0000 (2010.08.25)
공개번호/일자 10-2009-0131440 (2009.12.29) 문서열기
공고번호/일자 (20100831) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.06.18)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이혜진 대한민국 인천광역시 연수구
2 최석우 대한민국 경기도 수원시 장안구
3 최영진 대한민국 서울 금천구
4 유영웅 대한민국 서울 동작구
5 박노중 대한민국 서울 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인남촌 대한민국 서울특별시 종로구 새문안로*길 **, 도렴빌딩 ***호 (도렴동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 대한민국(산업통상자원부장관) 세종특별자치시 한누리대
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.06.18 수리 (Accepted) 1-1-2008-0435620-57
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2008-5164358-96
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5178457-80
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.02.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.03.18 수리 (Accepted) 9-1-2010-0017125-87
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.04.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0152723-41
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2010.06.11 수리 (Accepted) 1-1-2010-0376108-22
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.07.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0446768-11
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.07.12 수리 (Accepted) 1-1-2010-0446766-19
11 등록결정서
Decision to grant
2010.08.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0346185-26
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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측정 대상물의 표면 형상을 측정하는 표면형상 측정장치에 있어서, 광을 방출하는 광원과, 상기 광원으로부터의 광을 상기 측정 대상물로 향하게 하는 광 분할부와, 상기 광 분할부로부터의 광을 상기 측정 대상물에 조사하고, 상기 측정 대상물로부터 반사되는 광에 기초하여 간섭광을 형성하는 광 간섭모듈과, 상기 광 간섭모듈로부터 방출되는 상기 간섭광을 촬상하는 촬상부와, 상기 광 간섭모듈과 상기 측정 대상물 간의 이격 거리가 조절되도록 상기 광 간섭모듈 및 상기 측정 대상물 중 어느 하나를 다른 하나에 대해 접근 및 이격시키는 이송유닛과, 상기 광 간섭모듈과 상기 측정 대상물 간의 이격 거리를 감지하는 위치센서와, 상기 촬상부에 의해 촬상된 상기 간섭광에 기초하여 상기 측정 대상물의 표면 형상 데이터를 생성하고, 상기 이송유닛의 구동을 위한 상위명령을 출력하는 메인 컴퓨터와, 상기 메인 컴퓨터로부터의 상기 상위명령에 기초하여 상기 이송유닛이 구동하도록 상기 위치센서의 감지 결과에 기초하여 상기 이송유닛을 피드백 제어하는 나노스캔 제어모듈을 포함하며; 상기 이송유닛은, 상기 광 간섭모듈을 상기 측정 대상물에 접근 및 이격시키는 PZT 액츄에이터와, 상기 PZT 액츄에이터가 상기 광 간섭모듈을 상기 측정 대상물에 접근 및 이격시키도록 상기 PZT 액츄에이터의 구동을 제어하는 PZT 드라이버를 포함하며; 상기 나노스캔 제어모듈은, 상기 메인 컴퓨터와 통신하며, 상기 메인 컴퓨터로부터 출력되는 상기 상위명령을 수신하는 인터페이스부와, 상기 위치센서의 감지결과를 디지털 신호 형태로 변환하는 A/D 컨버터와, 상기 인터페이스부를 통해 수신되는 상기 상위명령과, 상기 A/D 컨버터에 의해 변환된 상기 위치센서의 감지결과에 기초하여 상기 PZT 드라이버의 제어를 위한 디지털 신호 형태의 하위명령을 생성하는 마이크로 프로세서와, 상기 마이크로 프로세서에 의해 생성된 상기 하위명령을 아날로그 신호 형태로 변환하여 상기 PZT 드라이버로 전달하는 D/A 컨버터를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면형상 측정장치
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서, 상기 인터페이스부는 범용직렬버스(Universal Serial Bus : USB) 방식을 통해 상기 메인 컴퓨터와 통신하는 것을 특징으로 하는 표면형상 측정장치
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제1항 또는 제4항에 있어서, 상기 메인 컴퓨터는 백색광 주사 간섭법(White-light Scanning Interferometry : WSI)에 따라 상기 표면 형상 데이터가 생성되도록 상기 광원, 상기 촬상부 및 상기 나노스캔 제어모듈을 제어하는 것을 특징으로 하는 표면형상 측정장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.