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도금층의 스트레스 측정 방법

  • 기술번호 : KST2014064938
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 도금 및 표면처리 분야에서 모재와 코팅층의 밀착력 평가시 기준으로 삼을 수 있는 도금층의 스트레스를 측정하는 방법에 관한 것으로서, 실리콘 스트립 기판에 도금층을 형성시킨 후, 곡률반경 측정장치를 이용하여 상기 도금층의 스트레스를 측정하는 도금층의 스트레스 측정방법을 제공한다.본 발명에 의하면, 모재와 코팅층의 밀착력 평가시 기준으로 삼을 수 있는 도금층의 스트레스를 보다 간단하고, 정밀하며, 재현성있게 측정할 수 있다.
Int. CL G01B 11/255 (2006.01) G01L 1/00 (2006.01)
CPC G01B 11/255(2013.01) G01B 11/255(2013.01) G01B 11/255(2013.01) G01B 11/255(2013.01)
출원번호/일자 1020100041515 (2010.05.03)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1202027-0000 (2012.11.09)
공개번호/일자 10-2011-0121973 (2011.11.09) 문서열기
공고번호/일자 (20121116) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.05.03)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 송영식 대한민국 인천광역시 계양구
2 임태홍 대한민국 경기도 성남시 분당구
3 이효수 대한민국 인천광역시 연수구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인씨엔에스 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, 대림아크로텔 *층(도곡동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 대한민국(산업통상자원부장관) 세종특별자치시 한누리대
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.05.03 수리 (Accepted) 1-1-2010-0286286-07
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.06.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.07.14 수리 (Accepted) 9-1-2011-0059959-45
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.08.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0472696-57
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.10.21 수리 (Accepted) 1-1-2011-0826611-00
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.03.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0193880-75
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.05.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0421526-18
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.05.25 수리 (Accepted) 1-1-2012-0421527-64
12 등록결정서
Decision to grant
2012.10.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0654663-10
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
실리콘 스트립 기판 상면에 버퍼층을 형성하고, 상기 버퍼층이 형성된 스트립 기판 상면에 전기도금을 이용하여 도금층을 형성한 뒤, 레이저를 이용한 곡률반경 측정 장치를 활용하여 상기 도금층의 스트레스를 측정하는 도금층의 스트레스 측정방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 버퍼층은 스퍼터링에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 도금층의 스트레스 측정방법
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서, 상기 실리콘 스트립 기판은 가로 대 세로 비가 1:5 내지 1:10인 것을 특징으로 하는 도금층의 스트레스 측정방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 실리콘 스트립 기판의 두께는 100~300㎛인 것을 특징으로 하는 도금층의 스트레스 측정방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.