요약 | 여기에서는, 반도체 공정, 특히, 반도체 검사 공정에서, 일열의 부품, 특히, 반도체 부품을 픽업하는 픽업유닛(또는, 피커)의 피치 간격 조절에 적합한 구조의 간격조절장치가 개시된다. 개시된 간격조절장치는, 다른 기어비로 맞물려 회전하는 주동기어와 종동기어의 세트들을 포함하는 복수의 기어유닛들과; 회전방향으로 상기 주동기어를 구속하고, 축방향으로 상기 주동기어의 슬라이딩을 허용하는 제 1 샤프트와; 자체의 나사선에 의해 결정된 방향으로, 상기 종동기어의 축방향 이동을 허용하는 제 2 샤프트를 포함하며, 상기 복수의 기어유닛들은, 상기 다른 기어비에 의해 다른 거리로 축방향 이동하는 주동기어와 종동기어에 의해, 간격이 조절된다. 반도체, 픽업유닛, 간격, 피치, 기어비, 주동기어, 종동기어, 기어유닛, 샤프트, 슬라이딩, 나사 |
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Int. CL | H01L 21/50 (2006.01) H01L 21/67 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01) |
CPC | H01L 21/6838(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020080048716 (2008.05.26) |
출원인 | 한국기계연구원 |
등록번호/일자 | 10-0945496-0000 (2010.02.25) |
공개번호/일자 | 10-2009-0122759 (2009.12.01) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20100309) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2008.05.26) |
심사청구항수 | 8 |