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스퍼터링 타겟용 구리 소결체 제조방법

  • 기술번호 : KST2014064920
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 스퍼터링 타겟용 구리 소결체의 제조방법에 관한 것으로서, 구리 분말을 그라파이트 소재로 된 몰드 내에 충진하는 단계와, 구리 분말이 충진된 몰드를 방전 플라즈마 소결 장치의 챔버 내에 장착하는 단계와, 챔버 내부를 진공화하는 단계와, 몰드 내의 구리에 10Mpa의 압력을 유지하면서 목표온도에 도달시까지 30℃/min 내지 80℃/min의 승온 속도로 승온시키는 단계와, 구리의 온도가 600 내지 900℃ 범위 내에서 설정된 목표온도에 도달하면 몰드 내의 구리에 50 내지 60MPa의 가압력을 유지하면서 목표온도를 2 내지 10분 동안 더 유지하여 성형하는 단계와, 몰드 내의 구리에 50 내지 60Mpa의 가압력을 유지하면서 챔버 내부를 냉각하는 단계를 포함한다. 이러한 스퍼터링 타겟용 구리 소결체 제조방법에 의하면, 타겟용에 적합하게 입자의 미세화가 가능하고 균질한 조직과 고밀도를 갖는 구리 스퍼터링 타겟재를 제공할 수 있다.
Int. CL B22F 3/105 (2006.01) B22F 3/12 (2006.01)
CPC B22F 3/105(2013.01) B22F 3/105(2013.01) B22F 3/105(2013.01) B22F 3/105(2013.01)
출원번호/일자 1020100020950 (2010.03.09)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1116908-0000 (2012.02.08)
공개번호/일자 10-2011-0101732 (2011.09.16) 문서열기
공고번호/일자 (20120306) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.03.09)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오익현 대한민국 광주광역시 북구
2 강창석 대한민국 광주광역시 광산구
3 박현국 대한민국 전라북도 전주시 덕진구
4 이승민 대한민국 전라북도 군산시 하나운안*길 **, *

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이재량 대한민국 광주광역시 광산구 하남산단*번로 ***, *층(도천동, 광주경제고용진흥원)(가온특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 대한민국(산업통상자원부장관) 세종특별자치시 한누리대
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.03.09 수리 (Accepted) 1-1-2010-0149890-39
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.07.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.08.16 수리 (Accepted) 9-1-2011-0068559-07
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.11.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0654040-41
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.01.09 수리 (Accepted) 1-1-2012-0022438-06
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.01.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0022439-41
8 등록결정서
Decision to grant		 2012.01.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0061011-19
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
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