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전자빔을 방출하는 전자빔 팁 및 복수개의 집속렌즈군이 상하로 배열되어 이루어지는 전자빔 방출장치에서, 전자빔 팁 또는 각 집속렌즈군으로부터 상기 집속렌즈군보다 얇은 너비로 외측으로 수평 연장되며 끝단에 정렬도트가 형성되며 상측에 위치된 전자빔 팁 또는 집속렌즈군으로부터 외측으로 연장된 부분보다 하측에 위치된 전자빔 팁 또는 집속렌즈군으로부터 외측으로 연장된 부분이 더 길게 형성된 연장부;상기 전자빔 팁 또는 집속렌즈군의 연직 상부에 위치되어 상기 전자빔 팁과 집속렌즈군의 연장부 또는 집속렌즈군과 집속렌즈군의 연장부를 촬영하는 비젼 카메라;상기 비젼 카메라에서 촬영한 영상을 바탕으로 상기 전자빔 팁과 집속렌즈군 또는 집속렌즈군과 집속렌즈군의 서로 대응되는 연장부의 정렬 도트의 벡터량을 측정하여 상호 정렬위치로부터 이격된 수평 변위량을 계산하는 제어부;를 포함하여 이루어지는 전자빔 방출장치의 전자빔 팁과 렌즈 및 렌즈와 렌즈간의 정렬구조체
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제1항에 있어서, 상기 연장부는,상기 전자빔 팁 또는 각 집속렌즈군의 평면상 동일한 지점으로부터 외측으로 연장되는 것을 특징으로 하는 전자빔 방출장치의 전자빔 팁과 렌즈 및 렌즈와 렌즈간의 정렬구조체
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제1항에 있어서,상기 연장부는, 상기 전자빔 팁 또는 각 집속렌즈군의 상호 대칭적인 위치에 형성되는 것을 특징으로 하는 전자빔 방출장치의 전자빔 팁과 렌즈 및 렌즈와 렌즈간의 정렬구조체
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제4항에 있어서,상기 연장부는,상기 전자빔 팁 또는 각 집속렌즈군으로부터 십자 형상으로 연장되어 형성되는 것을 특징으로 하는 전자빔 방출장치의 전자빔 팁과 렌즈 및 렌즈와 렌즈간의 정렬구조체
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제1항에 있어서,상기 비젼 카메라는,상기 연장부에 형성된 정렬 도트까지의 초점거리를 통해 정렬 도트까지의 거리를 측정하는 것을 특징으로 하는 전자빔 방출장치의 전자빔 팁과 렌즈 및 렌즈와 렌즈간의 정렬구조체
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제6항에 있어서,상기 제어부는,상기 비젼 카메라에서 측정한 각 연장부 까지의 거리를 통하여 상기 전자빔 팁과 집속렌즈군 또는 집속렌즈군과 집속렌즈군 사이의 거리를 측정하여 상기 각 전자빔 팁과 집속렌즈군 또는 집속렌즈군과 집속렌즈군 사이의 평행 정렬로 부터 어긋난 양과 방향을 계산하는 것을 특징으로 하는 전자빔 방출장치의 전자빔 팁과 렌즈 및 렌즈와 렌즈간의 정렬구조체
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상부측에 위치된 연장부의 정렬도트와, 상기 상부측에 위치된 연장부와 대응되는 하부측에 위치된 연장부의 정렬도트의 변위 벡터를 측정하는 제1수평변위 측정단계;상기 제1수평변위 측정단계에서 측정한 연장부와 대칭위치에 형성된 상부측 연장부의 정렬도트와 하부측에 위치된 정렬도트의 변위 벡터를 측정하는 제2수평변위 측정단계;상기 제1수평변위 측정단계와 제2수평변위 측정단계에서 측정한 변위벡터로서 상호 정렬위치로부터 이격된 수평 변위량을 계산하는 수평변위 계산단계;를 포함하여 이루어지는 전자빔 방출장치의 전자빔 팁과 렌즈 및 렌즈와 렌즈간의 정렬방법
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제8항에 있어서,상기 수평변위 계산단계는,상기 제1수평변위 측정단계에서 측정한 변위벡터와 제2수평변위 측정단계에서 측정한 변위벡터를 합성한 후, 반으로 나누어 중심부분의 수평 변위량을 계산하는 것을 특징으로 하는 전자빔 방출장치의 전자빔 팁과 렌즈 및 렌즈와 렌즈간의 정렬방법
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제8항에 있어서,상기 수평변위 계산단계는,상기 제1수평변위 측정단계에서 측정한 변위벡터와 제2수평변위 측정단계에서 측정한 변위벡터를 합성한 결과가 0인 경우, 수평각도 변위량을 산출하는 것을 특징을 하는 전자빔 방출장치의 전자빔 팁과 렌즈 및 렌즈와 렌즈간의 정렬방법
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제8항에 있어서,비젼 카메라로부터상부측 일측 연장부의 정렬도트까지의 거리와 하부측 일측 연장부의 정렬도트까지의 거리의 차이를 구하는 제1평행변위 측정단계;상기 제1평행변위 측정단계에서 측정한 연장부와 대칭위치에 형성된 상부측 연장부의 정렬도트까지의 거리와 하부측 연장부의 정렬도트까지의 거리의 차이를 구하는 제2평행변위 측정단계;상기 제1평행변위 측정단계와 제2평행변위 측정단계에서 측정한 거리의 차이로서 평행변위량을 계산하는 제1평행변위 계산단계;를 포함하여 이루어지는 전자빔 방출장치의 전자빔 팁과 렌즈 및 렌즈와 렌즈간의 정렬방법
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제11항에 있어서,비젼 카메라로부터,상기 제1평행변위 측정단계에서 측정한 연장부와 90도 각도를 이루는 위치에 형성된 상부측 연장부의 정렬도트까지의 거리와 하부측 연장부의 정렬도트까지의 거리의 차이를 구하는 제3평행변위 측정단계;상기 제3평행변위 측정단계에서 측정한 연장부와 대칭위치에 형성된 상부측 연장부의 정렬도트까지의 거리와 하부측 연장부의 정렬도트까지의 거리의 차이를 구하는 제4평행변위 측정단계;상기 제3평행변위 측정단계와 제4평행변위 측정단계에서 측정한 거리의 차이로서 평행변위량을 계산하는 제2평행변위 계산단계;를 포함하여 이루어지는 전자빔 방출장치의 전자빔 팁과 렌즈 및 렌즈와 렌즈간의 정렬방법
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