| 1 |
1
입사하는 초단파 레이저 펄스를 제1 프리즘, 제2 프리즘, 제3 프리즘 및 제4 프리즘의 순서로 통과시켜 출력하는 왜곡보상 광학계,상기 왜곡보상 광학계에서 출력된 상기 초단파 레이저 펄스를 제1 및 제2 초단파 레이저 펄스로 분기시키는 듀플리케이션부, 그리고상기 제2 초단파 레이저 펄스를 수신하여 왜곡 발생 정도를 분석하고, 상기 제2 초단파 레이저 펄스의 왜곡이 보상되도록 위치 보상 동작을 수행하며, 상기 왜곡 보상 동작에 의해 상기 제1 프리즘과 상기 제2 프리즘간에 초단파 레이저 펄스가 이동한 거리인 제1 거리와 상기 제3 프리즘과 상기 제4 프리즘간에 초단파 레이저 펄스가 이동한 거리인 제2 거리 중 적어도 하나를 조절하는 위치 보정부를 포함하며,상기 위치 보정부는 상기 제1 거리와 상기 제2 거리를 차이가 나도록 하는 위치 보정 동작을 수행하는 것을 특징으로 하는 초단파 레이저 펄스의 왜곡 보상을 위한 광학 시스템
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 위치 보정부는, 상기 제2 초단파 레이저 펄스를 수신하는 펄스 수신부,상기 펄스 수신부에 의해 수신된 초단파 레이저 펄스에 대한 파형을 분석하여 템포럴 처프와 PFT의 발생 정도를 파악하는 파형 분석기,상기 파형 분석기에 의해 파악된 템포럴 처프의 발생 정도와 PFT의 발생 정도에 대응하는 제어신호를 발생하고 출력하는 제어기와,상기 제어기의 제어신호에 따라 구동하여 상기 제1 거리와 상기 제2 거리 중 적어도 하나를 조절하는 구동부를 포함하는 초단파 레이저 펄스의 왜곡 보상을 위한 광학 시스템
|
| 3 |
3
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 제1 거리와 상기 제2 거리는 최소 20mm에서 최대 250mm이고, 상기 제2 프리즘과 상기 제3 프리즘 간에 초단파 레이저 펄스가 이동한 거리인 제3 거리는 최소 10mm에서 최대 250mm인 것을 특징으로 하는 초단파 레이저 펄스의 왜곡 보상을 위한 광학 시스템
|
| 4 |
4
제3항에 있어서,상기 초단파 레이저 펄스는 펨토초 레이저 펄스인 것을 특징으로 하는 초단파 레이저 펄스의 왜곡 보상을 위한 광학 시스템
|
| 5 |
5
제4항에 있어서,상기 왜곡보상 광학계는 상기 제1 프리즘과 상기 제2 프리즘 사이에 위치하여 상기 구동부의 구동에 따라 동작하여 상기 제1 거리를 조절하는 제1 거리조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초단파 레이저 펄스의 왜곡 보상을 위한 광학 시스템
|
| 6 |
6
제4항에 있어서,상기 왜곡보상 광학계는 상기 제3 프리즘과 상기 제4 프리즘 사이에 위치하여 상기 구동부의 구동에 따라 동작하여 상기 제2 거리를 조절하는 제2 거리조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초단파 레이저 펄스의 왜곡 보상을 위한 광학 시스템
|
| 7 |
7
제5항에 있어서,상기 제1 거리조절부는 상기 제1 프리즘과 상기 제2 프리즘간에 이동되는 초단파 레이저 펄스 경로 상에 설치된 제1 및 제4 반사미러와, 제1 이동스테이지 및 상기 제1 이동스테이지에 설치된 제2 및 제3 반사미러를 포함하며, 상기 제1 프리즘을 통과한 상기 초단파 레이저 펄스가 상기 제1 반사미러, 상기 제2 반사미러, 상기 제3 반사미러, 그리고 상기 제4 반사미러의 순서로 펄스 경로를 형성하도록 하는 초단파 레이저 펄스의 왜곡 보상을 위한 광학 시스템
|
| 8 |
8
제7항에 있어서,상기 제2 거리조절부는 상기 제3 프리즘과 상기 제4 프리즘간에 이동되는 초단파 레이저 펄스 경로 상에 설치된 제5 및 제8 반사미러와, 제2 이동스테이지 및 상기 제2 이동스테이지에 설치된 제6 및 제7 반사미러를 포함하며, 상기 제3 프리즘을 통과한 상기 초단파 레이저 펄스가 상기 제5 반사미러, 상기 제6 반사미러, 상기 제7 반사미러, 그리고 상기 제8 반사미러의 순서로 펄스 경로를 형성하도록 하는 초단파 레이저 펄스의 왜곡 보상을 위한 광학 시스템
|
