맞춤기술찾기

이전대상기술

초고속 레이저를 이용한 초발수성 표면개질 방법

  • 기술번호 : KST2014065760
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 PDMS 등 기판에 나노 사이즈 및 마이크로사이즈의 미세구조 및 이들의 하이브리드 표면층을 마이크론 크기의 분해능 하에서 그 위치 및 크기를 조절하며 만들 수 있는 초고속 레이저 공정 관한 것이다. 초고속레이저 조사를 이용함으로써 기판위에 제어 가능한 위치 및 형태의 패턴을 갖고 있으며, PDMS 등 고분자 고체 표면의 유변학(Rheology)적인 성질을 변환할 수 있도록 하는 이제까지 알려지지 않았던 새로운 공정 기술로써, 기존의 유변학적인 변형을 이룩하기 위하여 필수적이었던 청정실(clean room) 및 진공 증착 장비와 같은 고가의 공정환경 구축 등의 부가적인 생산 단가 발생 요인을 혁신적으로 줄이고, 일반적 실험실 조건 하에서의 다양한 형태의 패턴닝 및 미세공정이 가능하게 하는 새로운 기술이다. 이러한 레이저 공정 기술은 앞으로 전자, 광학, 바이오 등의 다양한 분야에서 고분자를 이용한 여러 소자들의 개발에 있어서 필수적인 원천 공정 기술을 포함하는 특허가 될 것이다. 특히 이러한 레이저 공정 기술은 앞으로 전자, 디스플레이, 광학, 바이오 및 입으로 부는 악기의 떨림판의 표면 등에서의 물과 같은 액체의 부착으로부터 오는 문제 해결 등 다양한 분야에서 여러 다양한 소자들의 개발에도 그 응용 범위가 확장될 수 있다.
Int. CL G03F 1/00 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01) G03F 1/68 (2006.01)
CPC G03F 1/68(2013.01) G03F 1/68(2013.01) G03F 1/68(2013.01) G03F 1/68(2013.01) G03F 1/68(2013.01)
출원번호/일자 1020080028544 (2008.03.27)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-0928057-0000 (2009.11.16)
공개번호/일자 10-2009-0103141 (2009.10.01) 문서열기
공고번호/일자 (20091123) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.03.27)
심사청구항수 7

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 정세채 대한민국 대전광역시 유성구
2 윤태오 대한민국 충북 충주시 교
3 박연일 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.03.27 수리 (Accepted) 1-1-2008-0223292-13
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.01.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.02.19 수리 (Accepted) 9-1-2009-0011007-44
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.06.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0264693-94
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.07.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0431756-09
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.07.16 수리 (Accepted) 1-1-2009-0431754-18
7 등록결정서
Decision to grant
2009.11.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0452954-15
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
a) 폴리디메틸실록산(polydimehylsiloxane; PDMS) 기판의 표면에 초고속 레이저의 빔을 조사하여 수~수백 마이크론 이하의 마이크로 사이즈 미세구조가 수~수백 나노미터 이하의 나노 사이즈 미세구조를 가지며 90˚ 내지 170˚ 의 접촉각과 3˚이하의 슬라이딩 각을 가지는 초발수성 표면을 갖도록 초발수성 표면개질된 기판을 모재로 하여 표면개질된 기판의 면상에 고분자 몰드를 채우고 경화시켜 기판의 면과 동일하게 복제하는 단계;b) 복제된 몰드를 상기 기판으로부터 분리시키는 단계;c) 분리된 복제된 몰드를 모재로 하여 복제된 몰드의 복제된 면에 고분자 몰드를 채우고 경화시켜 복제된 몰드의 면과 동일하게 복제하는 단계;d) c)단계를 반복하는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 초고속 레이저를 이용한 초발수성 표면개질 방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 초고속 레이저는 수~수백 펨토초 펄스를 갖는 것을 특징으로 하는 초고속 레이저를 이용한 초발수성 표면개질 방법
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 초고속 레이저빔의 파장은 700~1100 nm이고, 펄스폭은 100~700 fs 이며, 기판의 이송속도는 3~5 mm/sec이고, 레이저빔 spot 사이의 간격은 3~20 ㎛이며, 펨토초 레이저 빔의 초점을 조정하기 위한 대물렌즈의 색수차(N
4 4
제 3 항에 있어서, 90˚ 내지 170˚ 의 접촉각을 갖는 상기 초고속 레이저의 플루언스는 2 내지 8 J/cm2 인 것을 특징으로 하는 초고속 레이저를 이용한 초발수성 표면개질 방법
5 5
제 4 항에 있어서, 기판 표면에 조사되는 평균 레이저 펄스의 수는 1
6 6
제 3 항에 있어서,3˚ 이하의 슬라이딩 각을 갖는 상기 초고속 레이저의 플루언스는 4 내지 8 J/cm2 인 것을 특징으로 하는 초고속 레이저를 이용한 초발수성 표면개질 방법
7 7
제 4 항에 있어서, 기판 표면에 조사되는 평균 레이저 펄스의 수는 1
8 8
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업자원부 한국표준과학연구원 차세대 신기술개발사업 단일세포수준차세대수술기술개발 및 실용화