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서로 소정의 거리에 만큼 떨어져서 위치하고, 이동자(50)의 하부에서 이동자(50)를 지지하고 이동시키는 제1 클램프 기기(10) 및 제2 클램프 기기(40)와,상기 제1 및 제2 클램프(10, 40) 사이에 위치하는 구동 기기(20)와,상기 제1 클램프 기기(10)와 상기 구동 기기(20)를 연결하는 제1 기준부(31)와,상기 제2 클램프 기기(40)와 상기 구동 기기(20)를 연결하는 제2 기준부(32)와,상기 제1 및 제2 기준부(31, 32)와 상기 구동 기기(20)의 한 끝이 연결되며 바닥에 고정되는 바닥부(30)를 포함하고,여기서, 상기 이동자를 지지하는 상기 제1 클램프 기기 또는 제2 클램프 기기 중에 어느 하나의 클램크 기기가 상기 이동자와 떨어지고 상기 다른 하나의 클램프 기기가 상기 이동자를 지지하는 동안에, 상기 구동기기는 상기 다른 하나의 클램프 기기와 함께 상기 이동자를 한 걸음 이동시키는 절반의 행정을 수행하고,상기 이동자가 한 걸음 이동한 후에, 상기 어느 하나의 클램프 기기가 상기 이동자를 지지하고 상기 다른 하나의 클램프 기기가 상기 이동자와 떨어지면, 상기 구동기기가 원래의 위치로 복귀하여 상기 하나의 클램프 기기와 함께 상기 이동자를 한 걸음 이동시키는 절반의 행정을 수행하는 것을 특징으로 하는 압전소자를 이용한 선형 구동기
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제1 항에 있어서,상기 제1 클램프 기기(10)는제1 압전소자(11)와,상기 제1 압전소자와 상기 제1 기준부(31)에 연결되는 제1 힌지부를 포함하고,상기 제2 클램프 기기(40)는제2 압전소자(41)와,상기 제2 압전소자(41)와 상기 제2 기준부(32)에 연결된 제2 힌지부를 포함하며,상기 구동 기기(20)는, 상기 제1 압전소자(11)와 상기 제2 압전소자(41)의 길이방향과 수직방향이 되는 방향으로 그 길이방향을 갖는 제3 압전소자(21)와,상기 제3 압전소자(21)와 상기 제1 기준부(31)에 연결되는 제3 힌지부와,상기 제3 압전소자(21)와 상기 제2 기준부(32)에 연결된 제4 힌지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 압전소자를 이용한 선형 구동기
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제1 항에 있어서,상기 제1 클램프 기기(10)는제1 압전소자(11)와,상기 제1 압전소자(11)의 양쪽 끝을 연결하는 제1 및 제2 몸체부와,상기 제1 및 제2 몸체부의 같은 방향에 위치한 한쪽 끝을 연결하고 상기 이동자(11)를 지지하는 제1 지지부(12)와,상기 제1 압전소자(11)를 중심으로 상기 제1 지지부(12)의 반대쪽에 위치하고 상기 제1 및 제2 몸체부의 다른 한 쪽 끝을 연결하며 상기 제1 기준부(31)에 연결되는 제1 힌지부를 포함하고,상기 제2 클램프 기기(40)는제2 압전소자(41)와,상기 제2 압전소자(41)의 양쪽 끝을 연결하는 제3 및 제4 몸체부와,상기 제3 및 제4 몸체부의 같은 방향에 위치한 한쪽 끝을 연결하고 상기 이동자(11)를 지지하는 제2 지지부(42)와,상기 제2 압전소자(41)를 중심으로 상기 제1 지지부(42)의 반대쪽에 위치하고 상기 제3 및 제4 몸체부의 다른 한 쪽 끝을 연결하며 상기 제2 기준부(32)에 연결된 제2 힌지부를 포함하며,상기 구동 기기(20)는, 상기 제1 압전소자(11)와 상기 제2 압전소자(41)의 길이방향과 수직방향이 되는 방향으로 그 길이방향을 갖는 제3 압전소자(21)와,상기 제3 압전소자(21)의 양쪽 끝을 연결하는 제5 및 제6 몸체부와,상기 제5 및 제6 몸체부의 같은 방향에 위치한 한쪽 끝을 연결하고 상기 제1 기준부(31)에 연결되는 제3 힌지부와,상기 제3 압전소자(21)를 중심으로 제3 힌지부의 반대쪽에 위치하고 상기 제5 및 제6 몸체부의 다른 한 쪽 끝을 연결하며 상기 제2 기준부(32)에 연결된 제4 힌지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 압전소자를 이용한 선형 구동기
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제1 항 내지 제3 항 중에 어느 한 항에 있어서,상기 제1 클램프 기기는 제1 압전소자의 길이가 늘어나면 상기 지지부와 떨어지고,상기 제2 클램프 기기는 제2 압전소자의 길이가 늘어나면 상기 지지부와 떨어지며,상기 구동기기는 제3 압전소자의 길이가 늘어나면 상기 제1 및 제2 클램프 기기와 연결된 제1 및 제2 기준부를 제3 압전소자의 길이방향에 대하여 수직방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 압전소자를 이용한 선형 구동기
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제1 항 내지 제3 항 중에 어느 한 항에 있어서,상기 구동기기는상기 제1, 제2, 및 제3 압전소자에 입력전압이 0입력되는 단계(t0),상기 제2 및 제3 압전소자에 입력전압이 0인 동안에 상기 제1 압전소자에 소정의 전압이 입력되는 단계(t1),상기 제2 압전소자에 입력전압이 0이고 상기 제1 압전소자에 소정의 전압이 입력되는 동안에, 상기 제3 압전소자에 소정의 전압이 입력되는 단계(t3),상기 제3 압전소자에 소정의 전압이 입력되는 동안에 상기 제1 및 제 2압전소자의 입력전압이 접지되는 단계(t4),상기 제3 압전소자에 소정의 전압이 입력되고 상기 제1 압전소자에 입력전압이 0인 동안에 사기 제2 압전소자에 소정의 전압이 입력되는 단계(t5),상기 제1 압전소자에 입력전압이 0이고 상기 제2 압전소자에 소정의 전압이 입력되는 동안에 상기 제3 압전소자에 소정의 전압이 입력되는 단계(t6)를 수행하는 것을 특징으로 하는 압전소자를 이용한 선형 구동기
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