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반도체 공정용 금속 전구체

  • 기술번호 : KST2014065376
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 신규의 주석 아미노 알콕사이드 화합물 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 하기 화학식 1로 표시되는 주석 아미노 알콕사이드 화합물로 주석 및 주석 산화물 박막을 위한 선구 물질 및 나노 크기의 주석 및 주석 산화물 입자 제조를 위한 선구 물질 제조를 위한 선구 물질로서 유용한 주석 아미노 알콕사이드 화합물 및 그 제조 방법에 관한 것이다. [화학식 1] Sn[O-A-NR1R2]2 상기 화학식 1에서 A는 할로겐으로 치환되거나 치환되지 않은 선형 또는 분지형의 (C2-C10)알킬렌기이고;R1 및 R2는 서로 독립적으로 할로겐으로 치환되거나 치환되지 않은 선형 또는 분지형의 (C1-C7)알킬기이다. 주석 아미노알콕사이드, 선구 물질, 박막, MOCVD
Int. CL C07F 7/22 (2011.01) B82B 3/00 (2011.01)
CPC
출원번호/일자 1020080025858 (2008.03.20)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-0954541-0000 (2010.04.16)
공개번호/일자 10-2009-0100583 (2009.09.24) 문서열기
공고번호/일자 (20100423) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.03.20)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김창균 대한민국 대전광역시 유성구
2 정택모 대한민국 대전광역시 유성구
3 이영국 대한민국 대전광역시 유성구
4 안기석 대한민국 대전광역시 유성구
5 이선숙 대한민국 대전광역시 중구
6 류병환 대한민국 대전광역시 서구
7 장세진 대한민국 대구광역시 동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.03.20 수리 (Accepted) 1-1-2008-0202487-72
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.16 수리 (Accepted) 4-1-2008-5059312-66
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2008-5074743-27
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2008.09.29 수리 (Accepted) 1-1-2008-0680743-44
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.11.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.12.05 수리 (Accepted) 9-1-2008-0080063-52
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2008-5208083-56
8 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2009.02.23 수리 (Accepted) 1-1-2009-0110749-94
9 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2009.03.02 수리 (Accepted) 1-1-2009-0125984-57
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.07.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0309470-19
11 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2009.09.22 수리 (Accepted) 1-1-2009-0582748-30
12 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2009.10.26 수리 (Accepted) 1-1-2009-0654001-76
13 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2009.11.27 수리 (Accepted) 1-1-2009-0730534-50
14 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.12.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0785539-55
15 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.12.18 수리 (Accepted) 1-1-2009-0785449-44
16 등록결정서
Decision to grant
2010.04.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0155958-88
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
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번호 청구항
1 1
삭제
2 2
하기 화학식 2로 표시되며 상온에서 액상인 것을 특징으로 하는 주석 아미노 알콕사이드 화합물
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
하기 화학식 3의 주석 화합물과 하기 화학식 4의 아미노 알콕사이드 알칼리 금속염 화합물을 반응시키는 것을 특징으로 하는 상온에서 액상인 화학식 2의 주석 아미노 알콕사이드 화합물의 제조방법
6 6
제2항에 따른 주석 아미노 알콕사이드 화합물을 선구 물질로 사용하여 주석 화합물을 제조하는 방법
7 7
제6항의 방법으로 제조된 주석 화합물
8 8
제7항에 있어서, 상기 주석 화합물은 주석 산화물의 박막 또는 주석 산화물의 나노 입자인 주석 화합물
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN101538277 CN 중국 FAMILY
2 EP02105444 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
3 EP02105444 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
4 JP05314468 JP 일본 FAMILY
5 JP21227674 JP 일본 FAMILY
6 US08030507 US 미국 FAMILY
7 US20090275770 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN101538277 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 CN101538277 CN 중국 DOCDBFAMILY
3 EP2105444 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
4 EP2105444 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
5 JP2009227674 JP 일본 DOCDBFAMILY
6 JP5314468 JP 일본 DOCDBFAMILY
7 US2009275770 US 미국 DOCDBFAMILY
8 US8030507 US 미국 DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업자원부 한국화학연구원 부품소재기술개발사업 초고농도 하이브리드 나노분산 잉크 개발