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모재인 스테인레스 스틸의 표면에 질소를 주입 및 석출시키고, 동시에 TiO2 피막을 입힌 것을 특징으로 하는 이온 수 발생 장치용 전극
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제1항에 있어서, 상기 질소주입 처리에 의한 질소 농도는 2000 내지 4000 ppm 임을 특징으로 하는 이온 수 발생 장치용 전극
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제2항에 있어서, 상기 TiO2 피막은 2 내지 50 nm의 공극을 갖는 메소 포러스 구조이고, 0 내지 40˚의 수(水) 접촉 각도를 갖는 친수성임을 특징으로 하는 이온 수 발생 장치용 전극
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제1항 또는 제3항에 있어서, 상기 TiO2 피막은 미량의 바나듐을 포함한 것을 특징으로 하는 이온 수 발생 장치용 전극
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진공 챔버에 스테인레스 스틸 모재를 장입하고, 상기 스테인레스 스틸 모재와 간격을 두고 티타늄 가스 클러스터 노즐 전극을 배치하고,상기 티타늄 가스 클러스터 노즐 전극의 주변에 질소와 아르곤 가스를 불어넣고, 상기 스테인레스 스틸 모재 주위로 산소를 불어넣고,상기 티타늄 가스 클러스터 노즐 전극에 전압을 인가하고,진공 챔버 내부를 가열 및 유지하여 상기 스테인레스 스틸 모재의 표면에 질소 투입과 동시에 TiO2 피막을 형성하는 것을 특징으로 하는 이온 수 발생 장치용 전극의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 티타늄 가스 클러스터 노즐 전극을 상기 스테인레스 스틸 모재의 좌우에 각각 배치하고,상기 티타늄 가스 클러스터 노즐 전극과 상기 스테인레스 스틸 모재와의 간격은 발생된 플라즈마 입자들의 평균 자유행로로 하는 것을 특징으로 하는 이온 수 발생 장치용 전극의 제조방법
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제6항에 있어서, 상기 티타늄 가스 클러스터 노즐 전극과 상기 스테인레스 스틸 모재와의 간격은 10 내지 300 mm 로 조절하는 것을 특징으로 하는 이온 수 발생 장치용 전극의 제조방법
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제5 내지 7항 중 어느 한 항에 있어서, 질소는 50 내지 300 sccm, 산소는 5 내지 30 sccm 및, 아르곤은 10 내지 150 sccm으로 공급되는 것을 특징으로 하는 이온 수 발생 장치용 전극의 제조방법
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제8항에 있어서, 진공 챔버에 스테인레스 스틸 모재를 장입하고 나서, 상기 진공 챔버를 10-6 내지 10-7 torr로 진공화하고 400 내지 450℃로 2 내지 3 시간 가열하여 상기 스테인레스 스틸 모재에 함유된 이물질을 배출시키고 모재 표면을 활성화하는 단계; 및상기 스테인레스 스틸 모재에 30 내지 45 %의 듀티 온의 20 내지 50 KHz의 -200 내지 -600 V의 펄스 전압을 인가하고, 상기 진공 챔버에 수소 가스를 투입하고, 온도를 250 내지 400℃로 제어하여 상기 스테인레스 스틸 모재를 수소 분위기로 세정하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이온 수 발생 장치용 전극의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 티타늄 가스 클러스터 노즐 전극에 인가하는 전압은 -200 내지 -600 V의 수준이고, 상기 진공 챔버 내의 온도는 250 내지 400 ℃로 유지하며, 피막으로 형성되는 TiO2는 나노사이즈의 아나타제(Anatase) 형태의 메소포러스(meso porous) 한 구조임을 특징으로 하는 이온 수 발생 장치용 전극의 제조방법
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가스 투입구를 구비한 진공 챔버 내에 스테인레스 스틸 모재를 장착할 수 있는 프레임으로 이루어진 전도성 지그;상기 지그의 좌우 각각에 지그와 간격을 두고 지그와 나란하게 배치되는 티타늄 가스 클러스터 노즐 전극;상기 티타늄 가스 클러스터 노즐 전극을 슬라이딩 식으로 이동시킬 수 있는 전도성 이송 선로; 및상기 전도성 지그, 전도성 이송 선로, 또는 진공 챔버에 전압을 인가하는 전원 장치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이온 수 발생 장치용 전극의 제조 장치
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제11항에 있어서, 상기 티타늄 가스 클러스터 노즐 전극은 3 내지 5 mm 직경의 노즐을 다수 구비하는 것을 특징으로 하는 이온 수 발생 장치용 전극의 제조 장치
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제11 또는 12항에 있어서, 상기 전도성 이송 선로는 상기 티타늄 가스 클러스터 노즐 전극과 수직으로 배열되고 상기 티타늄 가스 클러스터 노즐 전극의 배면 에지가 슬라이딩 식으로 접속되는 슬롯을 구비하는 것을 특징으로 하는 이온 수 발생 장치용 전극의 제조 장치
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제 13항에 있어서, 상기 이온 수 발생 장치용 전극의 제조 장치는 피드스루를 더 포함하고,상기 피드스루는 티타늄 가스 클러스터 노즐 전극과 동일한 재질로 된 호일로 감싸지거나 티타늄 가스 클러스터 노즐 전극과 동일한 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 이온 수 발생 장치용 전극의 제조 장치
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