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금속기지에 카본소재를 강화시킨 복합재료를 반도체 및 디스플레이 부품제조용 서셉터 소재에 적용 가능하도록 개선시킨 것으로, 600℃ 이하 공정에서 사용 가능한 서셉터용 복합재료
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제 1 항에 있어서,상기 기지금속의 종류는 알루미늄, 알루미늄 합금, 동, 동합금 등을 포함하되, 열전도율, 비중, 융점 등을 고려할 때 바람직하게는 알루미늄 및 알루미늄 합금 분말이며, 강화상은 카본소재로서 carbon fiber, graphite, carbon 등을 포함하되 그 형상이 분말 및 화이버 형태가 모두 가능한 것으로 바람직하게는 분말상 및 short fiber인 것을 특징으로 하는 서셉터용 복합재료
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,복합재료 강화상인 카본소재의 적정함량이 20~70부피%이며 바람직하게는 30~60부피%인 것을 특징으로 하는 서셉터용 복합재료
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고상확산접합법의 일종인 분말소결법에 의한 일반적인 분말믹싱법(건식 및 습식)을 사용하며, 액상온도 이하에서 소결함으로써 복합재료의 특성저하를 유발할 수 있는 금속간화합물인 Al4C3상이 생성되지 않도록 하는 서셉터용 복합재료의 제조 방법
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제 4 항에 있어서,저열팽창 특성을 이용하여 상면에 Al2O3 및 AlN 등의 세라믹을 접합시켜 히팅기능 및 정전기능을 동시에 구현할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 서셉터용 복합재료의 제조 방법
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제 4 항에 있어서,대면적 디스플레이 부품제조용 서셉터의 경우 서셉터 전체를 복합재료로 사용할 수 있지만, 통상의 알루미늄 서셉터에 복합재료를 부분적으로 삽입하여 부분강화형 서셉터의 제조가 가능한 것을 특징으로 하는 서셉터용 복합재료의 제조 방법
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