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고순도 탄탈륨 판재 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2014064879
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 용해 주조된 탄탈륨 잉고트 또는 빌렛트에 대해 최종 냉간 압연 후 재결정 소둔을 실시하기 전에, 내부의 국부적인 잔류응력을 제거하기 위해 재결정 온도 이하에서 일정 시간 동안 회복 소둔을 실시하는 것을 특징으로 하는 고순도 탄탈륨 판재 및 그 제조방법에 관한 것이다.이러한 본 발명에 의하면, 재결정 소둔 온도 이하에서 일정 시간 동안 회복 소둔 과정을 거침으로써, 근상의 모양 발생을 방지하고, 또한 재결정 개시시간이 균일해짐에 따라 결정립의 표준편차가 줄어들게 되어, 탄탈륨 판재의 결정입도가 균일하게 되는 효과가 있다. 예를 들어, 탄탈륨 판재를 스퍼터 타겟으로 이용할 경우, 탄탈륨 판재의 결정립 미세화 및 결정입도의 균일성으로 인해, 아킹이나 파티클의 발생을 억제할 수 있고, 그로 인해 스퍼터 성막의 품질을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
Int. CL C22B 34/24 (2006.01) C22F 1/18 (2006.01)
CPC C22F 1/18(2013.01) C22F 1/18(2013.01)
출원번호/일자 1020090062635 (2009.07.09)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1133029-0000 (2012.03.28)
공개번호/일자 10-2011-0005105 (2011.01.17) 문서열기
공고번호/일자 (20120404) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.07.09)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권혁천 대한민국 서울특별시 양천구
2 임성철 대한민국 서울특별시 양천구
3 김경훈 대한민국 인천광역시 서구
4 강문수 대한민국 인천광역시 연수구
5 우상모 대한민국 서울특별시 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인명인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층(역삼동, 두원빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 대한민국(산업통상자원부장관) 세종특별자치시 한누리대
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.07.09 수리 (Accepted) 1-1-2009-0418903-64
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.09.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.10.13 수리 (Accepted) 9-1-2010-0062235-45
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.06.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0303069-21
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.07.28 수리 (Accepted) 1-1-2011-0585050-54
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.07.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0585051-00
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2012.01.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0020382-37
9 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2012.02.10 접수중 (On receiving) 7-1-2012-0006539-28
10 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2012.03.09 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2012-0191978-57
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.03.09 수리 (Accepted) 1-1-2012-0191979-03
12 등록결정서
Decision to Grant Registration
2012.03.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0161200-65
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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4N ~ 5N급의 고순도 탄탈륨 원료를 전자 빔으로 용해 및 주조하여 탄탈륨 잉고트 또는 빌렛트를 제조하는 제1 단계;상기 제1 단계에서 제조된 탄탈륨 잉고트 또는 빌렛트에 대해 냉간 단조 후 1173K ~ 1573K의 온도에서 재결정 소둔 공정을 적어도 2회 반복하는 제2 단계;상기 제2 단계에서 재결정 소둔 공정을 반복한 탄탈륨 잉고트 또는 빌렛트에 대해 최종 냉간 압연을 거치는 제3 단계;상기 제3 단계에서 최종 냉간 압연을 거친 탄탈륨 잉고트 또는 빌렛트에 대해 873K ~ 1073K의 재결정 온도 이하에서 20분 ~ 40분 동안 회복 소둔을 실시하여 내부의 국부적인 잔류응력을 제거하는 제4 단계; 및상기 제4 단계에서 회복 소둔을 실시한 탄탈륨 잉고트 또는 빌렛트에 대해 1173K ~ 1573K의 온도에서 재결정 소둔을 실시하는 제5 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 고순도 탄탈륨 판재의 제조방법
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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.