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포토루미네선스 이미징을 이용한 LED 에피웨이퍼 검사장치 및 그 방법

  • 기술번호 : KST2014065029
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 LED 에피웨이퍼 검사 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 수십초 이내의 단시간에 에피웨이퍼의 PL 특성을 검사할 수 있는 포토루미네선스 이미징을 이용한 LED 에피웨이퍼 검사 장치 및 그 방법을 제공한다. 이를 위한 본 발명은 검사대상 LED 에피웨이퍼의 발광파장보다 짧은 파장을 갖는 제1광 및 제2광을 조사하는 조명부, 상기 조사된 광에 의해 상기 LED 에피웨이퍼로부터 방출되는 광에 대한 영상을 획득하는 촬영부, 상기 촬영부의 전단에 설치되어 상기 방출광 중 미리 설정된 파장 대역의 광을 통과시키는 필터부 및 상기 획득된 영상으로부터 상기 LED 에피웨이퍼에 대응하는 세부영역에서의 상기 제1광 및 제2광에 대한 각각의 PL세기를 산출하고, 상기 제1광에 대한 상기 PL의 세기를 상기 제2광에 대한 상기 PL의 세기로 나눈 값인 PL세기의 비에 대한 영상을 생성하는 영상처리부를 포함하며, 상기 제1광은 상기 제2광보다 10배이상 세기가 큰 것임을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/66 (2006.01)
CPC G01N 21/9501(2013.01) G01N 21/9501(2013.01) G01N 21/9501(2013.01) G01N 21/9501(2013.01)
출원번호/일자 1020100129498 (2010.12.16)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1174755-0000 (2012.08.10)
공개번호/일자 10-2012-0067866 (2012.06.26) 문서열기
공고번호/일자 (20120817) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.12.16)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김종석 대한민국 경기 안산시 단원구
2 김형태 대한민국 서울특별시 서대문구
3 김승택 대한민국 경기 성남시 분당구
4 정훈 대한민국 서울특별시 광진구
5 박효영 대한민국 서울특별시 강서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인리온 대한민국 서울특별시 서초구 사평대로 ***, *층(반포동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 대한민국(산업통상자원부장관) 세종특별자치시 한누리대
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.12.16 수리 (Accepted) 1-1-2010-0832143-95
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.09.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.10.18 수리 (Accepted) 9-1-2011-0082640-26
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.10.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0633321-39
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2011-1042015-54
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2012-0080137-17
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.01.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0080142-35
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
10 등록결정서
Decision to grant
2012.07.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0446099-90
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
검사대상 LED 에피웨이퍼의 발광파장보다 짧은 파장을 갖는 제1광 및 제2광을 조사하는 조명부;상기 조사된 광에 의해 상기 LED 에피웨이퍼로부터 방출되는 광에 대한 영상을 획득하는 촬영부;상기 촬영부의 전단에 설치되어 상기 방출광 중 미리 설정된 파장 대역의 광을 통과시키는 필터부;및 상기 획득된 영상으로부터 상기 LED 에피웨이퍼에 대응하는 세부영역에서의 상기 제1광 및 제2광에 대한 각각의 포토루미네선스 세기를 산출하고, 상기 제1광에 대한 포토루미네선스 세기를 상기 제2광에 대한 포토루미네선스 세기로 나눈 값인 포토루미네선스 세기의 비에 대한 영상을 생성하는 영상처리부를 포함하며,상기 제1광은 상기 제2광보다 10배이상 세기가 큰 것임을 특징으로 하는 포토루미네선스 이미징을 이용한 LED 에피웨이퍼 검사장치
2 2
제1항에 있어서,상기 조명부의 출력광의 세기 및 파장을 조절하는 제어부;상기 영상처리부에서 처리된 영상을 디스플레이하는 디스플레이부를 더 포함하는 포토루미네선스 이미징을 이용한 LED 에피웨이퍼 검사장치
3 3
제1항에 있어서,상기 조명부에서 조사된 광을 상기 LED 에피웨이퍼에 균일하게 조사하는 확산부를 더 포함하는 포토루미네선스 이미징을 이용한 LED 에피웨이퍼 검사장치
4 4
제1항에 있어서,상기 촬영부의 전단에 설치되어 상기 LED 에피웨이퍼의 촬영 영역을 확대하는 렌즈부를 더 포함하는 포토루미네선스 이미징을 이용한 LED 에피웨이퍼 검사장치
5 5
제4항에 있어서,상기 렌즈부는 상기 LED 에피웨이퍼의 크기에 따라 배율이 결정되는 것을 특징으로 하는 포토루미네선스 이미징을 이용한 LED 에피웨이퍼 검사장치
6 6
검사대상 LED 에피웨이퍼의 발광파장보다 짧은 파장을 갖는 제1광 및 제2광을 상기 LED 에피웨이퍼에 균일하게 조사하는 조사단계;상기 LED 에피웨이퍼로부터 방출되는 광에 대한 영상을 미리 설정된 파장 대역의 대역통과필터를 통하여 획득하는 촬영 단계;및 상기 획득된 영상으로부터 상기 LED 에피웨이퍼에 대응하는 세부영역에서의 상기 제1광 및 제2광에 대한 각각의 포토루미네선스 세기를 산출하고, 상기 제1광에 대한 포토루미네선스 세기를 상기 제2광에 대한 상기 포토루미네선스 세기로 나눈 값인 포토루미네선스 세기의 비에 대한 영상을 생성하는 영상처리단계를 포함하며,상기 제1광은 상기 제2광보다 10배이상 세기가 큰 것임을 특징으로 하는 포토루미네선스 이미징을 이용한 LED 에피웨이퍼 검사방법
7 7
제6항에 있어서,상기 영상처리단계에서 처리된 영상을 디스플레이하는 단계를 더 포함하는 포토루미네선스 이미징을 이용한 LED 에피웨이퍼 검사방법
8 8
제6항에 있어서,상기 촬영단계는 상기 LED 에피웨이퍼의 크기에 따라 촬영 배율을 결정하는 것을 특징으로 하는 포토루미네선스 이미징을 이용한 LED 에피웨이퍼 검사방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 기획재정부 한국생산기술 연구원 청정생산시스템개발사업 다성분계 기능성박막 제조공정 원천기술개발