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다층 샤워헤드 및 그 밀봉방법

  • 기술번호 : KST2014064728
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 윗판과 아랫판 사이에 설치되는 분리격판(130)에 의해 내부 빈공간이 상부공간과 하부공간으로 구분되는 샤워헤드 몸체에 상기 윗판, 분리격판(130), 및 아랫판 중 적어도 상기 분리격판(130)을 관통하도록 기체안내관(133)이 설치되는 경우에 상기 기체안내관(133)이 관통하는 상기 윗판, 분리격판(130), 또는 아랫판 위에 필러시트(160)를 올려놓고 브레이징 처리함으로써 상기 기체안내관(133)과 상기 기체안내관(133)이 관통하는 윗판, 분리격판(130), 또는 아랫판 사이의 틈을 밀봉시키는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01) H01L 21/3065 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020137019237 (2013.07.19)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2013-0115330 (2013.10.21) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자 PCT/KR2012/004125 (2012.05.24)
국제공개번호/일자 WO2012161536 (2012.11.29)
우선권정보 대한민국  |   1020110050670   |   2011.05.27
대한민국  |   1020110049102   |   2011.05.24
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 국제출원
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020157018817;
심사청구여부/일자 Y (2013.07.19)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 변철수 대한민국 서울 강남구
2 김종석 대한민국 경기 안산시 단원구
3 정훈 대한민국 서울 광진구
4 김선창 대한민국 서울 노원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이종우 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, **,**층(역삼동, 동희빌딩)(특허법인아주)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허법 제203조에 따른 서면
[Patent Application] Document according to the Article 203 of Patent Act
2013.07.19 수리 (Accepted) 1-1-2013-0654483-86
2 수리안내서
Notice of Acceptance
2013.08.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2013-0100588-71
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.09.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0602232-62
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.11.03 수리 (Accepted) 1-1-2014-1056558-10
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.12.01 수리 (Accepted) 1-1-2014-1164732-14
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.12.31 수리 (Accepted) 1-1-2014-1286252-27
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.01.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0092421-19
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.01.28 수리 (Accepted) 1-1-2015-0092409-60
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2015.05.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0312359-16
11 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.06.10 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2015-0558130-24
12 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2015.06.11 수리 (Accepted) 7-1-2015-0026167-19
13 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document
2015.06.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0103766-96
14 [분할출원(국제출원)]특허출원서
[Divisional Application(International Application)] Patent Application
2015.07.13 수리 (Accepted) 1-1-2015-0677332-53
15 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2015.07.13 취하 (Withdrawal) 1-1-2015-0677331-18
16 서류반려통지서
Notice for Return of Document
2015.08.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0130041-36
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
윗판과 아랫판 사이에 설치되는 분리격판에 의해 내부 빈공간이 상부공간과 하부공간으로 구분되는 몸체;상기 상부공간에 설치되는 공정기체주입관;상기 몸체의 아랫판에 형성되는 기체배출구;상기 몸체의 윗판, 분리격판, 및 아랫판 중 적어도 상기 분리격판을 관통하도록 설치되는 기체안내관; 및상기 기체안내관이 설치되어 있는 부위에 대응하도록 관통구멍이 형성되며, 상기 기체안내관이 통과하는 윗판, 분리격판, 및 아랫판 중 어느 하나의 판위에 얹혀진 상태에서 브레이징(brazing) 처리됨으로써 상기 기체안내관과 상기 기체안내관이 관통하는 윗판, 분리격판, 또는 아랫판 사이의 틈새를 밀봉 접합하도록 설치되는 필러시트(filler sheet);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 다층 샤워헤드
2 2
제1항에 있어서, 상기 기체안내관이 상기 상부공간에서 확산된 기체가 상기 하부공간으로 유입되도록 상기 분리격판에만 설치되는 것을 특징으로 하는 다층 샤워헤드
3 3
제1항에 있어서, 상기 기체안내관이 상기 상부공간에서 확산된 기체가 상기 하부공간에 노출되지 않으면서 상기 하부공간을 통과하여 상기 몸체의 아랫판 밑으로 분사되도록 상기 분리격판과 상기 아랫판을 관통하게 설치되는 것을 특징으로 하는 다층 샤워헤드
4 4
제1항에 있어서, 상기 기체안내관이 상기 윗판, 분리격판, 및 아랫판을 관통하도록 설치됨으로써 공정기체가 상기 기체안내관을 통하여 상기 몸체의 내부공간에 노출되지 않으면서 상기 몸체를 통과하여 상기 몸체의 아랫판 밑으로 분사되도록 하는 것을 특징으로 하는 다층 샤워헤드
5 5
제1항에 있어서, 상기 필러시트가 니켈 기반 합금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다층 샤워헤드
6 6
제5항에 있어서, 상기 니켈 기반 합금이 붕소를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 다층 샤워헤드
7 7
제1항에 있어서, 상기 필러시트의 관통구멍이 고출력 레이저의 조사에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 다층 샤워헤드
8 8
제1항에 있어서, 상기 필러시트의 관통구멍이 습식에칭에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 다층 샤워헤드
9 9
제1항에 있어서, 상기 필러시트가 40∼70um의 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 다층 샤워헤드
10 10
제1항에 있어서, 상기 브레이징 처리가 950∼1200℃의 온도범위에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 다층 샤워헤드
11 11
윗판과 아랫판 사이에 설치되는 분리격판에 의해 내부 빈공간이 상부공간과 하부공간으로 구분되는 몸체;상기 상부공간에 설치되는 공정기체주입관;상기 몸체의 아랫판에 형성되는 기체배출구; 및상기 몸체의 윗판, 분리격판, 및 아랫판 중 적어도 상기 분리격판을 관통하도록 설치되는 기체안내관;을 포함하여 이루어지는 다층 샤워헤드 밀봉방법에 있어서,상기 기체안내관이 설치되어 있는 부위에 대응하도록 관통구멍이 형성되어 있는 필러시트를 상기 기체안내관이 통과할 윗판, 분리격판, 및 아랫판 중 어느 하나의 판위에 올려놓은 후에 상기 기체안내관을 설치하는 단계; 및상기 필러시트가 젖음성과 모세관 현상을 통하여 상기 기체안내관과 상기 기체안내관이 통과하는 상기 윗판, 분리격판, 또는 아랫판 사이의 틈새로 스며들어가도록 상기 필러시트를 브레이징 처리하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 다층 샤워헤드 밀봉방법
12 12
제11항에 있어서, 상기 필러시트가 붕소를 함유하는 니켈 기반 합금으로 이루어지고, 상기 브레이징 처리가 950∼1200℃의 온도범위에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 다층 샤워헤드 밀봉방법
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR101947519 KR 대한민국 FAMILY
2 WO2012161536 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
3 WO2012161536 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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1 KR101947519 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
2 KR20150091520 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
3 WO2012161536 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
4 WO2012161536 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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