| 1 |
1
피접합대상인 Al과 Al2O3를 진공 챔버 내에서 플라즈마를 이용하여 동시에 표면처리하는 단계; 상기 표면처리가 이루어지는 과정 중 또는 직후에 상기 Al과 Al2O3를 접합하는 단계;를 포함하며, 상기 각 단계는 모두 상온에서 수행되는 것을 특징으로 하는 금속-세라믹 층상 복합소재의 제조방법
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
제 1 항에 있어서,상기 진공 챔버에서 진공을 유지하기 위한 초기 진공도는 적어도 10-7 Torr인 것을 특징으로 하는 금속-세라믹 층상 복합소재의 제조방법
|
| 4 |
4
제 1 항에 있어서,상기 진공 챔버에서 플라즈마를 생성하기 위한 분위기는 아르곤(Ar) 분위기인 것을 특징으로 하는 금속-세라믹 층상 복합소재의 제조방법
|
| 5 |
5
제 4 항에 있어서,상기 플라즈마 생성시의 진공 챔버의 진공도는 적어도 10-4 Torr인 것을 특징으로 하는 금속-세라믹 층상 복합소재의 제조방법
|
| 6 |
6
제 1 항에 있어서,상기 금속-세라믹 층상 복합소재는 Al/Al2O3/Cu인 것을 특징으로 하는 금속-세라믹 층상 복합소재의 제조방법
|
| 7 |
7
제 1 항에 있어서,상기 접합하는 단계에서의 접합방법은 표면 활성화 접합(HV-SCDB, High Vacuum Surface controlled direct bonding)이며, Al과 Al2O3의 전체면을 가압수단을 이용하여 동시에 가압하는 것을 특징으로 하는 금속-세라믹 층상 복합소재의 제조방법
|
| 8 |
8
제 7 항에 있어서, 상기 가압수단은 상부가압수단과 하부가압수단이 힌지결합되며, 상기 상부가압수단의 하면과 상기 하부가압수단의 상면에는 각각 Al과 Al2O3 또는 Al2O3와 Al이 안착되고,상기 상부가압수단은 힌지회동하여 하부가압수단에 결착되어 가압되되,상기 상부가압수단의 상부에는 가압장치와 연결되는 적어도 두개의 가압편이 마련되어 상기 가압편을 통한 Al과 Al2O3에 대한 면가압을 통해 균일한 압력이 인가되는 것을 특징으로 하는 금속-세라믹 층상 복합소재의 제조방법
|
| 9 |
9
제 1 항에 있어서,상기 표면처리가 이루어지는 과정 중에서 상기 Al과 Al2O3를 접합하는 단계;는 상온에서 수행되는 것을 특징으로 하는 금속-세라믹 층상 복합소재의 제조방법
|
| 10 |
10
제 1 항에 있어서,표면처리의 시간은 Al의 경우는 10 ~ 120초, Al2O3의 경우는 10 ~ 200초인 것을 특징으로 하는 금속-세라믹 층상 복합소재의 제조방법
|
| 11 |
11
제 1 항에 있어서,플라즈마 발생시 인가전력은 30 ~ 100W인 것을 특징으로 하는 금속-세라믹 층상 복합소재의 제조방법
|
| 12 |
12
제 11 항에 있어서,상기 전력은 60W이며, 이 때 40초간 표면 처리하였을 때, 가장 높은 접합강도를 나타내는 것을 특징으로 하는 금속-세라믹 층상 복합소재의 제조방법
|
| 13 |
13
제 1 항에 있어서,상기 접합시 가압시간은 적어도 5분인 것을 특징으로 하는 금속-세라믹 층상 복합소재의 제조방법
|
| 14 |
14
피접합대상인 Al과 Al2O3를 진공 챔버 내에서 플라즈마를 이용하여 동시에 표면처리하는 단계; 상기 표면처리가 이루어진 직후, 연속하여 상기 Al과 Al2O3를 접합하는 단계;를 포함하되, 상기 각 단계는 모두 상온에서 수행되며, 상기 접합단계는 표면처리 후 0분 초과 1분 이하의 범위내에 시작되는 것을 특징으로 하는 금속-세라믹 층상 복합소재의 제조방법
|
| 15 |
15
제 1 항, 제3항 내지 제 14 항 중 어느 한 항의 방법에 의하여 제조되는 것을 특징으로 하는 금속-세라믹 층상 복합소재
|
